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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种氧化铟锡靶材组件的焊接方法-CN202310941481.5在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;张余 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化铟锡靶材组件的焊接方法，通过在背板上设置凸台，改进氧化铟锡靶材组件的焊接结构，解决了焊接难的问题，使得靶材的焊接结合率提升至99％以上；且由于凸台的存在，装夹靶材组件时只需夹持凸台的侧面，不会夹持到氧化铟锡靶材的侧面，方便后续安全稳定加工。
一种氧化铟锡靶材组件焊接方法

[实用新型]一种基板的加工装置-CN202123017870.4有效
发明人：万先进;边逸军 -专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种基板的加工装置。该基板的加工装置包括底座、磨削机构、抛光机构和清洗机构，磨削机构包括回转组件和多个磨削组件，回转组件设置在底座上，多个磨削机构沿回转组件的周向均布在底座上，磨削组件能够对回转组件上的待加工基板进行磨削，抛光机构对磨削后的代加工基板的表面进行抛光，清洗机构包括多个清洗单元，多个清洗单元垂直堆叠地设置在底座上，多个清洗单元被配置为对抛光过的待加工基板进行清洗。该基板的加工装置，通过清洗机构上的多个垂直堆叠的清洗单元，能够对磨削抛光后的基板进行多次清洗，保证研磨过后的基板的表面的光洁度，提高对基板的加工质量。
一种加工装置

[发明专利]一种O-Ring直槽的加工方法-CN202310741981.4在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;姚泽新 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B23B1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种O‑Ring直槽的加工方法，准备待加工件并定位O‑Ring直槽的圆心位置，沿远离所述圆心位置或者靠近所述圆心位置的方向，依次进行首次轴向车削、二次径向车削以及三次轴向车削，完成O‑Ring直槽的加工。相比于现有技术中单纯重复轴向车削或者单纯重复径向车削进行O‑Ring直槽的加工，本发明所述O‑Ring直槽的加工方法将轴向车削和径向车削相结合，不仅有效避免了较大较长碎屑的产生，从而实现了切削控制和有效排屑，还可以有效提高加工的生产效率以及安全性。
一种 ring 加工方法

[发明专利]一种抗变形无氧铜背板及其制备方法-CN202110919594.6有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;周敏 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种抗变形无氧铜背板及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将铜锭预热后进行至少2次锻造，且锻造比为1‑3；(2)将步骤(1)所得铜锭进行第一热处理后冷却；(3)将步骤(2)所得铜锭进行压延；(4)将步骤(3)所得铜锭进行第二热处理后冷却，得到抗变形无氧铜背板。本发明提供的制备方法特别适用于无氧铜背板的制造，提升了背板的抗变形力和尺寸精度，避免了安装异常现象。
一种变形无氧铜背板及其制备方法

[发明专利]一种铁钽合金粉的制备方法、铁钽合金粉及用途-CN202010899802.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B22F9/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种铁钽合金粉的制备方法、铁钽合金粉及用途，所述铁钽合金粉的制备方法包括：先按照目标原子比例准备铁料和钽料并混合；然后在1542‑1600℃下熔化完全；随后在惰性气体作用下进行雾化，得到所述铁钽合金粉。所述制备方法控制铁钽混合料的熔融温度为1542‑1600℃，并优化雾化条件，使得制备得到的铁钽合金粉纯度≥99.95％，含氧量≤600ppm，利用筛分得到的粒度＜150目的所述铁钽合金粉，有利于制备得到高纯度、高致密、高弯曲强度和磁通量合格的铁钴钽合金溅射靶材；其中，将钽靶材的钽边料作为钽料进行制备，实现了变废为宝。
一种合金粉制备方法用途

[发明专利]一种钽铝合金溅射靶材的制备方法-CN202010975380.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-09-16 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种钽铝合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钽粉和铝粉按照质量比例混合均匀，得到钽铝混合粉；(2)将所述钽铝混合粉装入模具并封口；(3)在1050～1150℃下进行热压烧结处理，得到钽铝合金溅射靶材粗品；(4)将所述钽铝合金溅射靶材粗品进行机加工，得到钽铝合金溅射靶材。本发明所述制备方法采用热压烧结工艺，不仅可以制备得到致密度＞99％、晶粒尺寸细小、内部结构均匀的钽铝合金溅射靶材，还可以降低能耗和成本，适合大规模推广。
一种铝合金溅射制备方法

[发明专利]一种焊接通用夹具及其使用方法和应用-CN202310522803.2在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;郭周承 -专利权人：宁波江丰芯创科技有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种焊接通用夹具及其使用方法和应用，所述焊接通用夹具包括夹具主体；所述夹具主体的顶面设置有凹槽，所述凹槽用于容纳待焊件，所述夹具主体沿所述凹槽的边缘设置有压板，所述压板的部分底面与所述待焊件的顶面相接；所述夹具主体的侧壁开设有螺纹通孔，所述螺纹通孔中穿设有定位螺丝，所述定位螺丝的定位端与所述待焊件的外侧壁相接。本发明在夹具主体沿凹槽的边缘设置压板，压板可将待焊件压紧固定于凹槽中，保证待焊件底面与凹槽底面贴合，使得焊接时待焊件不易发生热变形；同时，设置的定位螺丝可用于调整待焊件与夹具主体的同心度，并对待焊件进行定位，防止焊接过程中待焊件发生位移。
一种焊接通用夹具及其使用方法应用

[发明专利]一种圆形钼靶材组件的溅射弧面加工方法-CN202111164563.0有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B23B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种圆形钼靶材组件的溅射弧面加工方法，通过对焊接完成的圆形钼靶材组件的溅射面依次进行粗车削和精车削，减小了圆形钼靶材与背板发生相对转动的推动力，有效降低了圆形钼靶材的脱焊面积，避免了焊缝增大以及靶材开裂等问题的发生；而且，本发明所述加工方法通过依次进行的粗车削和精车削，可以保证圆形钼靶材组件的溅射弧面满足尺寸的质量要求。
一种圆形钼靶材组件溅射加工方法

[发明专利]一种辉光放电质谱中高纯铟的制样方法-CN202110530105.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;来兴艳 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01N27/68 文献下载
摘要：本发明涉及一种辉光放电质谱中高纯铟的制样方法，所述制样方法包括：将高纯铟样品首先进行压片处理，得到高纯铟片；对所述高纯铟片进行刺孔处理，之后依次进行第一酸处理、第二酸处理、第三酸处理及漂洗，得到待测高纯铟样品。本发明提供的辉光放电质谱中高纯铟的制样方法，通过将高纯铟样品进行压片并刺孔，同时采用特定的三步酸处理过程，使得在辉光放电质谱中检测信号显著增强，检测信号稳定，多次检测中偏差显著减小，检测精度明显提高。
一种辉光放电质谱中高纯方法

[发明专利]工件纠偏方法及工件切削设备-CN202310432595.7在审
发明人：万先进;谢亚楠;张怀东;边逸军 -专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种工件纠偏方法及工件切削设备。该工件纠偏方法包括：S1、将工件放置在工件载台上，检测工件与工件载台的同心度；S2、若工件与工件载台不同心，调整工件的放置位置，直至工件与工件载台同心；S3、将工件载台移动至切削位置，以预设进刀量A切削工件的边缘；S4、检测工件边缘的切槽宽度y1是否等于进刀量A；S5、若切槽宽度y1不等于预设进刀量，调整工件载台的位置，直至切槽宽度y1等于预设进刀量A。工件切削设备采用上述工件纠偏方法对工件进行纠偏和校准，保证了工件与工件载台同心度，提高了工件切削过程的准确度，避免出现切削后工件偏心的情况，保证了工件的切削质量。
工件纠偏方法切削设备

[发明专利]一种钛粉的制备方法及由其制备的钛粉和用途-CN202010190859.9有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B22F9/08 文献下载
摘要：本发明提供一种钛粉的制备方法，所述方法通过对预处理后的钛棒进行无坩埚电极感应熔化气体雾化，不仅工艺流程简单，可采用工业生产产生的高纯钛锭料头作原料，而且能够制得高纯低氧的钛粉；利用该方法制得的钛粉氧含量≤1000ppm，纯度≥99.99wt％，能够较好地满足现有靶材领域中钛粉的要求，具有较高的工业应用价值。
一种制备方法用途

[发明专利]一种用于半导体蒸发镀膜用蒸发料及其制备方法-CN202110315791.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;徐蔓 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于半导体蒸发镀膜用蒸发料及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)热处理金属圆锭，锻伸，得到长方形金属锭；(2)机加工步骤(1)所得长方形金属锭，得到条状金属锭；(3)热处理步骤(2)所得条状金属锭，冷却后进行轧制处理，得到金属板；(4)步骤(3)所得金属板进行表面处理，冲压，得到三角形蒸发料。本发明所得三角形蒸发料尺寸较小，且形状独特，不易与其他形状的蒸发料混淆，避免了混料的风险；而且，在坩埚中能够紧密接触，避免了蒸镀过程中溅锅的风险。
一种用于半导体蒸发镀膜料及制备方法

[发明专利]一种钽材料EBSD样品的表面处理方法-CN202010345406.9有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;李小萍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本发明提供了一种钽材料EBSD样品的表面处理方法，包括：依次使用400#砂纸与1000#砂纸对钽材料的测试面进行第一次机械抛光处理与第二次机械抛光处理，得到经初步处理的钽材料；对所得经初步处理的钽材料进行第三次抛光处理；使用第一混合酸液对所得经第三次抛光处理后的钽材料进行第一次化学抛光处理；使用第二混合酸液对所得经第一次化学抛光处理后的钽材料进行第二次化学抛光处理；清洗所得经第二次化学抛光处理后的钽材料，完成钽材料EBSD样品的表面处理。本发明所述表面处理方法操作简单，能够对具有极高抗腐蚀性的钽材料进行表面处理，从而实现钽材料EBSD样品的表面处理。
一种材料 ebsd 样品表面处理方法

[实用新型]夹持装置-CN202320451064.8有效
发明人：万先进;谢亚楠;郑秀明;边逸军 -专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种夹持装置。该夹持装置包括底板以及安装在底板上的至少三个夹持单元，夹持单元包括轴向限位组件、径向限位组件以及顶板，轴向限位组件包括第一安装座和设置在第一安装座上的承托件，第一安装座滑动设置在底板上；径向限位组件包括第二安装座和设置在第二安装座上的径向夹持件；在夹持位置，承托件与工件的底面贴靠，径向夹持件在拉伸弹簧的弹力作用下贴靠在工件的侧面；在释放位置，承托件脱离工件，工件贴靠径向夹持件下滑；顶板通过至少三个调平件与底板连接，顶板用于与机械臂连接。该夹持装置能够降低工件破损的风险，并能够提高工件放置时的准确性。
夹持装置

[实用新型]用于异形靶材的拾取夹具-CN202320690031.9有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;凌培文 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型属于靶材加工工具的技术领域，公开了一种用于异形靶材的拾取夹具。旨在解决现有异形靶材在加工生产过程中搬运困难容易发生滑落的问题。一种用于异形靶材的拾取夹具，上述异形靶材包括锅体，上述拾取夹具包括：环形夹、锁紧件和把手件；上述环形夹能够形成容纳上述锅体的夹持空间；上述锁紧件连接于上述环形夹，上述锁紧件能够将上述锅体锁紧于上述环形夹内；上述把手件连接于上述环形夹的对称位置。通过锁紧件将夹持在环形夹形成的夹持空间的锅体锁紧，并且通过连接在环形夹对称位置的把手件将锅体进行搬运，实现拾取夹具与锅体安装便捷且可靠性高，异形靶材的搬运效率高。
用于异形拾取夹具

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