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[发明专利]一种具有可见光伪装功能的红外光谱调控器件-CN202310715255.5在审
发明人：王赫岩;陆振刚;耿文静;谭久彬;撖琳;张怡蕾 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B5/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有可见光伪装功能的红外光谱调控器件，由上层周期性图案贴片层(1)、下层衬底层(2)组成，所述的上层周期性图案贴片层(1)由5层方形贴片组成，由上至下分别为颜色层(a)、介质薄膜层(b)、金属薄膜层(c)、介质薄膜层(d)、金属薄膜层(e)。本发明可展现不同的外观颜色，实现可见光伪装功能；在红外探测波段3～5μm及8～14μm维持低发射率，降低目标的红外探测可能性；在5～8μm的高发射特性实现红外辐射散热功能，解决传统红外隐身器件热稳定差的问题；同时在8～12GHz波段实现微波高透射，可通过复合雷达吸波材料等可实现雷达隐身功能。
一种具有可见光伪装功能红外光谱调控器件

[发明专利]大型精密设备气磁隔振与阻尼防护转运装置-CN202210854408.X有效
发明人：崔俊宁;程钟义;唐然;边星元;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F16F9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种大型精密设备气磁隔振与阻尼防护转运装置，属于转运设备技术领域，其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、被动阻尼器、高度检测与控制装置和处理器，所述隔振平台支撑被转运设备，还包括限位单元和永磁负刚度模块，所述气浮隔振单元、被动阻尼器、限位单元、高度检测与控制装置、永磁负刚度模块分别在车架的上底面与四个内侧面和所述隔振平台间并联间隔设置若干个。通过隔振单元的三向布置实现了三向隔振，采用正负刚度并联的形式降低了起始隔振频率，添加阻尼单元和限位单元提高了隔振性能，实现了强冲击作用下的安全防护，解决了现有技术不能在大型精密设备转运过程中实现三向精密隔振与冲击防护的转运问题。
大型精密设备气磁隔振阻尼防护转运装置

[发明专利]一种基于子域分割的航空轴承几何误差精确评定方法-CN202110108202.8有效
发明人：黄景志;杨润泽;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：基于子域分割的航空轴承几何误差精确评定方法属于航空精密测量技术领～域；该方法将包含全部采样点的360°圆周区域定义为第一子域A，在该区域内确定第一候选特征点A(xa,ya)；将点A(xa,ya)绕圆心O(a,b)逆时针旋转120°得到映像点B1，绕圆心O(a,b)顺时针旋转120°得到映像点B2，由B1O和B2O确定出第～二子域B和第二候选特征点B(xb,yb)；求取点A(xa,ya)关于O(a,b)的对称点C1和点B(xb,yb)关于O(a,b)的对称点C2，并确定第三子域～C和第三候选特征点C(xc,yc)；本发明实现了对航空轴承几何误差的高精度快速评定。
一种基于分割航空轴承几何误差精确评定方法

[发明专利]一种基于空气耦合超声的高空间分辨率应力动态测量方法-CN202310076566.1有效
发明人：赵勃;史维佳;王绍凯;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-01-29 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01L1/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于空气耦合超声的高空间分辨率应力动态测量方法。当接收空耦换能器与空耦换能器在待测试样的射入及接收之间的距离为L时，记录待测试样进行一个周期的周期运动的运动位置及当下位置的接收回波信号F(x)；将F(x)与无应力状态下相比得到声时差，在根据声时差计算得到每个运动位置下对应的L传播距离的平均应力值；当距离为L+ΔL时，记录待测试样进行一个周期的周期运动的运动位置及当下位置的接收回波信号F1(x)；将F1(x)与其无应力状态下相比得到声时差，在根据声时差计算得到每个运动位置下对应的L+ΔL传播距离的平均应力值；每个运动位置下对应的ΔL位置的应力值即为两者之差。用以解决传统超声应力测量中空间分辨率与测量精度的矛盾关系及耦合剂对测量的影响问题。
一种基于空气耦合超声空间分辨率应力动态测量方法

[发明专利]基于波前测量与校正的二维光电自准直方法与装置-CN202110876187.1有效
发明人： 谭久彬;于洋;石剑 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本发明属于精密测试计量技术领域，提出一种基于波前测量与校正的二维光电自准直方法与装置。本发明在传统自准直仪测量方法中增加参考光路的波前测量与校正环节，该环节利用仪器内参考光路的波前畸变信息通过驱动变形镜补偿光束相位畸变，实现对自准直仪光学系统像差的测量与调控，提高光学系统的成像质量与光斑定位精度，进而提高了自准直仪角度测量精度。同时引入该环节使自准直仪具备抵抗外界环境干扰的能力，进一步提高自准直仪角度测量的分辨力与稳定性。该方法使传统自准直仪具备纳弧度量级(5×10‑9rad，即0.001″)的角度分辨力和亚微弧度量级(10‑7rad，即0.02″)的角度测量精度。本发明具有同等条件下，实现高分辨力、高精度、高稳定性兼顾的角度测量的技术优势，同时具备抗环境扰动和补偿扰动引起的误差的能力。
基于测量校正二维光电方法装置

[发明专利]一种金属网栅缺陷检测的反射式便携成像及图像处理方法-CN202310687490.6在审
发明人：陆振刚;李晶;谭久彬;秦鸿圣;于婷洋 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-06-10 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属网栅缺陷检测的反射式便携成像及图像处理方法，步骤如下：构建反射式便携成像系统，结合承载运动装置采集金属网栅原位状态下的图像；利用基于频谱滤波融合与霍夫变换的方法提取金属网栅图像的块状缺陷和断线缺陷的先验信息；将采集的图像与缺陷先验信息输入低秩分解模型，获得图像的低秩部分、稀疏部分和噪声部分；对稀疏部分进行阈值分割，提取缺陷。本发明可实现金属网栅原位状态下的成像测量，识别检测金属网栅图像中的多种缺陷，检测结果准确且检测效率高。
一种金属网缺陷检测反射便携成像图像处理方法

[发明专利]一种高精度高稳定性自准直小角度检查装置及其检查方法-CN202310476119.5在审
发明人：于洋;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01B21/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度高稳定性自准直小角度检查装置与小角度检查方法，工作台由工作台转轴、工作台转轴座、位移执行器共同支撑放置在底座上；所述位移执行器驱动工作台绕轴发生大量程高分辨力角度变化；所述自准直仪的光轴和工作台轴线平行且处于同一高度上，通过测量工作台端面上的平面反射镜的角度变化来反映工作台的角度变化，由显示及主控模块实时接收角度测量数据并发送位移驱动信号，实现角度发生与测量的闭环反馈控制；所述环境传感器设置在装置内部，可以实时采集当前测量环境的温度、湿度和压强信息，上传至环境补偿模块计算环境扰动引起的误差补偿量，修正角度发生的驱动信号和角度测量的角度值；本发明带有环境参数主动测量及环境扰动补偿功能，有效提高装置角度发生和测量的精度，提高抗环境扰动能力和测量稳定性。
一种高精度稳定性准直小角度检查装置及其方法

[发明专利]精密设备主动气磁隔振与主动阻尼转运装置-CN202210835009.9有效
发明人：程钟义;崔俊宁;汪志胜;金明睿;唐然;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种精密设备主动气磁隔振与主动阻尼转运装置，属于转运设备技术领域，其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、高度检测与控制装置和处理器，所述隔振平台支撑被转运设备，还包括主动阻尼单元、限位单元和电磁负刚度隔振单元，所述气浮隔振单元、主动阻尼单元、限位单元、高度检测与控制装置和电磁负刚度隔振单元分别在车架的上底面和四个内侧面与所述隔振平台间并联间隔设置若干个。通过隔振单元的三向布置实现了三向隔振，采用正负刚度并联的形式降低了起始隔振频率，添加主动阻尼单元和限位单元提高了隔振性能，实现了强冲击作用下的安全防护，解决了现有技术不能在精密设备转运过程中实现三向精密隔振与冲击防护的问题。
精密设备主动气磁隔振阻尼转运装置

[发明专利]一种多偏振分解谐波显微成像装置及方法-CN202310807279.3在审
发明人：王伟波;吴必伟;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于二维半导体晶体缺陷检测的多偏振分解谐波显微成像装置及方法，属于光学显微成像技术领域。本发明装置包括激光光源系统、多偏振生成系统、谐波信号激发系统、信号探测系统以及控制与数据处理系统。本发明采用不同角度线偏振态激发光、不同旋向圆偏振光以及径向偏振光对二维半导体进行谐波信号激发，并扫描形成谐波图像，接着在探测端进行不同模式的偏振探测。进一步对不同旋向圆偏振激发的谐波图像提取差异图像。本发明利用谐波信号的相干特性，以及对激发光偏振态的敏感性，通过扩展入射光偏振态，并对相应谐波显微图像进行融合以及提取差异。本发明的有益效果：实现二维半导体晶体缺陷的快速高灵敏度检测。
一种偏振分解谐波显微成像装置方法

[发明专利]一种基于间隙配合的多级转子不平衡量优化系统及优化方法-CN202310613764.7在审
发明人：孙传智;陈泽;刘永猛;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于间隙配合的多级转子不平衡量优化系统及优化方法，多级混合装配转子装配时，先以中心轴为基准，安装多级间隙转子，当多级间隙转子安装完毕，再安装过盈配合转子，通过相位调整使转子整体的不平衡量最优，实现转子装配不平衡量的调控，根据航空发动机两级间隙转子装配中定位和定向误差传递关系，获得多级转子装配累积偏心误差关系，计算装配后转子的累积偏心误差；根据转子的累积偏心误差计算转子装配面圆心位置向量；计算得到径向截面圆心位置，通过转子装配相位的调整，使转子整体的不平衡量最优，实现转子装配不平衡量的调控。
一种基于间隙配合多级转子不平衡量优化系统方法

[发明专利]一种明暗场融合谐波显微成像装置及方法-CN202310807278.9在审
发明人：王伟波;吴必伟;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于二维半导体晶体缺陷检测的明暗场融合谐波显微成像装置及方法，属于光学显微成像技术领域。本发明装置包括激光光源系统、谐波信号激发系统、明场信号探测系统、暗场信号探测系统以及控制与数据处理系统。本发明通过暗场空间滤波器滤除明场照明谐波信号以收集大波矢量暗场辐射谐波信号，并采用明场谐波显微图像与暗场谐波显微图像同时探测并融合的模式进行晶体缺陷检测。本发明利用不同取向晶体缺陷的谐波信号干涉效应，通过大角度谐波辐射以及明暗场谐波图像融合将晶体缺陷和缺陷边缘显示为高对比度图像。本发明的有益效果：提升二维半导体晶体缺陷检测的灵敏度和信噪比。
一种明暗融合谐波显微成像装置方法

[发明专利]多轴运动台高速精密控制装置及方法-CN202310698169.8有效
发明人：刘杨;崔宁;宋法质;董岳;李理;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G05B19/414 文献下载
摘要：多轴运动台高速精密控制装置及方法，涉及多轴运动台高速精密控制领域，是为了解决现有光刻机多轴运动台的控制精度和速度不足，以及不同板卡之间通信相互干扰的问题。本发明提供的多轴运动台高速精密控制装置及方法，通过以太网进行数据交互和参数设置，通过VME总线进行命令处理，通过SRIO总线进行数据处理，将控制命令和数据处理进行分开操作，使得控制协议简单并实现逻辑设计简化，有效的避免采用统一的VME总线处理命令和数据所带来的复杂程序设计工作。SRIO总线相比于传统的VME总线，此外，多核的处理器保证了一核多轴的控制，避免了多板卡之间通信时相互干扰。本发明适用于多轴运动台的高速精密控制。
运动高速精密控制装置方法

[发明专利]一种适用于金属网栅薄膜无损检测的自激励式微波传感器-CN202310173975.3在审
发明人：陆振刚;曹志博;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01N22/02 文献下载
摘要：一种适用于金属网栅薄膜无损检测的自激励式微波传感器，属于微波传感器技术，由谐振传感结构、微波放大器、相移元件、带通滤波器、射频检波器、数模转换器和微处理器构成；其中，谐振传感结构、微波放大器、相移元件和带通滤波器构成自激振荡环路，谐振传感结构具有带通特性，位于环路的反馈支路，其谐振频率与带通滤波器中心频率一致，环路增益与相移在该频率处满足自激振荡条件；通过合理设置微波放大器增益并实时采集自激振荡信号功率，所述传感器能够实现对宽度亚毫米级裂纹破损的检测以及对高方阻样品的识别，检测灵敏度高，结构紧凑、体积小、成本低，无需外接其他微波分析仪器，可应用于对金属网栅薄膜的现场无损检测中。
一种适用于金属网薄膜无损检测激励式微传感器

[发明专利]大型高速回转装备动平衡叶片振动惯量目标函数优化方法及装置-CN202310597299.2在审
发明人：孙传智;王寅初;刘永猛;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：动大型高速回转装备动平衡叶片振动惯量目标函数优化方法及装置，涉及大型高速回转装备领域。为解决现有技术中一般采用传统的扇区轻重交错分布法对叶片进行排布精度缺不高，常常排序完成后转子不平衡量仍然超差的技术问题，本发明提供的技术方案为：动平衡叶片振动惯量目标函数优化方法，包括：编码；初始化目标函数，产生初始种群；排列初始种群中的个体，作为中间种群；计算中间种群中个体的个体适应度值；根据个体适应度值获得交叉和变异概率；根据交叉和变异概率对中间种群进行交叉和变异；判断是否满足预设的终止条件，若满足，则输出当前待定种群作为优化结果。适合应用在大型高速回转装备的叶片装配工作中。
大型高速回转装备动平衡叶片振动惯量目标函数优化方法装置

[发明专利]超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法-CN202310825107.9在审
发明人：宋法质;刘杨;陈帅奇;崔宁;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法，涉及超精密光刻装备控制系统及方法。控制系统包括运动轨迹生成部分、反馈控制部分、前馈控制部分、解耦控制部分、六自由度运动台与位置测量部分，解耦控制部分包括静态解耦部分和动态解耦部分，静态解耦部分由增益规划矩阵、增益平衡矩阵和科氏力补偿矢量组成，动态解耦部分由动态解耦矩阵构成。反馈与前馈控制器设计简单，通过静动态结合的方式减少各自由度之间的串扰影响，提高控制精度。
精密光刻装备自由度分散复合控制系统控制方法

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