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[发明专利]航空发动机零部件加工质量检测方法及交互式检测系统-CN202310664251.9在审
发明人：刘治君;丁京;林华堂;李伟斌;董士栋;李明凤;袁丽;杜松;张天辉 -专利权人：中国航发南方工业有限公司
申请日： 2023-06-06 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G06Q10/0639 文献下载
摘要：本发明提出一种航空发动机零部件加工质量检测方法及交互式检测系统，涉及零部件质量检测的技术领域，通过数字化检测平台与产品数据管理系统PDM和工艺加工设计系统CAPP、生产管理系统MES、EOP系统集成交互，从接收工艺设计数据到报工人员匹配核对，再到制定检测任务，最后进行质量检测，对检测结果数据进行统一采集，将不合格信息报送至应急操作EOP系统，检测任务全过程可追溯，充分利用了PDM和CAPP、生产管理系统MES、EOP系统的信息化管理，实现横纵向数据流的贯通，提升数字化检测水平，打破各信息化平台孤岛独立的现象，最终提高车间整体生产效率和制造过程的通畅性，提高零部件加工质量检测效率。
航空发动机零部件加工质量检测方法交互式系统

[发明专利]存储器及其制造方法、电子设备-CN202310542074.7在审
发明人：贺学兵;林华堂;晏昌杰;田宝毅 -专利权人：长江先进存储产业创新中心有限责任公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H10B63/10 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种存储器及其制造方法、电子设备，其中存储器包括：衬底；在衬底上沿第一方向依次层叠设置的第一导电线、存储单元、停止条、第二导电线；其中，停止条与第二导电线共形设置，停止条与第二导电线的材料不同，且停止条包括导电材料；第一导电线和第二导电线均平行于衬底表面且二者在衬底表面的正投影相交；存储单元至少包括依次层叠设置的第一电极、第一功能单元、第二电极；第一方向与衬底表面的方向垂直。
存储器及其制造方法电子设备

[发明专利]手机卡托自动组装线-CN202310115354.X在审
发明人：陈灿华;邓春华;赵杨国;李小会;刘国浩;韦栋元;林华堂;高罡星 -专利权人：东莞市沃德精密机械有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种手机卡托自动组装线，包括一输送线与至少两组装机,组装机包括组接单元、上料单元与测试单元，组接单元包括转盘、对应均布于转盘上的多个治具及载具、排布于转盘周侧的手机上下料装置、装卡装置、装卡托装置、转送装置、取卡装置与插装装置；手机上下料装置用于组接前后的手机于输送线与转盘间的取放；装卡装置将上料单元所移送的卡托扣接于载具的定位槽中的SIM卡上及将载具的安置槽中的SIM卡扣接到卡托上；装卡托装置将装有SIM卡的卡托插入到手机中；转送装置用于手机于治具与测试单元间的取放；取卡装置将手机中的卡托取出并放回到载具中；插装装置将SIM卡从卡托中取出并将空的卡托插回到手机中。
手机卡自动组装

[实用新型]液体循环装置-CN202221119075.8有效
发明人：易荣华;孙一晨;宋海生;林华堂;路宏利 -专利权人：长江先进存储产业创新中心有限责任公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： F17D1/14 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种液体循环装置，包括：液体循环回路，所述液体循环回路的第一端用于接收液体，所述液体循环回路的第二端具有第一管道分支和第二管道分支；所述第一端与所述第二端之间连接有管道；所述第一管道分支用于向目标设备输出所述液体；所述第二管道分支用于将所述液体回流至所述液体循环回路中；所述第二管道分支与所述第一管道分支连通；所述第二管道分支上包括：第一开关阀，所述第一开关阀用于控制所述液体回流至所述液体循环回路中。
液体循环装置

[发明专利]半导体结构及其制造方法、存储器-CN202210195512.2在审
发明人：林天瑞;朱燕华;邱照远;林华堂;刘峻 -专利权人：长江先进存储产业创新中心有限责任公司
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L45/00 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种半导体结构及其制造方法、存储器，所述方法包括：提供衬底结构，所述衬底结构上至少形成有第一介质层；在第一介质层上形成第二介质层的第一部分，所述第二介质层的第一部分在刻蚀液中的湿法刻蚀速率为第一速率；在第二介质层的第一部分上形成第二介质层的第二部分，所述第二介质层的第二部分在所述刻蚀液中的湿法刻蚀速率为第二速率；其中，所述第二速率小于所述第一速率；在形成所述第二介质层的第二部分后，所述第一介质层中第一元素的质量百分比小于第一预设值。
半导体结构及其制造方法存储器

[实用新型]弹片检测设备-CN202022894742.7有效
发明人：陈灿华;邓发友;邓春华;蒙钦志;林华堂;高罡星;于键 -专利权人：东莞市沃德精密机械有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B07C5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种弹片检测设备，包括设置于机架上的柔性上料装置、传送回流装置、视觉检测机构、检测装置和卸料装置，柔性上料装置用于弹片的柔性出料，柔性上料装置包括检测相机和调整治具，检测相机用于识别弹片的出料状态以将相同状态的弹片放置于调整治具的同一区域上，以使到达传送回流装置的弹片均处于同一种状态；传送回流装置用于传送弹片，视觉检测机构用于检测弹片的外观，检测装置用于检测弹片的尺寸，卸料装置用于将检测合格的弹片传送至下一工序或将检测不合格的弹片移送出卸料装置。本实用新型的弹片检测设备，有效提高了弹片检测的自动化程度、检测效率和检测精度。
弹片检测设备

[实用新型]自适应弹性治具-CN202021829453.2有效
发明人：邓春华;李小会;林华堂;赵星 -专利权人：东莞市沃德精密机械有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自适应弹性治具，其包括下压机构、下压板、上升机构、弹性组件和用于定位工件的承载板，所述下压板位于所述承载板的上方，所述下压板安装于所述下压机构的输出端，所述下压板在所述下压机构的驱动下升降；所述承载板安装于所述上升机构的输出端，所述承载板在所述上升机构的驱动下升降；所述弹性组件安装于所述承载板上，借由所述弹性组件的弹性伸缩使得所述工件可呈弹性地承载于所述承载板上。本实用新型的自适应弹性治具具有结构简单、定位准确和合格率高等优点。
自适应弹性

[发明专利]弹片检测设备-CN202011403950.0在审
发明人：陈灿华;邓发友;邓春华;蒙钦志;林华堂;高罡星;于键 -专利权人：东莞市沃德精密机械有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： B07C5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种弹片检测设备，包括设置于机架上的柔性上料装置、传送回流装置、视觉检测机构、检测装置和卸料装置，柔性上料装置用于弹片的柔性出料，柔性上料装置包括检测相机和调整治具，检测相机用于识别弹片的出料状态以将相同状态的弹片放置于调整治具的同一区域上，以使到达传送回流装置的弹片均处于同一种状态；传送回流装置用于传送弹片，视觉检测机构用于检测弹片的外观，检测装置用于检测弹片的尺寸，卸料装置用于将检测合格的弹片传送至下一工序或将检测不合格的弹片移送出卸料装置。本发明的弹片检测设备，有效提高了弹片检测的自动化程度、检测效率和检测精度。
弹片检测设备

[实用新型]精密螺丝锁付设备-CN201922142982.9有效
发明人：聂忠方;高文忠;林华堂;刘平;姚中国;韦栋元 -专利权人：东莞市沃德精密机械有限公司
申请日： 2019-12-02 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： B23P19/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种精密螺丝锁付设备，其包括控制模组及与控制模组电性连接的供料器、定位载具、电批、扭力测试仪及视觉模组，定位载具可夹紧电子产品并可带动电子产品转动，使得电子产品的不同紧固面上的锁付孔定位于与电批相对的位置，电批可相对定位载具移动或/和转动，而将精密螺丝由供料器取放至锁付孔中，视觉模组可对锁付孔的坐标位置进行识别，视觉模组还可对精密螺丝于锁付孔的锁付位置进行识别，扭力测试仪与电批电性连接以对电批的锁付扭力进行监控，控制模组用于控制供料器、定位载具、电批、扭力测试仪及视觉模组间的协调动作。本设备结构简单、装配精度高且效率高。
精密螺丝设备

[实用新型]全自动贴合组装设备-CN201821899765.3有效
发明人：陈灿华;邓春华;张华礼;邓发友;周海涛;麻雷;林华堂;韦栋元 -专利权人：东莞市沃德精密机械有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开的全自动贴合组装设备包括机架、设于机架的第一输送装置、第二输送装置、点胶装置、上料装置和贴装装置；机架上设置有上料工位、取料工位和组装工位，上料装置将贴装件搬运至上治具上，第一输送装置将空载的上治具传输至上料工位，并将满载的上治具运输至取料工位；第二输送装置用于将载有贴装载体的下治具运输至点胶装置的点胶工位进行点胶，并将点胶完毕的下治具运输至组装工位，贴装装置位于取料工位和组装工位之间，贴装装置夹取取料工位上的上治具并将该上治具翻转至组装工位，以使得下治具与翻转后的上治具扣合。本实用新型的全自动贴合组装设备具有工作效率高、结构紧凑、自动化程度高且贴装精度高等优点。
上治具取料工位组装工位治具全自动贴合贴装装置组装设备点胶第二输送装置第一输送装置本实用新型点胶装置上料装置翻转工位运输工作效率高上料工位贴装件装载体夹取空载贴装搬运自动化满载传输

[发明专利]横向扩散金属氧化物半导体场效应管及其制造方法-CN201510169433.4有效
发明人：黄枫;韩广涛;孙贵鹏;林峰;赵龙杰;林华堂;赵兵 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2015-04-10 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： H01L29/78 文献下载
摘要：本发明涉及一种横向扩散金属氧化物半导体场效应管及其制造方法，所述方法包括：提供形成有第一N阱、第一P阱以及浅槽隔离结构的晶圆；在晶圆表面淀积形成高温氧化膜；对高温氧化膜进行光刻和干法刻蚀，并留下一薄层作为刻蚀缓冲层；进行湿法腐蚀，将未被光刻胶覆盖区域的刻蚀缓冲层去除，形成迷你氧化层；进行光刻和离子注入在第一N阱内形成第二N阱，以及在第一P阱内形成第二P阱；在所述晶圆表面形成多晶硅栅和栅氧层；光刻并注入N型离子，形成漏极和源极。本发明通过在STI结构LDMOS的沟道区靠近漂移区一侧增加一块迷你氧化层，可以在不增加LDMOS面积的情况下，大幅度地提高LDMOS的off‑BV。
横向扩散金属氧化物半导体场效应及其制造方法

[发明专利]横向绝缘栅双极型晶体管的制造方法-CN201410849111.X有效
发明人：黄枫;韩广涛;孙贵鹏;林峰;赵龙杰;林华堂;赵兵;刘理想;平梁良;陈凤英 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L21/331 文献下载
摘要：本发明涉及一种横向绝缘栅双极型晶体管的制造方法，包括：提供形成有N型埋层、STI、第一N阱以及第一P阱的晶圆；在晶圆表面淀积形成高温氧化膜；进行热推阱并对高温氧化膜进行光刻和刻蚀，形成迷你氧化层；在第一N阱内形成第二N阱，以及在所述第一N阱和第一P阱内形成第二P阱；在晶圆表面形成栅氧化层和多晶硅栅；光刻并注入N型离子，在第二N阱内、迷你氧化层和与迷你氧化层相邻的STI间形成漏极，同时在第二P阱内形成源极。本发明利用应力较小的HTO来做降低LDMOS表面电场的mini‑oxide，有源区边缘不会产生dislocation。通过推阱步骤使得HTO变致密，极大地降低了HTO的湿法腐蚀速率，保证了mini‑oxide在后续清洗过程中腐蚀量可得到稳定控制，可用于批量生产。
横向绝缘栅双极型晶体管制造方法

[发明专利]全自动贴合组装设备-CN201811373785.1在审
发明人：陈灿华;邓春华;张华礼;邓发友;周海涛;麻雷;林华堂;韦栋元 -专利权人：东莞市沃德精密机械有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明公开的全自动贴合组装设备包括机架、设于机架的第一输送装置、第二输送装置、点胶装置、上料装置和贴装装置；机架上设置有上料工位、取料工位和组装工位，上料装置将贴装件搬运至位于上料工位的上治具上，第一输送装置将空载的上治具传输至上料工位，并将满载的上治具运输至取料工位；第二输送装置用于将载有贴装载体的下治具运输至点胶装置的点胶工位进行点胶，并将点胶完毕的下治具运输至组装工位，贴装装置位于取料工位和组装工位之间，贴装装置夹取取料工位上的上治具并将该上治具翻转至组装工位，以使得下治具与翻转后的上治具扣合。本发明的全自动贴合组装设备具有工作效率高、结构紧凑、自动化程度高且贴装精度高等优点。
上治具取料工位组装工位全自动贴合贴装装置组装设备点胶治具第二输送装置第一输送装置点胶装置上料工位上料装置翻转工位运输工作效率高贴装件装载体夹取空载贴装搬运满载自动化传输

[实用新型]一种ICT设备分拣测试系统-CN201520662209.4有效
发明人： 林华堂 -专利权人：东莞市普华精密机械有限公司
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本新型公开了一种ICT设备分拣测试系统，包括分拣装置和测试装置，分拣装置和测试装置外围设置有安全防护栏及红外报警装置，所述分拣装置包括传送带、检测区和分拣机械手，所述分拣机械手位于检测区的正上方，分拣机械手包括传送轴臂和真空夹具，所述的传送轴臂为六轴机械轴臂，所述的真空夹具包括支架、定位针和真空吸板，所述的定位针位于支架的中心，真空吸板固定于支架底部且与定位针中心对称。本新型的分拣装置的机械臂位于传送带、检测区上方，同时设计为六轴机械轴臂，可以全方位360度调节真空夹持的位置，更便于在检测后自动移动分类；真空夹具的定位针可以确保持续作业的吸板偏移，累积移位而导致测量出错。
一种 ict 设备分拣测试系统

[发明专利]一种检测晶片是否异常的方法-CN201110422284.X有效
发明人：刘改花;林华堂;华强 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2011-12-15 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种检测晶片是否异常的方法，该方法包括：在待检测的各晶片上分别设定一个相互对应的标志位置，对应标志位置处的数据为晶片上所测数据的理论最大值；在待检测的各晶片上除了标志位置外再各设定多个一一相互对应的位置；采集各晶片上所设定的标志位置以及其他多个位置处的数据并记录；对各晶片上所采集的数据求平均，得出各晶片所对应的均值；求每一晶片上标志位置处的数据与该晶片所对应的均值的差值；判断各晶片所对应的差值是否超出预设范围，如果否，则该晶片正常，如果是，则该晶片异常。通过本发明所提供的方法，可有效地检测出异常晶片，从而可避免更大的损失。
一种检测晶片是否异常方法

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