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[发明专利]一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用-CN201611267205.1有效
发明人：邵慧慧;徐现刚;于果蕾;刘成成;李沛旭 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2016-12-31 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用，属于光电子技术领域，包括以下步骤：(1)在蓝宝石衬底上沉积一层光刻胶掩膜；(2)利用光刻对版进行曝光；(3)显影出光刻胶图形；(4)利用光刻胶做掩膜，激光刻蚀蓝宝石衬底，得到半球状蓝宝石图形衬底；(5)清洗衬底，利用加热的浓硫酸清洗衬底，得到半球状蓝宝石图形衬底。本发明通过光刻胶作掩膜，利用激光刻蚀光刻胶掩膜，有效的利用激光刻蚀过程中的钻蚀性制备出半球状图形衬底。解决了干法刻蚀蓝宝石价格比较昂贵的问题，湿法腐蚀图形失真的问题，工艺简单，便于操作，效率高，同时降低生产成本。
衬底激光刻蚀蓝宝石图形蓝宝石半球状制备光刻胶掩膜光刻胶掩膜清洗光电子技术领域光刻胶图形干法刻蚀湿法腐蚀浓硫酸沉积对版光刻显影钻蚀加热应用曝光

[发明专利]一种便于半导体激光器光纤镀膜和整形的装置及其工作方法-CN201710197708.4有效
发明人：位晓凤;孙素娟;李沛旭;徐现刚 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2017-03-29 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： H01S5/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种便于半导体激光器光纤镀膜和整形的装置，其特征在于，包括：光纤固定架，用于固定光纤；和隔离板，位于光纤固定架下面，并与光纤固定架以可拆装方式连接；隔离板包括两侧连接板和固定在两侧连接板之间的若干相互平行的隔离条，隔离条与光纤固定架上固定的光纤基本是相互垂直关系，用于在整形时支撑光纤。将光纤设置在光纤固定架上完成光纤的镀膜，镀膜完成后，将光纤固定架下部组合连接隔离板，用于激光器光束的整形，避免了光纤的二次转移，操作简便，生产效率高。
光纤固定整形光纤隔离板半导体激光器光纤镀膜隔离条连接板镀膜激光器光束垂直关系二次转移固定光纤生产效率组合连接固定的可拆装平行支撑

[发明专利]一种半导体激光器的测试和老化装置及方法-CN201510046050.8有效
发明人：杨扬;孙素娟;苏建;江建民;李沛旭;徐现刚 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2015-01-29 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：一种半导体激光器的测试和老化装置，包括测试部和器件待测部；测试部包括有弹簧片、驱动弹簧片上下位移的固定块；弹簧片包括有开口回形弯曲段和L形测试段；在L形测试段的末端连接有绝缘块；在绝缘块上设置有两个彼此绝缘的弹簧针，分别将激光器COS或器件的正、负极接出；固定块包括C形开口，弹簧片的开口回形弯曲段设置在所述C形开口内，并通过贯穿于C形开口的螺钉对开口回形弯曲段挤压或释放，实现所述L形测试段与器件待测部之间的距离调节。本发明可实现对半导体激光器COS或器件的快速测试、分选及批量测试，也可在半导体激光器COS或器件的老化过程中实时的对各类参数进行检测，避免将不良品组装成器件导致的成本上升和原材料浪费。
一种半导体激光器测试老化装置使用方法

[实用新型]一种激光系统用双面水冷板-CN201920951911.0有效
发明人：余兴社;黄威威;李沛旭;徐现刚 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： H01S3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光系统用双面水冷板，涉及激光设备技术领域。该双面水冷板包括上盖板、隔板和下盖板，所述的上盖板和下盖板结构相同且关于所述的隔板对称布置。所述的上盖板、隔板和下盖板共同形成了上层空腔和下层空腔，所述上盖板和下盖板的左端分别设置有进水口和出水口。所述隔板的右端位于上层空腔和下层空腔内设置有多个沿前后方向均布的漏水孔。该冷水板由于可进行双面冷却，因此在其上、下两侧均可设置元器件，有利于激光系统的集成化设计；另外该冷水板制中冷却液面覆盖整个制冷面，通用性好，而且加工简单，方便后期维护。
隔板上盖板下盖板激光系统上层空腔双面水冷下层空腔冷水板本实用新型集成化设计对称布置激光设备冷却液面前后方向双面冷却出水口进水口漏水孔制冷面元器件均布左端覆盖加工维护

[实用新型]一种单芯激光器及光纤通用的包装盒-CN201920768162.8有效
发明人：余兴社;黄威威;张庆一;李沛旭 -专利权人：潍坊华光光电子有限公司
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单芯激光器及光纤通用的包装盒，包括下盒和上盖，所述上盖设置在所述下盒上；所述下盒中设置有定位板，所述定位板将所述下盒分为第一区域和第二区域，所述第一区域内的上部设置有倒置的凸型定位槽，所述倒置的凸型定位槽形成上定位区，所述定位板和所述倒置的凸型定位槽之间为下定位区；所述第二区域内竖直平行设置有若干个船形隔离槽。本实用新型提供的包装盒，适用于单芯激光器产品、不同种类光纤连接器产品，方便放入取出，具有良好的定位及限位、缓冲效果。
下盒倒置定位板定位槽凸型本实用新型第二区域第一区域包装盒定位区单芯上盖激光器产品连接器产品缓冲效果竖直平行种类光纤激光器隔离槽通用的船形放入限位光纤取出

[发明专利]一种重力夹持半导体激光器芯片烧结夹具-CN201810225865.6在审
发明人：宋腾;刘成成;于果蕾;邵慧慧;开北超;李沛旭;徐现刚 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： H01S5/022 文献下载
摘要：一种重力夹持半导体激光器芯片烧结夹具，包括底座，其上端安装有N个夹具单元，N为大于等于2的自然数；所述夹具单元包括：支架、重块、支座以及滑柱。利用重块的下压力将COS压紧固定于热沉上。将各个夹具单元内固定好后放入烧结炉中进行烧结，烧结结束后，取出夹具，将各个夹具单元中的重块抬起并将滑柱升起后即可将烧结后的激光器取出。根据烧结时对COS压力的需求不同，可以通过改变重块的尺寸来进行改变。依靠重块的压力可以达到烧结时稳定性和一致性的要求，确保了烧结质量，同时可以通过设置多个夹具单元进行批量烧结，提高了生产效率。
烧结夹具单元重块半导体激光器芯片烧结夹具滑柱夹持取出夹具生产效率压紧固定激光器内固定烧结炉下压力上端放入热沉抬起支架底座

[发明专利]一种基于AlGaAs/GaInP有源区的795nm量子阱激光器-CN201710055073.4有效
发明人：徐现刚;李沛旭 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： H01S5/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种AlGaAs/GaInP有源区795nm量子阱激光器，其外延结构由下至上依次包括衬底、缓冲层、N型下限制层、下波导层、量子阱层、上波导层、P型上限制层、欧姆接触层，上波导层和下波导层采用无铝材料镓铟磷，量子阱层为铝镓砷材料，波导层和量子阱层共同组成宽波导半无铝有源区。本发明能够满足小型化、简单化自倍频激光晶体应用的泵浦激光器的特殊需求，同时优化的激光器结构能够有效降低生长界面粗糙、腔面处附生电场对激光器长寿命等可靠性的影响。
量子阱层源区量子阱激光器上波导层下波导层自倍频激光晶体泵浦激光器激光器结构欧姆接触层电场生长界面外延结构激光器波导层长寿命缓冲层宽波导铝材料铝镓砷腔面处镓铟磷衬底附生粗糙优化应用

[发明专利]一种半导体激光器壳内准直的装置及方法-CN201810083163.9在审
发明人：刘成成;开北超;邵慧慧;于果蕾;李沛旭;徐现刚;郑兆河 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： H01S5/00 文献下载
摘要：一种半导体激光器壳内准直的装置及方法，包括：基座、激光器外壳、准直透镜、光线反射机构、半透半反镜、探测器Ⅰ以及探测器Ⅱ，激光器工作后通过准直透镜发出激光束，激光束通过光线反射机构反射后变成高于激光器外壳的高度以水平方向射出向半透半反镜，经半透半反镜透射的光束射向探测器Ⅰ，在探测器Ⅰ的感光面上产生光斑，经半透半反镜反射的光束射向探测器Ⅱ，在探测器Ⅱ的感光面上产生光斑。调整准直透镜的角度，直至探测器Ⅰ上的光斑与探测器Ⅱ上的光斑宽度及位置均相同，使在激光器外壳内进行光束准直变成了可能，简化了模组结构。避免激光器因在激光器外壳外调节再焊接到激光器外壳1内的过程中带来的高温工步造成的透镜移位现象。
探测器激光器外壳半透半反镜光斑准直透镜半导体激光器光线反射机构激光器激光束感光准直反射透镜光束准直模组结构移位现象透射工步射出

[发明专利]一种半导体激光器-CN201711272330.6在审
发明人：朱振;张新;肖成峰;李沛旭;孙素娟;夏伟;徐现刚 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2017-12-05 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： H01S5/34 文献下载
摘要：一种半导体激光器，其非吸收窗口的制作步骤为：a)通过光刻技术在介质掩膜上形成周期性的掩膜沟槽；b)在介质掩膜上生长固态扩散膜，并在固态扩散膜上覆盖一层介质保护膜；c)将外延片置入扩散炉中进行高温扩散，扩散温度为500‑600℃；d)去除介质掩膜、固态扩散膜及介质保护膜。高温下，固态扩散膜中的Zn原子会扩散进入外延层，诱导量子阱附近的Al、Ga原子混杂，从而增加扩散区量子阱的带隙，形成非吸收窗口，使用固态扩锌形成非吸收窗口技术，提高腔面的抗烧毁能力，工艺更为稳定和均匀，而且安全性也更高。
固态扩散介质掩膜非吸收半导体激光器介质保护膜量子阱扩散窗口技术高温扩散光刻技术扩散炉扩散区外延层外延片带隙掩膜置入混杂去除烧毁诱导生长覆盖制作

[发明专利]一种半导体激光器芯片的自对准烧结夹具及烧结方法-CN201610285100.2有效
发明人：杨扬;徐现刚;夏伟;李沛旭 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2016-04-29 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： H01S5/022 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体激光器芯片的自对准烧结夹具及烧结方法。所述自对准烧结夹具包括底座、导轨支架和压块；所述底座上设有与热沉适配的定位卡槽，所述压块两侧有对称的定位道，所述导轨支架竖立于所述底座上，导轨支架上有对称的悬臂，悬臂内设有定位导轨，使压块的定位道能套入定位导轨中并在定位导轨中上下移动，所述压块底端有压柱，压块向下移动时压柱压紧热沉上的芯片。本发明还提供一种利用该夹具进行半导体激光器芯片烧结的方法。本发明的夹具结构简单，成本低廉，可实现自行对准，操作和观察方便；可实现对半导体激光器的芯片与热沉进行快速批量的烧结，显著提高夹具的烧结良率。
一种半导体激光器芯片对准烧结夹具方法

[实用新型]一种重力夹持半导体激光器芯片烧结夹具-CN201820371399.8有效
发明人：宋腾;刘成成;于果蕾;邵慧慧;开北超;李沛旭;徐现刚 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： H01S5/022 文献下载
摘要：一种重力夹持半导体激光器芯片烧结夹具，包括底座，其上端安装有N个夹具单元，N为大于等于2的自然数；所述夹具单元包括：支架、重块、支座以及滑柱。利用重块的下压力将COS压紧固定于热沉上。将各个夹具单元内固定好后放入烧结炉中进行烧结，烧结结束后，取出夹具，将各个夹具单元中的重块抬起并将滑柱升起后即可将烧结后的激光器取出。根据烧结时对COS压力的需求不同，可以通过改变重块的尺寸来进行改变。依靠重块的压力可以达到烧结时稳定性和一致性的要求，确保了烧结质量，同时可以通过设置多个夹具单元进行批量烧结，提高了生产效率。
烧结夹具单元重块半导体激光器芯片烧结夹具滑柱夹持取出夹具生产效率压紧固定激光器内固定烧结炉下压力上端放入热沉抬起支架底座

[发明专利]一种光纤轧切装置及工作方法-CN201710401260.3在审
发明人：位晓凤;殷方军;李沛旭;马崇彩;徐现刚 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2017-05-31 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G02B6/25 文献下载
摘要：本发明涉及一种光纤轧切装置及工作方法，属于光学镀膜技术领域，尤其是光纤切割工艺，包括底座，底座两侧均设有轧刀，轧刀通过转轴与底座相连，两个轧刀通过连接杆相连，底座表面设有光纤架。使用时，将待处理的光纤放置在底座表面上，用光纤架固定光纤，然后使轧刀轧落，轧切光纤，利用该装置可以高效的轧切光纤，一次切割多根光纤，方便可调、易于推广，尤其适合对端面无严格要求的光纤切割。
光纤轧刀底座表面光纤切割光纤架切装置底座底座两侧多根光纤固定光纤光学镀膜一次切割连接杆可调转轴

[发明专利]一种光纤耦合输出激光器光斑匀化装置及其制备方法-CN201410020211.1有效
发明人：刘成成;于果蕾;徐现刚;邵慧慧;李沛旭 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2014-01-09 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明提供一种光纤耦合输出激光器光斑匀化的装置，包括轴向穿过柔性管的光纤，在所述柔性管外部设置有与所述光纤共轴安装的保护管。本发明通过对柔性管加热，使得柔性管受热收缩，相当于给套在柔性管内的光纤施加应力，从而致使光纤发生均匀、连续的形变，该形变会改变光纤内部激光能量在各个模式中的分布，使光在多模光纤各个模式的分布更加均匀，从而使输出光束的光斑更加均匀，改善带环、散斑现象。本方法操作简单、适用性强，尤其适用于光纤耦合输出半导体激光器。
一种光纤耦合输出激光器光斑化装及其制备方法

[实用新型]一种光纤装架夹具-CN201820371407.9有效
发明人：殷方军;李沛旭;开北超;郑兆河;徐现刚 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：一种光纤装架夹具，包括：底座，其上端面设置有光纤固定装置，N个光纤沿底座的前后方向均匀间隔固定于底座上以及压板，压板的前后两个边缘分别将位于光纤固定装置前后两端的光纤端头压合固定于底座上。将长光纤截成长度略大于底座宽度的光纤，将光纤侧面擦拭干净后依次通过光纤固定装置相互平行固定到底座上，光纤两端的光纤端头超出或接近底座宽度边缘。之后将压板扣合到底座上，压板的前后两个边缘分别将位于光纤固定装置前后两端的光纤端头压合固定。可以去掉压板边缘露出的光纤端头，将装架后的光纤放置到到镀膜设备中进行镀膜生产。整个过程操作简单、提高了光纤镀膜效率，由于光纤固定牢固，从而确保了其镀膜的一致性。
底座光纤固定装置光纤端头光纤压板装架夹具压合固定镀膜设备镀膜生产光纤侧面光纤镀膜光纤固定光纤两端过程操作均匀间隔宽度边缘平行固定前后方向压板边缘长光纤上端面镀膜擦拭

[实用新型]一种大功率巴条激光器烧结夹具-CN201820371421.9有效
发明人：姚爽;孙素娟;李沛旭;开北超;夏伟;郑兆河;徐现刚 -专利权人：山东华光光电子股份有限公司
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： H01S5/022 文献下载
摘要：一种大功率巴条激光器烧结夹具，包括：底座、滑块、卡槽、压块、滑块驱动机构。需要将激光器进行烧结时，在显微镜下，将构成激光器芯片的热沉、金锡焊片、巴条、金锡焊片以及热沉依次放置于卡槽中，之后通过滑块驱动机构驱动滑块下移，直至压块慢慢靠近激光器芯片上的热沉并与其接触，弹簧提供向下的弹力使压块可以压在激光器芯片上，压力均匀一致，之后将整个夹具放入真空回流焊设备中进行烧结即可。避免巴条与热沉之间产生空洞，通过卡槽精确定位各物料，保证巴条小单元结构的一致性。该夹具每次烧结一根巴条成小单元，对各参数测试后可筛选出所需巴条小单元进行叠阵封装，保证了叠阵封装的一致性，避免浪费。
巴条热沉激光器芯片烧结激光器小单元卡槽压块夹具滑块驱动机构大功率巴条烧结夹具叠阵锡焊封装参数测试驱动滑块压力均匀真空回流弹簧显微镜底座放入滑块下移空洞筛选保证