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[发明专利]一种氮化物LED有源微机械雷达锅及制作方法-CN202310691105.5在审
发明人： 朱刚毅;邵衡;马迪;田沐霏 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01Q1/36 文献下载
摘要：本发明公开了纳米声波操控技术领域的一种氮化物LED有源微机械雷达锅及制作方法，旨在解决现有技术中雷达锅在转变探测方向时不能进行发光的问题。雷达锅包括硅衬底层，还包括微腔结构，所述微腔结构的中心由硅衬底层的顶部支撑，其余部分处于悬空状态；所述雷达锅在转变探测方向时，所述微腔结构能够产生自发辐射的荧光，照向所述雷达锅的探测方向；本申请能够在发射超声波时雷达锅指向超声波发射方向且发光照向超声波发射方向。
一种氮化物 led 有源微机雷达制作方法

[发明专利]一种电泵氮化物悬空波导微激光器及其制备方法-CN202111328188.9有效
发明人： 朱刚毅;纪鑫;秦飞飞 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01S5/10 文献下载
摘要：本发明公开一种电泵氮化物悬空波导微激光器及其制备方法。本发明在硅衬底氮化物外延片上利用光刻、ICP氮化物干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺，电子束蒸镀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔激光器；其微腔被悬空，垂直方向光学损耗极大降低，同时电极发光区与微腔区重合，引线在两端的柱子上，避免了复杂的引线工艺。
一种氮化物悬空波导激光器及其制备方法

[发明专利]一种基于量子限制斯塔克效应的白光LED及其制备方法-CN202310465255.4在审
发明人： 朱刚毅;樊学峰;孙志伟;秦飞飞;孙雷孟;杨俊波 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L33/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于量子限制斯塔克效应的白光LED及其制备方法，LED以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、设置在p型氮化镓层上的p型电极、设置在n型氮化镓层边缘的n型电极。本发明在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻刻蚀工艺和ICP刻蚀工艺制备具有三条不同宽度纳米梁的LED，利用三根梁在静重力的作用下发生形变造成的压电极化场会诱导铟镓氮量子阱的材料的量子限制斯塔克效应，由于每根梁的形变不同，导致量子限制斯塔克效应对其的减弱程度也不同的，宽度最大的梁，发红光，宽度居中的梁，发绿光，宽度最小的梁光谱蓝移，发蓝光；经三者复合，整体显现白光。
一种基于量子限制斯塔克效应白光 led 及其制备方法

[发明专利]一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法-CN202310563061.8在审
发明人： 朱刚毅;马迪;秦飞飞;冀宝剑;田沐霏;梁金星 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，传感器包括硅衬底层，硅衬底层的底部支撑层上形成一体连接的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部上端分别设置有第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘，第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间设置有一体连接的悬空连接梁，第三氮化物圆盘位于第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间，悬空连接梁、第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘均由上下设置的氮化铝层和氮化镓层构成。本发明提供的一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，能够避免电学噪声的干扰，加速度传感器的灵敏度和分辨率更高，量程更大。
一种 gan 机械加速度传感器及其制备方法

[发明专利]一种用于镀膜机的封闭式上下片系统-CN201710943124.7有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于镀膜机的封闭式上下片系统，包括壳体和均设置在壳体内部的基片移载机构、夹具移载机构、出料机构、上料机构、基片识别机构、方圆识别机构、机械手、承接机构、方形基片存放架、圆形基片存放架；上料机构，基片识别机构，用于识别夹具形状的方圆识别机构，用于夹取夹具的机械手，用于装载夹具的承接机构，用于存放方形基片的方形基片存放架，用于存放圆形基片的圆形基片存放架依次布置；基片移载机构和夹具移载机构均位于承接机构的上方，壳体上设有入料口和出料口，上料机构位于入料口处，出料机构位于出料口处。封闭式的上下片系统能实现基片的自动装夹和卸载，属于基片上下片的技术领域。
一种用于镀膜封闭式下片系统

[发明专利]一种ZnO悬浮碗状结构的垂直腔面激光发射器及其制备方法-CN202111443872.1有效
发明人： 朱刚毅;高菲;秦飞飞 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01S5/10 文献下载
摘要：本发明公开一种ZnO悬浮碗状结构的垂直腔面激光发射器及其制备方法，所述激光发射器以硅基SOI晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、二氧化硅层、二氧化硅支柱层、二氧化硅圆盘层、氧化锌圆盘层；所述激光发射器形成有多个从上至下刻穿氧化锌圆盘层、二氧化硅圆盘层、二氧化硅支柱层直至二氧化硅层的孔洞。本发明激光发射器具有极高的光学增益和极低的损耗，利于光电子器件集成，具有高品质低阈值低损耗的优势，其制备方法具有工艺性好、加工精度高的优势。
一种 zno 悬浮结构垂直激光发射器及其制备方法

[发明专利]一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器及其制备方法-CN202111355966.3有效
发明人： 朱刚毅;李猛;秦飞飞 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01S5/042 文献下载
摘要：本发明公开一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化物外延片为载体，包括自下而上依次设置的硅衬底层、设置在硅衬底底层上表面的n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、设置在p型氮化镓层上的二硫化钼层、p型电极、设置在n型氮化镓层上表面中心的n型电极；激光器具有圆环微腔结构，圆环微腔结构的下方由硅衬底层支撑。制备方法在硅衬底氮化物外延片上，利用光刻、ICP氮化物干法刻蚀、硅湿法刻蚀、电子束蒸镀工艺制备悬空圆环结构的氮化物微腔，将二维材料沉积在p型氮化镓表面，作为频梳的发光区，在圆环发光区和环形微腔增益区重合的表面蒸镀Ni/Au，在圆环中心的n型氮化镓表面蒸镀Ni/Au，最终制备电泵浦光频梳激光器。
一种氮化物悬空圆环光频梳激光器及其制备方法

[发明专利]一种基于氮化镓的八梁结构惯导系统及其制备方法-CN202310470161.6在审
发明人： 朱刚毅;孙志伟;樊学峰;秦飞飞;孙雷孟;梁金星 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01C21/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于氮化镓的八梁结构惯导系统及其制备方法，该惯导系统以硅基氮化物为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层进行悬空，形成一个位于氮化铝层下方的上窄下宽的梯形底座。整个惯导系统由4个p型和4个n型电极首尾相连，构成一个正八边形，分别测量东西南北以及东北、东南、西北、西南八个方向的角速度和线速度。
一种基于氮化结构系统及其制备方法

[发明专利]一种基于电泵浦片上InGaN量子肼梁三轴加速度计及其制备方法-CN202310472870.8在审
发明人： 朱刚毅;孙志伟;樊学峰;秦飞飞;孙雷孟;梁金星 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电泵浦片上InGaN量子肼梁三轴加速度计的设计及其制备方法，该三轴加速度计以硅基氮化物为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层进行悬空，形成一个位于氮化铝层下方的上窄下宽的梯形底座。整个三轴加速度计由2个p型和2个n型电极首尾相连，构成一个正四边形，可以测量水平方向x轴和y轴以及垂直方向z轴的加速度。
一种基于电泵浦片上 ingan 量子肼梁三轴加速度计及其制备方法

[发明专利]一种基于压电效应的自供给LED发光芯片及其制备方法-CN202310465203.7在审
发明人： 朱刚毅;樊学峰;孙志伟;秦飞飞;孙雷孟;杨俊波 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L33/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于压电效应的自供给LED发光芯片及其制备方法，以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、设置在p型氮化镓层上的p型电极、设置在n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层之上全部刻蚀掉，仅保留电极图形及梁下面部分，n型氮化镓层边缘处上方的量子阱层和p型氮化镓层刻蚀掉，n型电极设置在裸露出的n型氮化镓层上侧面上。上面较宽较短的梁用于发光，下面较细较长的梁用于发生强烈的机械振动，从而由于压电效应产生极化电荷，为上面的梁供电。本发明的优势在于无需供电，在静重力的作用下，LED即可发光，便于用在一些不方便连接电子线路的场合。
一种基于压电效应供给 led 发光芯片及其制备方法

[实用新型]一种坩埚送丝蒸发卷对卷镀膜设备-CN202320156969.2有效
发明人： 朱刚毅;杨容军 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开一种坩埚送丝蒸发卷对卷镀膜设备，包括真空镀膜室、真空抽气装置、双面蒸发镀膜辊轮组、第一自动送丝蒸镀组件和第二自动送丝蒸镀组件，双面蒸发镀膜辊轮组包括放膜辊、第一水冷镀膜辊、收卷辊、第二水冷镀膜辊、第一张紧辊轮组和第二张紧辊轮组；通过从放膜辊拉出待镀膜，待镀膜经由第一张紧辊轮组进行张紧，再绕过第一水冷镀膜辊下方，由第一自动送丝蒸镀组件对第一水冷镀膜辊下方待镀膜进行一面的蒸发镀膜，再由第二张紧辊轮组改变待镀膜的转动方向，使得待镀膜绕过第二水冷镀膜辊下方，由第二自动送丝蒸镀组件对第二水冷镀膜辊下方待镀膜进行另一面的蒸发镀膜，最后由收卷辊将其回收。
一种坩埚蒸发镀膜设备

[发明专利]一种电动汽车充放电策略和电网侧分时电价的双层优化方法-CN202010126032.1有效
发明人：陈巨龙;刘振铭;孙斌;廖志军;郑方鹏;薛毅;姚刚;刘凡;张裕;代江;贺红艳;朱刚毅;杨文凯;徐立新;刘英琪 -专利权人：贵州电网有限责任公司
申请日： 2020-02-20 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G06Q10/04 文献下载
摘要：本发明提供一种电动汽车充放电策略和电网侧分时电价的双层优化方法，上层模型的决策者为电动汽车用户，以充放电费用最小为目标，同时考虑了用户的行驶需求、缓解电池损耗的充放电次数约束等，对各时段的充放电策略进行优化；下层模型的决策者为电网，以社会福利最大化为目标，对峰、谷、平三种时段的分时电价进行优化。该方法通过在商业优化GAMS中建立双层模型并进行求解，同时得出了充放电策略与分时电价的最优决策，不仅能够有效地减少系统的负荷峰谷差，也可以兼顾电动汽车用户效益与发电侧成本，同时反映了分时电价与电动汽车充放电行为之间的相互作用。
一种电动汽车放电策略电网分时电价双层优化方法

[发明专利]一种量子点微激光器及其制备方法-CN202110850113.0有效
发明人： 朱刚毅;叶鹏;秦飞飞;严星灿 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2021-07-27 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01S5/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种量子点微激光器及其制备方法，激光器采用悬浮硅盘结构，悬浮硅盘结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、第一二氧化硅层、二氧化硅支柱层和二氧化硅圆盘层，在二氧化硅圆盘层上表面悬涂有量子点层，在量子点层上覆盖有第二二氧化硅层；所述制备方法采用光刻刻蚀工艺和RIE刻蚀工艺制备悬浮硅盘结构的微腔，使其在高温中退火后悬涂不同尺寸的量子点，并蒸镀二氧化硅。本发明激光器能够获得白光激光，具有极高的光学增益和极低的损耗，有利于与光电子器件集成，可以获得高光转换效率低阈值。
一种量子激光器及其制备方法

[发明专利]一种氮化物微机械雷达锅及其制备方法-CN202310114112.9在审
发明人： 朱刚毅;马迪;冀宝剑;田沐霏 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本发明涉及纳米声波操控技术领域，公开了一种氮化物微机械雷达锅设计及其制备方法，包括硅衬底层和设置于硅衬底层上部的氮化物层，所述氮化物层的中心由硅衬底层的顶部支撑，其余部分处于悬空状态；所述雷达锅能够通过声波频率来实现其摆扫方向的改变；在硅衬底层的外延片氮化物层上，利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备出一种悬空的微机械雷达锅。本发明的有益效果为：本发明的雷达锅在一定频率的声波下发生形变，进而可以控制其转变探测方向。
一种氮化物微机雷达及其制备方法

[发明专利]一种卷绕式真空镀膜机-CN202210628994.6有效
发明人： 朱刚毅;朱刚劲 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明属于镀膜设备技术领域，公开一种卷绕式真空镀膜机，包括放卷组件、第一双平衡辊抗应力组件、第一镀膜组件、第二镀膜组件、第二双平衡辊抗应力组件、收卷组件，所有组件都设置在真空室内。所述放卷组件和所述收卷组件在放卷和收卷的过程中，能够避免薄膜基材发生褶皱，将薄膜基材展平，所述第一双平衡辊抗应力组件和所述第二双平衡辊抗应力组件的设置，使得薄膜基材受到的拉应力均匀，很好的保护薄膜基材，避免拉应力变化过大造成薄膜基材变形受损。
一种卷绕真空镀膜

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