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[发明专利]一种氮化物LED有源微机械雷达锅及制作方法-CN202310691105.5在审
发明人：朱刚毅;邵衡;马迪;田沐霏 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01Q1/36 文献下载
摘要：本发明公开了纳米声波操控技术领域的一种氮化物LED有源微机械雷达锅及制作方法，旨在解决现有技术中雷达锅在转变探测方向时不能进行发光的问题。雷达锅包括硅衬底层，还包括微腔结构，所述微腔结构的中心由硅衬底层的顶部支撑，其余部分处于悬空状态；所述雷达锅在转变探测方向时，所述微腔结构能够产生自发辐射的荧光，照向所述雷达锅的探测方向；本申请能够在发射超声波时雷达锅指向超声波发射方向且发光照向超声波发射方向。
一种氮化物 led 有源微机雷达制作方法

[发明专利]一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法-CN202310563061.8在审
发明人：朱刚毅;马迪;秦飞飞;冀宝剑;田沐霏;梁金星 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，传感器包括硅衬底层，硅衬底层的底部支撑层上形成一体连接的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部上端分别设置有第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘，第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间设置有一体连接的悬空连接梁，第三氮化物圆盘位于第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间，悬空连接梁、第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘均由上下设置的氮化铝层和氮化镓层构成。本发明提供的一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，能够避免电学噪声的干扰，加速度传感器的灵敏度和分辨率更高，量程更大。
一种 gan 机械加速度传感器及其制备方法

[发明专利]一种氮化物微机械雷达锅及其制备方法-CN202310114112.9在审
发明人：朱刚毅;马迪;冀宝剑;田沐霏 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本发明涉及纳米声波操控技术领域，公开了一种氮化物微机械雷达锅设计及其制备方法，包括硅衬底层和设置于硅衬底层上部的氮化物层，所述氮化物层的中心由硅衬底层的顶部支撑，其余部分处于悬空状态；所述雷达锅能够通过声波频率来实现其摆扫方向的改变；在硅衬底层的外延片氮化物层上，利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备出一种悬空的微机械雷达锅。本发明的有益效果为：本发明的雷达锅在一定频率的声波下发生形变，进而可以控制其转变探测方向。
一种氮化物微机雷达及其制备方法

[发明专利]一种电驱动空气槽结构的氮化物微盘激光器及其制备方法-CN202210968442.X在审
发明人：朱刚毅;冀宝剑;何丝情;马迪;田沐霏 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01S5/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种电驱动空气槽结构的氮化物微盘激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化镓为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、缓冲层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层和p型氮化镓层，n型氮化镓层上设有n型电极，p型氮化镓层设置有p型电极；量子阱层的周部设有空气槽结构。通过n型电极和p型电极实现了电驱动的驱动方式，方便控制，且易于和其他微电子器件集成。通过空气槽的设置，实现了外回音壁模式，不仅具有线宽窄、阈值低的特点，还容易与周围环境发生作用，适用于气体传感、通信等方面。
一种驱动空气结构氮化物激光器及其制备方法

[发明专利]一种光子惯导芯片及其制备方法-CN202210954356.3在审
发明人：朱刚毅;田沐霏;刘子怡;邓睿 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G02B6/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种光子惯导芯片及其制备方法，包括布置在SOI晶片上的光子陀螺与加速度计，所述光子陀螺包括环形谐振腔，及连接在环形谐振腔上的第一直波导与第二直波导；所述加速度计包括跑道型谐振腔，所述跑道型谐振腔的一条直边上连接第三直波导，另一条直边上设置有质量块，所述质量块的下方设置有悬空区域；第一直波导与第二直波导的输入端连接第二Y型波导的输出端，第二Y型波导的输入端及第三直波导通过第一Y分支波导连接，接收输入端耦合光栅的光信号，实现了惯导芯片的集成化与微型化，提高灵敏度。
一种光子芯片及其制备方法