|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 25个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种硅片用涂胶装置-CN202023306298.9有效
-
周杰;张琪;李俊毅;符友银
-
安徽睿芯半导体科技有限公司
-
2020-12-30
-
2022-04-08
-
B05B13/02
- 本实用新型公开了一种硅片用涂胶装置，包括底座，所述底座的顶部连接有电机，电机的转轴端部连接有转盘，转盘上方固设有吊装的吊杆，吊杆上螺纹连接有刮杆，刮杆等分为两段，其中一段内部开设有储胶腔。本实用新型结构简单，将待涂胶的硅片置于转盘上，利用吸盘吸力进行固定，电机缓慢转动，硅片相对刮杆转动，胶水从内置出胶嘴喷出，喷在硅片上表面，而刮杆上的三角形凸起部的平口端将胶水在转盘上涂匀，多余的胶水进入回收腔，而转盘甩下的胶水，则进入回收容器进行回收，在此过程中，刮杆与吊杆螺纹连接，转动刮杆可实现其上下调节，改变刮胶的厚度，提高其适用范围。
- 一种硅片涂胶装置
- [实用新型]一种光刻机间隙曝光控制装置-CN202122138240.6有效
-
周杰;张琪;符友银;李俊毅
-
安徽睿芯半导体科技有限公司
-
2021-09-06
-
2022-02-18
-
G03F7/20
- 本实用新型提供一种光刻机间隙曝光控制装置，涉及微电子专用设备技术领域，包括工作台，所述工作台上固定连接有固定架，所述固定架顶部固定连接有电动机，所述电动机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆下端转动插接在工作台上，所述螺纹杆上螺纹设置有升降板，所述承载板固定安装在升降板上，所述升降板底部固定安装有物镜，所述升降板上固定安装有润滑瓶。本实用新型中，采用润滑瓶、通孔、海绵，在润滑瓶内部的润滑油对海绵进行润湿，然后润滑油通过通孔，滴落在螺纹杆上，从而能够对该螺纹杆进行润滑，使得升降板在升降的过程中更加的顺畅，降低机械设备的磨损，避免造成卡死等现象，从而能够保证升降时的精度。
- 一种光刻间隙曝光控制装置
- [实用新型]一种PID自适应温控装置-CN202122135982.3有效
-
周杰;张琪;符友银;李俊毅
-
安徽睿芯半导体科技有限公司
-
2021-09-06
-
2022-01-28
-
G05D23/00
- 本实用新型提供一种PID自适应温控装置，涉及温度控制技术领域，包括温控壳体、开设在温控壳体上的散热孔，所述温控壳体一侧设有防护壳，所述防护壳内部固定安装有静电吸附棒，所述静电吸附棒与散热孔位置对应，所述温控壳体顶部固定连接有导向框，所述导向框内部滑动设置有导向柱，所述导向柱一端与防护壳转动连接。本实用新型中，采用静电吸附棒、毛刷、导向框，当需要对该散热孔内部的灰尘进行清理时，启动静电吸附棒，然后推动该操作杆，通过导向柱带动防护壳移动，从而防护壳上的毛刷在移动带动过程中对散热孔内的灰尘进行清理，同时在静电吸附的作用下，将灰尘吸附在静电吸附棒上，从而保证散热孔具有良好的通风散热效果。
- 一种pid自适应温控装置
- [实用新型]一种掩膜版自动传输装置-CN202023309924.X有效
-
周杰;张琪;李俊毅;符友银
-
安徽睿芯半导体科技有限公司
-
2020-12-30
-
2022-01-11
-
B65G47/91
- 本实用新型公开了一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板，两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接，限位杆上滑动套接有滑座，滑座与螺杆螺纹连接，螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接，滑座的端部连接有安装板，安装板远离滑座的一侧设有两个平行设置的安装杆。本实用新型结构简单，根据掩膜版的尺寸大小，驱动齿轮带动两个齿条相互远离或靠近，从而实现两个安装杆间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性，然后利用电动吸盘吸附掩膜版，实现灵活抓取，并在驱动电机的驱动下，螺杆带动滑座和连接在其上的安装板移动，实现掩膜版的传递，便于掩膜版位置切换。
- 一种掩膜版自动传输装置
- [实用新型]一种光刻机双工作台装置-CN202023309946.6有效
-
周杰;张琪;李俊毅;符友银
-
安徽睿芯半导体科技有限公司
-
2020-12-30
-
2021-08-20
-
G03F7/20
- 本实用新型公开了一种光刻机双工作台装置，包括动力箱，所述动力箱的内底部连接有竖直设置的中心轴，中心轴上转动套接有轴套，中心轴和轴套均向上贯穿动力箱的顶部，且中心轴的上端连接有线盘，轴套的上端对称连接有导轨，导轨上滑动套接有滑块，滑块顶部连接有工作台。本实用新型结构简单，电磁铁通电，吸引齿条上的衔铁，带动齿条移动，齿条与齿轮啮合，带动轴套转动，轴套带动其上的工作台旋转，实现工位切换，一边上料，一边加工，提高加工效率，在此过程中，线盘保持静止，绕线缠绕线盘，拉动两个工作台逐渐向中间靠拢，避免因为工作台转动半径过大，增大设备体积。
- 一种光刻双工装置
|
