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- [实用新型]一种多孔硅晶圆匀胶夹具-CN202320200303.2有效
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钱磊;陈洋;钱海;朱小明
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苏州华博电子科技有限公司
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2023-02-13
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2023-10-24
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B05C11/08
- 本实用新型公开了一种多孔硅晶圆匀胶夹具，包括：固定板，固定板截面为圆形，用以放置硅片；固定板上安装有多个凸块，用以填充硅片上的通孔；固定板上设置有多个镂空结构，镂空结构连接外部抽真空设备，将硅片与固定板之间抽真空，用以固定硅片；凸块的横截面为圆形、矩形或其他不规则形状。通过与硅片上通孔相契合的凸块，将硅片上通孔完全填充，解决了硅片上由于有通孔而匀胶不均匀的问题，同时不会有漏胶的问题，硅片的孔边也可以匀到胶，覆盖更加完整，并且匀出来的胶厚度均匀；夹具上设计有镂空结构，通过镂空结构将硅片与夹具接触面吸真空，从而将硅片固定在夹具上。
- 一种多孔硅晶圆匀胶夹具
- [实用新型]一种轴承用钢珠防锈油喷淋装置-CN202320361098.8有效
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王永南;袁伟民
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沈阳泰达轴承制造有限公司
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2023-03-02
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2023-10-13
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B05C11/08
- 本实用新型公开了一种轴承用钢珠防锈油喷淋装置，包括：底座，所述底座的顶端安装有收集腔，所述收集腔的顶端安装有喷淋腔，所述喷淋腔的顶端安装有进料口，且进料口与所述喷淋腔的内腔连通，所述喷淋腔的内腔顶端中心位置安装有固定柱的一端，且固定柱的另一端固定安装于所述喷淋腔的内腔底端，所述喷淋腔的顶端安装有油管，所述喷淋腔的内腔顶端沿周向安装有若干个喷头。该轴承用钢珠防锈油喷淋装置，在实际使用中，能够保证钢珠滚动下落的同时均匀涂抹防锈油，无需集中放置并翻动，避免钢珠长期相互摩擦而出现划痕，并能实现钢珠连续、自动的排出，便于后续收集操作，同时能够对多余的防锈油进行回收，便于再利用。
- 一种轴承钢珠防锈油喷淋装置
- [实用新型]一种具有收集结构的自动旋涂机-CN202320646081.7有效
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祁祥红;李小闯
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江苏美成光学新材料有限公司
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2023-03-29
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2023-10-10
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B05C11/08
- 本实用新型涉及一种具有收集结构的自动旋涂机，包括底座，所述底座的顶部设置有框架，所述框架的顶部设置有顶箱，所述顶箱，所述顶箱与底座之间设置有收集机构；所述收集机构包括电机、螺纹杆一、主动轮、皮带、从动轮、螺纹杆二、套筒、限位杆、限位槽、圆盘和承接桶，所述顶箱的内底壁上设置有电机，所述电机的输出轴处固定安装有螺纹杆一，所述螺纹杆一的外表面固定安装有主动轮，所述主动轮的外表面传动连接有皮带，所述皮带的内部传动连接有从动轮，所述从动轮的内部固定安装有螺纹杆二。该具有收集结构的自动旋涂机，通过设置收集机构，将承接桶内壁上的强化液推动通过流通口落入容纳盒内，完成对强化液的收集，避免强化液的浪费。
- 一种具有收集结构自动旋涂机
- [发明专利]一种晶圆芯片加工旋涂装置-CN202310809898.6在审
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殷泽安;殷志鹏
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苏州译品芯半导体有限公司
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2023-07-04
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2023-09-12
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B05C11/08
- 本发明公开了一种晶圆芯片加工旋涂装置，涉及晶圆旋涂技术领域。该种晶圆芯片加工旋涂装置，包括承载盘和设置在承载盘上的旋转吸头，所述承载盘的顶部通过第一升降机构连接有移动罩，且移动罩的顶部通过第二升降机构连接有移动盘，所述移动盘的底部固定插设有滴管，所述移动盘的底部通过复位机构连接有多个阵列设置的移动块，且移动块的底部固定连接有多个阵列设置的斜板。该种晶圆芯片加工旋涂装置，能够在旋涂前，对晶圆进行自动居中定位，更加安全可靠，并保证旋涂的质量，同时，能够对晶圆的表面进行自动吹气清理，保证旋涂的质量，并且，便于根据晶圆的直径尺寸，对旋涂时的涂料剂量进行自动调节，保证旋涂效果的同时，避免涂料的浪费。
- 一种芯片加工装置
- [发明专利]涂敷处理装置、涂敷处理方法和计算机存储介质-CN202280008832.0在审
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稻叶翔吾
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东京毅力科创株式会社
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2022-01-04
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2023-09-08
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B05C11/08
- 本发明是一种在基片的周缘部涂敷涂敷液的涂敷处理装置，其包括：保持基片并使其旋转的保持旋转部；涂敷液供给嘴，其向由上述保持旋转部保持的基片的周缘部供给涂敷液；使上述涂敷液供给嘴移动的移动机构；以及控制部，控制上述保持旋转部、上述涂敷液供给嘴和上述移动机构，上述控制部构成为能够进行以下控制：在使保持上述基片的上述保持旋转部旋转的同时，一边利用上述涂敷液供给嘴供给涂敷液，一边控制上述移动机构以第一速度使上述涂敷液供给嘴从上述基片的周边外侧移动至上述基片上的周缘的规定位置，之后，一边利用上述涂敷液供给嘴供给涂敷液，一边控制上述移动机构以比上述第一速度高的第二速度使上述涂敷液供给嘴从上述规定位置向上述基片的周边外侧移动。
- 处理装置方法计算机存储介质
- [实用新型]一种匀胶机-CN202321130055.5有效
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徐江;李峃蔚
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四川妙帮塑业有限公司
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2023-05-11
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2023-09-05
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B05C11/08
- 本实用新型公开了一种匀胶机，包括匀胶机本体、匀胶碗、旋胶台、连接杆和控制器。本实用新型通过设置控制面板启动连接安装机构，使连接安装机构将旋胶台与连接杆进行稳定的拆卸安装，再通过控制面板启动定位密封机构对旋胶台与连接杆进行进行稳定的坻紧密封，解决了现有的匀胶机在使用中，往往需要根据使用需求，对匀胶机上的旋胶台进行拆卸更换，以方便匀胶机对不同大小的物品进行加工，但在实际的使用中，匀胶机上的旋胶台不仅不便于进行拆卸，还易因与真空泵之间的密封连接不紧密，导致旋胶台上生产的物品出现加工次品的情况，因此匀胶机在使用中不便于稳定的更换旋胶台，降低了匀胶机使用效果的问题。
- 一种匀胶机
- [实用新型]一种达克罗涂覆机用甩干设备-CN202321215936.7有效
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曹叶产;王国芬;王文祥
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杭州高克锈科技有限公司
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2023-05-19
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2023-09-05
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B05C11/08
- 本实用新型公开了一种达克罗涂覆机用甩干设备，包括固定箱和支撑座，所述固定箱内部底端的一侧设置有出料口，所述固定箱的底端固定连接有支撑座，所述固定箱的底端固定安装有固定壳，所述固定壳的内部设置有驱动电机。该达克罗涂覆机用甩干设备通过设置有刮板、第一固定块、甩干桶、预留槽等零件，利用插块分别将第一固定块和第二固定块插合进预留槽的内部固定，当甩干桶在旋转时，可带动第一固定块和第二固定块进行转动，从而刮板会对固定箱的内壁上的废料进行刮除，同时刷条会对固定箱内壁上的杂质进行清扫擦拭，从而在清理时更加适用，解决了箱壁会有很多残留的杂质不便于对其进行清理的问题。
- 一种达克罗涂覆机用甩干设备
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