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- [发明专利]一种气液分离式真空旋转设备-CN202310547371.0在审
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张琪;符友银;杨涛
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新毅东（上海）科技有限公司
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2023-05-16
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2023-08-29
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H01L21/683
- 本发明提供一种气液分离式真空旋转设备，包括晶圆吸盘和分离装置，晶圆吸盘通过主轴穿设于分离装置后连接驱动装置，主轴内沿高度方向开设负压通道，负压通道与分离装置连通；分离装置连通真空接口，真空接口通过连接真空设备使分离装置内形成负压状态，分离装置内形成沉降通道，分离装置内处于负压状态下气体依次经过负压通道和沉降通道后由真空接口排出，气体中混有的液体沉降于分离装置底部并留存至连通于分离装置底部的排液装置；排液装置连接自动排液销，分离装置内解除负压状态后自动排液销受重力开启以排出排液装置内的液体。本发明用以解决混有药品液滴的气体吸入真空管路从而导致真空管路甚至真空设备发生损坏的问题。
- 一种分离真空旋转设备
- [发明专利]一种半导体调平对焦工作台-CN202310673428.1在审
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张琪;符友银;杨涛
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新毅东（上海）科技有限公司
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2023-06-08
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2023-08-22
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H01L21/68
- 本发明提供了一种半导体调平对焦工作台，包括用于盛放晶圆的工作平台，工作平台均匀安装多组调节装置，通过调节装置对盛放于工作平台的晶圆同步进行调平和对焦；工作平台远离晶圆一侧设置安装板，调节装置的固定端连接于安装板的上表面，调节装置的驱动端与工作平台相连，调节装置的固定端在与驱动端无接触的状态下驱使驱动端带动与工作平台的连接处沿垂直于水平面的方向位移。本发明用以解决现有技术中晶圆在曝光前的调平和对焦需要分为两个步骤进行，因此存在曝光前准备时间过长而影响产能的问题，其次，现有工作台所应用的调平机构以及对焦机构通常由直流电机和丝杆构成，易产生高频振动从而影响晶圆调平和对焦的精度以及稳定性的问题。
- 一种半导体对焦工作台
- [实用新型]一种硅片用涂胶装置-CN202023306298.9有效
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周杰;张琪;李俊毅;符友银
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安徽睿芯半导体科技有限公司
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2020-12-30
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2022-04-08
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B05B13/02
- 本实用新型公开了一种硅片用涂胶装置，包括底座，所述底座的顶部连接有电机，电机的转轴端部连接有转盘，转盘上方固设有吊装的吊杆，吊杆上螺纹连接有刮杆，刮杆等分为两段，其中一段内部开设有储胶腔。本实用新型结构简单，将待涂胶的硅片置于转盘上，利用吸盘吸力进行固定，电机缓慢转动，硅片相对刮杆转动，胶水从内置出胶嘴喷出，喷在硅片上表面，而刮杆上的三角形凸起部的平口端将胶水在转盘上涂匀，多余的胶水进入回收腔，而转盘甩下的胶水，则进入回收容器进行回收，在此过程中，刮杆与吊杆螺纹连接，转动刮杆可实现其上下调节，改变刮胶的厚度，提高其适用范围。
- 一种硅片涂胶装置
- [实用新型]一种光刻机间隙曝光控制装置-CN202122138240.6有效
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周杰;张琪;符友银;李俊毅
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安徽睿芯半导体科技有限公司
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2021-09-06
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2022-02-18
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G03F7/20
- 本实用新型提供一种光刻机间隙曝光控制装置，涉及微电子专用设备技术领域，包括工作台，所述工作台上固定连接有固定架，所述固定架顶部固定连接有电动机，所述电动机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆下端转动插接在工作台上，所述螺纹杆上螺纹设置有升降板，所述承载板固定安装在升降板上，所述升降板底部固定安装有物镜，所述升降板上固定安装有润滑瓶。本实用新型中，采用润滑瓶、通孔、海绵，在润滑瓶内部的润滑油对海绵进行润湿，然后润滑油通过通孔，滴落在螺纹杆上，从而能够对该螺纹杆进行润滑，使得升降板在升降的过程中更加的顺畅，降低机械设备的磨损，避免造成卡死等现象，从而能够保证升降时的精度。
- 一种光刻间隙曝光控制装置
- [实用新型]一种PID自适应温控装置-CN202122135982.3有效
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周杰;张琪;符友银;李俊毅
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安徽睿芯半导体科技有限公司
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2021-09-06
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2022-01-28
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G05D23/00
- 本实用新型提供一种PID自适应温控装置，涉及温度控制技术领域，包括温控壳体、开设在温控壳体上的散热孔，所述温控壳体一侧设有防护壳，所述防护壳内部固定安装有静电吸附棒，所述静电吸附棒与散热孔位置对应，所述温控壳体顶部固定连接有导向框，所述导向框内部滑动设置有导向柱，所述导向柱一端与防护壳转动连接。本实用新型中，采用静电吸附棒、毛刷、导向框，当需要对该散热孔内部的灰尘进行清理时，启动静电吸附棒，然后推动该操作杆，通过导向柱带动防护壳移动，从而防护壳上的毛刷在移动带动过程中对散热孔内的灰尘进行清理，同时在静电吸附的作用下，将灰尘吸附在静电吸附棒上，从而保证散热孔具有良好的通风散热效果。
- 一种pid自适应温控装置
- [实用新型]一种掩膜版自动传输装置-CN202023309924.X有效
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周杰;张琪;李俊毅;符友银
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安徽睿芯半导体科技有限公司
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2020-12-30
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2022-01-11
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B65G47/91
- 本实用新型公开了一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板，两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接，限位杆上滑动套接有滑座，滑座与螺杆螺纹连接，螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接，滑座的端部连接有安装板，安装板远离滑座的一侧设有两个平行设置的安装杆。本实用新型结构简单，根据掩膜版的尺寸大小，驱动齿轮带动两个齿条相互远离或靠近，从而实现两个安装杆间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性，然后利用电动吸盘吸附掩膜版，实现灵活抓取，并在驱动电机的驱动下，螺杆带动滑座和连接在其上的安装板移动，实现掩膜版的传递，便于掩膜版位置切换。
- 一种掩膜版自动传输装置
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