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- [发明专利]晶圆背面印胶的封装方法-CN201510015031.9在审
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凡会建;李文化;彭志文
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特科芯有限公司
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2015-01-09
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2016-08-24
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H01L21/56
- 本发明公开了晶圆背面印胶的封装方法,包括晶圆,胶层和基板,对整片晶圆执行减薄、刷胶、贴蓝膜、切割、上片、烘烤工艺,其包括:晶圆背面减薄、晶圆背面刷硅胶、晶圆背面贴蓝膜、晶圆切割、上片、烘烤;上述技术方案是将背面刷胶再贴蓝膜的晶圆切割为单颗晶圆颗粒,改变晶圆对DAF膜的依赖,极大降低固晶直接材料成本;避免点胶工艺不均匀造成的胶层空洞,提高封装工艺可靠性,同时提高固晶后芯片平整度,有利于焊线制程稳定,在不增加工艺复杂的情况下同,降低成本,改善晶圆和基板结合品质。
- 背面封装方法
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