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[发明专利]一种高聚物感光材料制备方法-CN202310771940.X在审
发明人：石爱斌;彭召生;魏家乐 -专利权人：湖南金紫宇新材料科技有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种高聚物感光材料制备方法，涉及感光材料技术领域，选择成膜树脂、光敏剂、聚合物单体、增塑剂、表面活性剂和固化剂，各原材料的份数配比为：成膜树脂30～40份、光敏剂1份～6份、聚合物单体42～48份、增塑剂0.3份～0.5份、表面活性剂0.5份～1份、固化剂2份～8份，可实现感光材料对特定波长或光谱范围的高吸收率和响应率，使该感光材料能更有效的转化光能，也可使该感光材料的分辨率增加，而表面活性剂的添加，可以改善感光材料的涂覆性能和界面相容性，使其更好地与基底材料结合，以方便人们后续涂布感光材料，而固化剂可使其形成稳定结构的固态材料，提高了感光材料的透射率和拉伸性能，使其在各种环境下不易受损。
一种高聚物感光材料制备方法

[发明专利]感光性元件、固化物的制造方法、固化物图案的制造方法及线路板的制造方法-CN202180038977.0在审
发明人：粂壮和;黑泽刚;贺口阳介;岩下健一;成田真生;加藤哲也 -专利权人：株式会社力森诺科
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：一种感光性元件(1)，其具备支撑膜(10)及配置于支撑膜(10)上的感光层(20)，在支撑膜(10)的内部的最大直径1μm以上的缺陷的数量是每0.225mm2为100个以下，感光层(20)含有粘合剂聚合物、具有烯属不饱和键的光聚合性化合物及光聚合引发剂。
感光性元件固化制造方法图案线路板

[发明专利]感光性树脂组合物、干膜抗蚀层-CN201910867734.2有效
发明人：朱高华 -专利权人：浙江福斯特新材料研究院有限公司
申请日： 2019-09-14 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明公开了一种感光性树脂组合物、干膜抗蚀层。该树脂组合物包括40～70重量份的碱可溶性树脂、20～50重量份的光聚合单体、0.5～10.0重量份光引发剂和0.1～10.0重量份添加剂，所述碱可溶性树脂含有15～35质量％的来自(甲基)丙烯酸的结构单元、15～55质量％的来自(甲基)丙烯酸苄基酯的结构单元、15～55质量％的苯乙烯的结构单元、和1～7质量％的来自(甲基)丙烯酸羟乙酯的结构单元。本发明所的树脂组合物制成干膜抗蚀层时，具有优异的附着力、分辨率和退膜速度快等优点。
感光性树脂组合干膜抗蚀层

[发明专利]光增感化学放大型抗蚀剂材料、图案形成方法、半导体器件、光刻用掩模、纳米压印用模板-CN202010075147.2有效
发明人：永原诚司;田川精一;大岛明博 -专利权人：东京毅力科创株式会社;国立大学法人大阪大学
申请日： 2015-02-17 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种光增感化学放大型抗蚀剂材料及使用了该光增感化学放大型抗蚀剂材料的图案形成方法、半导体器件、光刻用掩模、以及纳米压印用模板。本发明的光增感化学放大型抗蚀剂材料用于二段曝光光刻工艺，且包含：(1)能够显影的基础成分；及(2)通过曝光产生光增感剂和酸的成分。上述成分仅含有(a)酸‑光增感剂产生剂、(b)光增感剂前体及(c)光酸产生剂这3种成分中的(a)成分，或者含有其中的任意2种成分，或者含有(a)～(c)成分的全部。
感化大型抗蚀剂材料图案形成方法半导体器件光刻用掩模纳米压印模板

[发明专利]感光性树脂组合物、固化物、分隔壁、有机电致发光元件、滤色器和图像显示装置-CN202280011982.7在审
发明人：木村明日香;利光惠理子;佐藤嘉秀;仓久稔 -专利权人：三菱化学株式会社
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：提供能够兼顾充分的拒液性和喷墨涂布性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物含有(A)共聚物、(B)碱溶性树脂和(D)光聚合性化合物，前述(A)共聚物含有单体(a1)和单体(a2)作为构成单体，所述单体(a1)：具有通过照射活性能量射线而产生自由基的活性基团的单体；所述单体(a2)：具有氟原子和/或硅原子的单体。
感光性树脂组合固化隔壁有机电致发光元件滤色器图像显示装置

[发明专利]感光性绿色树脂组合物、固化物、滤色器、显示设备、以及有机发光元件与防外光反射膜的层叠体的制造方法-CN202280013059.7在审
发明人：石原星儿;藤田麻希;小野充史 -专利权人： DNP精细化工股份有限公司
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明的感光性绿色树脂组合物含有色料、光聚合性化合物、以及光引发剂，上述色料包含蓝色颜料和黄色颜料，该黄色颜料包含C.I.颜料黄139，卤化金属酞菁颜料为10％以下，以膜厚3.0μm形成固化膜时，360nm～370nm的光谱透射率为0.7％以上。
感光性绿色树脂组合固化滤色器显示设备以及有机发光元件防外光反射层叠

[发明专利]感光性着色组合物、滤色器、液晶显示装置、及固体摄像元件-CN202310237082.0在审
发明人：香川祐哉;和久寿男 -专利权人：东洋油墨SC控股株式会社;东洋翊绚株式会社
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种显影工序中的残渣少、可兼顾耐热性的感光性着色组合物、滤色器、液晶显示装置、及固体摄像元件。感光性着色组合物，包含：着色剂(A)、分散树脂(B)、光聚合性化合物(C)、及光聚合引发剂(D)，所述感光性着色组合物中，分散树脂(B)包含树脂(B1)，所述树脂(B1)具有选自氧杂环丁基、嵌段异氰酸酯基、及叔丁基中的一种以上的热硬化性基，光聚合性化合物(C)包含重量平均分子量小于2000且聚合性不饱和基数为3以上的含烃环的多官能聚酯丙烯酸酯。
感光性着色组合滤色器液晶显示装置固体摄像元件

[发明专利]感光性树脂组合物及其光固化物、以及具有感光性树脂组合物的光固化膜的印刷配线板-CN202310254633.4在审
发明人：木村健人;上杉尚之;田家史佳 -专利权人：株式会社田村制作所
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性树脂组合物及其光固化物、以及具有感光性树脂组合物的光固化膜的印刷配线板，所述感光性树脂组合物能够形成具有绝缘可靠性、并且耐助焊剂性、消光外观、柔软性优异的保护膜。一种感光性树脂组合物，其含有(A)含羧基感光性树脂、(B)无机填料、(C)光聚合引发剂、(D)反应性稀释剂以及(E)环氧化合物，所述(B)无机填料是累计体积百分率为50体积％的粒径D50为0.7μm以上且5.5μm以下的滑石，所述(C)光聚合引发剂含有选自(C1)α‑氨基烷基苯基酮类光聚合引发剂以及(C2)肟酯类光聚合引发剂中的至少1种。
感光性树脂组合及其光固化以及具有印刷线板

[发明专利]抗蚀剂材料及图案形成方法-CN202310290323.8在审
发明人：畠山润 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明课题提供高感度，且LWR、CDU有所改善的抗蚀剂材料、及使用其的图案形成方法。解决手段是一种抗蚀剂材料，包含含有下式(1)表示的锍盐的淬灭剂。#imgabs0#
抗蚀剂材料图案形成方法

[发明专利]抗蚀剂材料及图案形成方法-CN202310290332.7在审
发明人：畠山润 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题为提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料，含有含下式(1)表示的锍盐的淬灭剂。#imgabs0#
抗蚀剂材料图案形成方法

[发明专利]抗蚀剂材料及图案形成方法-CN202310299501.3在审
发明人：畠山润 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题为提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料，含有含下式(1)表示的锍盐的淬灭剂。#imgabs0#
抗蚀剂材料图案形成方法

[发明专利]一种用于CTP版的感光树脂及其制备方法-CN202110655450.4有效
发明人：孙长义;郭俊成;李长华 -专利权人：安徽强邦新材料股份有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于CTP版的感光树脂，属于树脂制备技术领域，包括以下重量份原料：环氧树脂100‑150份、改性聚苯乙烯48‑56份、阻聚剂0.1‑0.15份、丙烯酸30‑38份、稀释剂3‑5份和催化剂1‑1.1份；本发明还公开了该树脂的制备方法，利用环氧树脂的分子链上含有能够与丙烯酸反应的环氧基团，通过控制反应温度，在催化剂的作用下，得到环氧丙烯酸酯，加入阻聚剂，防止高温条件下丙烯酸树脂发生自聚合反应，然后加入改性聚苯乙烯，进行共混，得到用于CTP版的感光树脂，具有较好的感光性的同时，还有具有固化速度快、附着力强、分辨率高以及透光率高的特点，在制备CTP版时具有很大的应用价值。
一种用于 ctp 感光树脂及其制备方法

[发明专利]负性聚酰亚胺光刻胶、凹凸图案的制备方法及半导体装置-CN202210270027.7在审
发明人：钱彬;梁乃强;安民石;于培培;王孟雪 -专利权人：常州力得尔电子新材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供了一种负性聚酰亚胺光刻胶、凹凸图案的制备方法及半导体装置。按重量份计，负性聚酰亚胺光刻胶包括100份聚酰亚胺前驱体、0.5～20份光引发剂和100～2000份溶剂；其中聚酰亚胺前驱体具有通式(I)所示结构，其X、Y、R均具有特定结构，m为5～10000的整数。本发明利用特定的聚酰亚胺前驱体配合光引发剂能够在曝光过程中产生自由基引发交联聚合反应，尤其是肟酯类光引发剂有较大的共轭体系和较强的分子内电子转移特性，在存储过程中性质稳定，不易产生自由基引发交联聚合反应，从而可以维持胶液合适的粘度和稳定性，使得负性聚酰亚胺光刻胶胶液具有良好的储存稳定性与开瓶稳定性。#imgabs0#
聚酰亚胺光刻凹凸图案制备方法半导体装置

[发明专利]层叠体的制造方法、电路配线的制造方法、电子器件的制造方法及感光性转印材料-CN202280011383.5在审
发明人：有富隆志 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种层叠体的制造方法、使用通过上述层叠体的制造方法得到的层叠体的电路配线的制造方法及电子器件的制造方法、以及感光性转印材料，其中，上述层叠体的制造方法包括：贴合工序，以具有临时支承体和包含感光性层的转印层的感光性转印材料的转印层侧与基板接触的方式，将上述感光性转印材料与上述基板贴合；曝光工序，对上述感光性层进行曝光；及显影工序，对上述感光性层进行显影而形成树脂图案，在将上述曝光工序中的感光性层的极限分辨度定义为Xμm，将粒子及空隙的基准直径定义为Y＝0.5×X所表示的Yμm的情况下，上述曝光工序中的感光性层的表面及内部的具有Yμm以上的直径的粒子及空隙的个数为15个/cm2以下。
层叠制造方法电路电子器件感光性材料

[发明专利]用于自对准双重图案化的无冻结方法-CN202180089820.0在审
发明人：迈克尔·墨菲;夏洛特·库特勒 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：图案化衬底的方法包括在浮雕图案的开口中沉积外覆层。该浮雕图案包括溶解度改变剂和对该溶解度改变剂敏感的可脱保护单体。该外覆层包括对该溶解度改变剂敏感的另一种可脱保护单体。该外覆层相对于预定显影剂的溶解度阈值低于该浮雕图案相对于该显影剂的溶解度阈值。该方法包括激活该溶解度改变剂以至少达到该外覆层的溶解度阈值，而不达到该浮雕图案的溶解度阈值，将该溶解度改变剂从该浮雕图案的结构扩散预定距离到该外覆层中以在该外覆层中形成可溶区域，以及用显影剂对该衬底进行显影以去除该外覆层的这些可溶区域。这些可溶区域可溶于显影剂，而该浮雕图案保持不溶于显影剂。
用于对准双重图案冻结方法