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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]显影液喷涂设备和显影液喷涂方法-CN202210417366.3在审
发明人：白雪琦;陈艳双;陈兴隆;程虎;王岳天 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种显影液喷涂设备和显影液喷涂方法，所述显影液喷涂设备包括：承载台，用于承载晶圆；显影喷嘴，用于向所述晶圆喷涂显影液；显影液供给装置，所述显影液供给装置连接所述显影喷嘴，用于向所述显影喷嘴传输显影液；气压调节装置，用于在所述显影喷嘴内形成负压，回吸喷涂出的显影液，使显影液在所述晶圆与所述显影喷嘴之间形成稳定的显影液液膜；驱动装置，用于驱动所述显影喷嘴移动和驱动所述承载台旋转，本发明提供的显影液喷涂设备能够减少因显影液飞溅所造成的颗粒污染，同时能够节约显影液。
显影液喷涂设备方法

[实用新型]一种用于光刻胶涂胶托盘的清洁盘及清洁装置-CN202021177746.7有效
发明人： 王岳天;边疆;孙洪君;关丽;王延明;王惠生 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： B05B15/555 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于光刻胶涂胶托盘的清洁盘及清洁装置，所述清洁盘包括正面盘和背面盘，所述背面盘表面设置有中心圆形区和外圈环形区，所述外圈环形区靠近所述清洁盘外边缘处设置有凸起环形区，所述凸起环形区表面分布设置有多个凸起颗粒，所述正面盘靠近外边缘处设置有环形凸台结构，所述环形凸台结构表面设置有多个倾斜孔道，所述倾斜孔道插入并贯穿所述清洁盘，所述清洁装置包括上述的清洁盘，还包括承片台、清洁液喷洒机构、调节旋转机构，本实用新型的清洁盘及清洁装置对光刻胶涂胶托盘具有良好的清洁效果，缩短了清洗时间。
一种用于光刻涂胶托盘清洁装置

[发明专利]一种喷嘴保湿切换机构-CN201611053171.6有效
发明人： 王岳天 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2016-11-25 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： B05B12/04 文献下载
摘要：本发明涉及半导体生产领域，具体地说是一种喷嘴保湿切换机构，包括旋转电缸、喷嘴组件、保湿盒、摆臂、升降气缸、胶臂和开门气缸，其中喷嘴组件置于保湿盒内，旋转电缸、保湿盒和开门气缸均设置于胶臂上，所述喷嘴组件设有旋转盘，在所述旋转盘上设有多个喷嘴，且所述旋转盘通过所述旋转电缸驱动旋转，所述胶臂通过所述升降气缸驱动升降，所述升降气缸可移动地设置于所述摆臂上，在所述保湿盒内设有出胶口，在保湿盒底侧设有开门，出胶时任一喷嘴位于所述出胶口上方，且所述保湿盒底侧开门通过所述开门气缸打开。本发明可实现喷嘴的快速切换及胶体保湿的功能，有效防止喷嘴堵塞。
一种喷嘴保湿切换机构

[外观设计]晶元涂胶显影机-CN201730604187.0有效
发明人： 王岳天;洪旭东;齐志崴 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： 16-04 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：晶元涂胶显影机。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于晶元的涂胶、显影。3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图。5．省略视图：设计1和设计2的仰视图不常见，故省略。6．指定基本设计：设计1。7．设计2与设计1的不同之处在于：设计2在设计1的基础上增设一列工艺单元，并用透明结构罩住入片口加以保护。
外观设计晶元涂胶显影机省略工艺单元透明结构入片口涂胶显影罩住仰视并用增设图片

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