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[发明专利]涂胶显影设备及其控制方法-CN202310848172.3在审
发明人：张建;陈兴隆;曲征辉 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供一种涂胶显影设备及其控制方法，所述设备应用于晶圆的涂胶显影工艺场景，包括互相连接的片盒模块和工艺模块；所述片盒模块设有旋转式片盒装载单元和层间机械手，N个旋转式片盒装载单元关于对称轴对称分布于所述层间机械手的两侧，N为任意大于1的整数，所述对称轴位于由所述片盒模块指向所述工艺模块的直线；所述旋转式片盒装载单元用于装载晶圆传送盒；所述层间机械手用于将晶圆送入晶圆传送盒或从所述晶圆传送盒取出；所述工艺模块包括竖直排列的若干工艺层，每层工艺层内均设有层内机械手和若干工艺单元；所述层内机械手用于承载晶圆并带动晶圆移动，以使晶圆经过不同的工艺单元。该设备用于提升涂胶显影工艺的产能。
涂胶显影设备及其控制方法

[发明专利]旋转处理装置的机械手自动示教方法、装置、设备及介质-CN202310848283.4在审
发明人：王超群;张建;曲征辉 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种旋转处理装置的机械手自动示教方法、装置、设备及介质，针对旋转处理装置，示教前只需根据旋转处理装置的大致位置确定机械手的初始位置，然后机械手根据初始位置在旋转处理装置上重复进行放取晶圆的操作，计算放取晶圆前后晶圆中心在机械手上变化的差值，根据差值对机械手的初始位置不断的进行调整，直到调整后的差值小于等于第一预设值时，认为晶圆中心和基准位置接近，将机械手调整后的位置作为第一坐标；通过旋转处理装置带动晶圆转动第二预设角度后得到第二坐标并计算出基准位置坐标，从而使得晶圆中心与旋转处理装置的基准位置的自动对准，实现了机械手的自动示教，无需借助示教工具成本低，并提高了示教的准确度和效率。
旋转处理装置机械手自动方法设备介质

[发明专利]一种机械手的自动示教方法、装置、设备及介质-CN202310838686.0在审
发明人：王超群;张建;曲征辉 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B25J9/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种机械手的自动示教方法、装置、设备及介质，针对非旋转处理装置，只需借助能够使晶圆产生滑动的导正装置，相对于现有的示教工具成本低，示教前只需根据导正装置的大致位置确定机械手的初始位置，通过机械手根据初始位置在导正装置上重复进行放取晶圆的操作，计算放取晶圆前后晶圆中心在机械手上变化的差值，根据差值对机械手的初始位置不断的进行调整，直到调整后的差值小于等于第一预设值时，认为机械手取放晶圆前后，晶圆中心的位置变化小，即晶圆中心和基准位置接近，从而使得晶圆中心与非旋转处理装置的导正装置基准位置的自动对准，实现了机械手的自动示教，不仅成本低，而且提高了示教的准确度和效率。
一种机械手自动方法装置设备介质

[发明专利]晶圆吸附装置及晶圆搬运设备-CN202211165686.0在审
发明人：曹博旭;张朋;曲征辉 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆吸附装置及晶圆搬运设备，通过将所述衬垫与所述吸盘凹凸配合连接，使用具有弹性的所述衬垫支撑所述吸盘，当所述吸盘对具有翘曲变形的晶圆进行吸附时，所述衬垫发生弹性形变，使得所述吸盘的吸附方向随所述晶圆的轮廓而改变，有利于提升对翘曲形变晶圆进行吸附的稳定性。
吸附装置搬运设备

[发明专利]一种匀胶机排风装置-CN201711094407.5有效
发明人：张超;程虎;郭生华;曲征辉 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及匀胶机领域，具体地说是一种匀胶机排风装置，包括进风盒、阀门盒、连接筒、气缸、活塞和排风法兰，其中所述进风盒、阀门盒、排风法兰内部依次相通形成排风通道，连接筒设置于所述阀门盒任一侧，且所述活塞通过所述气缸驱动在所述阀门盒和连接筒内移动，在所述阀门盒与所述进风盒相连一端的开口内壁上设有溶剂槽。本发明通过控制气缸的往复运动带动活塞运动，从而实现自动控制排风开关的目的，另外在阀门盒上部设有溶剂槽，溶剂槽内的溶剂会蒸发保持装置内部的湿润，减少光刻胶在装置内壁凝结，保持稳定的排风量，同时也易于装置的内部维护。
一种匀胶机排风装置

[发明专利]一种用于吸附硅片的吸盘-CN201310574067.1有效
发明人：张鹏;李学威;徐方;曲征辉;张一博;何伟全 -专利权人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日： 2013-11-13 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及硅片传输技术领域，具体公开一种用于吸附硅片的吸盘，包括与硅片接触的上部和与所述上部相对的下部，所述上部设有支撑面和真空吸附腔，其特征在于，所述吸盘上部设有至少两个抽气孔。本发明通过改进吸盘结构使抽气孔分散布置，从而降低了真空抽气、充气瞬间气体对硅片造成的局部冲击；改变吸盘图案，在吸盘半径方向上均匀布置真空吸附腔，从而避免了硅片因局部受力过大而造成损坏。
硅片吸盘真空吸附腔抽气孔吸附分散布置硅片传输局部受力均匀布置吸盘结构吸盘图案真空抽气支撑面充气改进

[外观设计]全自动匀胶机(1)-CN201730556246.1有效
发明人：程虎;曲征辉 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称全自动匀胶机(1)。2．本外观设计产品的用途本外观设计产品用于晶圆匀胶制造工艺。3．本外观设计产品的设计要点在于产品的整体形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片立体图。
全自动匀胶机

[发明专利]自动开关餐盒-CN201410631158.9有效
发明人：边弘晔;焦楠林;赵治国;曲征辉;王文钊;陈雷 -专利权人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日： 2014-11-11 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： A45C11/20 文献下载
摘要：一种自动开关餐盒，包括餐盘、连动光轴、输出轴同步带轮、连杆、餐盖、驱动机构、输出带轮和同步带；连动光轴设于餐盘的底部，连动光轴和餐盘转动连接，输出轴同步带轮固定在连动光轴上，连杆的一端固定在餐盖上，连杆的另一端和连动光轴固定连接，驱动机构和输出带轮安装在餐盘的底部，驱动机构驱动输出带轮转动，输出带轮和输出轴同步带轮通过同步带连接。上述自动开关餐盒，驱动机构驱动输出带轮旋转，输出带轮旋转通过同步带带动输出轴同步带轮旋转，输出轴同步带轮旋转从而带动连动光轴绕轴线方向转动，连动光轴和连杆固定连接，连杆与餐盖固定连接，连动光轴绕轴线转动从而带动餐盖的开启与关闭，实现自动开关餐盒的餐盖的自动开启与关闭。
自动开关

[发明专利]一种双侧等距离搬运装置以及应用该装置的堆栈机-CN201310451670.0有效
发明人：管莉娜;李学威;曲道奎;何书龙;曲征辉;马壮 -专利权人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日： 2013-09-28 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本发明涉及自动化搬运技术，尤其涉及一种双侧等距离搬运装置以及应用该装置的堆栈机，该装置包括驱动装置、固定架、底托、中板和上托板，所述驱动装置和底托均安装在固定架上，所述底托上安装有通过一级行程同步带相互连接的一级主动轮和一级从动轮，所述中板的底端中部通过固定夹板和一级行程同步带相固连。本发明有效减少了搬运系统的驱动数量，便于对整个机构进行控制，简化了控制机构，降低了成本。由于一级行程机构可左右运动到两端，带动上托板运动，可以搬运工位在此自动搬运结构两侧的相对180度的物件，增大了运动范围，更加灵活。
一种等距离搬运装置以及应用堆栈

[发明专利]一种真空传输装置-CN201510009908.3在审
发明人：李学威;赵治国;边弘晔;何书龙;曲征辉;管莉娜 -专利权人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日： 2015-01-06 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空传输装置，包括：真空传输系统、真空传输压力调节系统和真空传输温度调节系统；其中，所述真空传输系统，用于真空传输平台提供高真空度；所述真空传输压力调节系统，用于真空传输平台提供稳定的真空度及调节压力；所述真空传输温度调节系统，用于真空传输平台工作环境提供稳定的温度。本发明采用真空传输系统、以及稳定真空传输平台真空度的真空传输压力调节系统，以及稳定真空传输平台环境温度的真空传输温度调节系统；真空传输系统有益于高真空度及高洁净度的获得，真空传输压力调节系统有益于真空度稳定及调节，真空传输温度调节系统有益于真空传输平台传输环境温度的稳定，从而有效提高半导体产品合格率。
一种真空传输装置

[发明专利]升降装置-CN201210442132.0有效
发明人：李学威;温燕修;曲征辉;管莉娜;何以刚;边弘晔 -专利权人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日： 2012-11-08 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：一种升降装置，包括：底部安装架、第一侧边支撑柱、第二侧边支撑柱、顶部支撑架、滚轮、滚轮轨道、固定导轨、滑块、调整装置、负载放置台、顶部惰轮安装板以及多个惰轮，其中：多个惰轮安装在底部安装架上下两侧及顶部惰轮安装板下边；顶部支撑架、第一侧边支撑柱、第二侧边支撑柱与底部安装架垂直安装；顶部惰轮安装板置于顶部支撑架下边；固定导轨与滚轮轨道分别安装在第一侧边支撑柱与所述第二侧边支撑柱上；滑块一侧与固定导轨相连，另一侧固定在负载放置台上；滚轮与所述滚轮轨道接触且通过调整装置固定在负载放置台上。本发明的升降装置有效的减少传动误差，提高升降的精度以及负载能力。
升降装置

[发明专利]一种堆垛机立柱的上端支撑导向结构-CN201310451718.8在审
发明人： 曲征辉;曲道奎;徐方;何伟全;王文钊;李学威 -专利权人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日： 2013-09-28 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： B65G57/00 文献下载
摘要：本发明涉及堆垛机技术领域，具体公开一种堆垛机立柱结构，包括两根立柱、连接所述根立柱上端的横梁架、设置在所述横梁架上的横梁，其特征在于，所述堆垛机立柱结构还包括分别安装在所述横梁架相反侧上的至少一个固定导向轮结构和至少一个可调导向轮结构。本发明的堆垛机立柱结构能够更加安全地完成堆垛机水平运动时的导向效果，减少摆动与震动，并使结构简单化。
一种堆垛立柱上端支撑导向结构

[发明专利]四连杆机器人辅助平衡机构-CN201310452314.0有效
发明人：王富刚;李学威;徐方;宋吉来;冯亚磊;曲征辉 -专利权人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日： 2013-09-28 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： B25J18/00 文献下载
摘要：本发明涉及机器人领域，提供一种四连杆机器人辅助平衡机构包括底座、设置在所述底座上的腰座，依次由第一连杆、三角连杆的一边、大臂、第五连杆构成的第一四连杆机构，依次由第三连杆、小臂、大臂、第四连杆构成的第二四连杆机构，依次由三角连杆的另一边、第二连杆、手腕、小臂构成的第三连杆机构，所述大臂上设置有第一电磁铁、所述小臂上设置有第二电磁铁，所述第一电磁铁和所述第二电磁铁相对设置。本发明具有如下效果：大臂上设置有第一电磁铁、小臂上设置有第二电磁铁，第一电磁铁和第二电磁铁相对设置，上述第一电磁铁和第二电磁铁通电，使得第一电磁铁和第二电磁铁相互吸引，小臂逆时针转动，进而提高第三轴电机的运动范围。
连杆机器人辅助平衡机构

[发明专利]导气管的走线布置装置、应用其的大气机械手及走线方法-CN201210442095.3有效
发明人：李学威;温燕修;曲征辉;何书龙;张鹏;郑鋆 -专利权人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日： 2012-11-08 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： B25J9/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种导气管的走线布置装置、应用其的大气机械手及走线方法，走线布置装置包括：套环、线卡及连接件，套环通过连接件固定在机械手的肩部带轮上，线卡为至少两个，设在机械手的大臂内。大气机械手包括有回转盘、大臂、肘部、导气管及走线布置装置，大臂上设有肩部带轮、气管同步带分隔板及管压板，肩部带轮上设有气管导向槽，肘部包括有底板、上带轮、气管同步带分隔板，肩部带轮上安装有线卡，大臂壳体上也安装有线卡。本发明在使用时，可以减少导气线的摩擦，减小机械手重量和体积，增加机械手刚性和强度，美观并延长导气管使用寿命，节约空间，并且便于导气管的更换与维护。
气管布置装置应用大气机械手方法

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