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- [实用新型]一种显影花篮、光刻胶显影设备-CN202321058560.3有效
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黄婷;陈臻
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深圳市思坦科技有限公司
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2023-05-05
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2023-10-13
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G03F7/30
- 本申请提供了一种显影花篮、光刻胶显影设备,涉及半导体加工技术领域,显影花篮包括承托件和限制组件,所述承托件上具有相对设置的第一表面与第二表面,所述第二表面可漂浮于显影液上,所述第一表面用于放置晶圆,以使得所述晶圆的显影面至少部分从所述第二表面中露出,且可与显影液接触,提起所述承托件,所述显影面上的显影液在重力的作用下脱离所述显影面,不会残留于所述显影面上,以能有效解决显影过程中显影液残留的问题,提高了显影的质量,所述限位组件设置于所述承托件上,且与所述承托件可拆卸连接,以用于限制所述晶圆相对于所述承托件的位移,以能改善显影过程中晶圆移动所导致的显影不均匀的情况,提高了显影效果。
- 一种显影花篮光刻设备
- [发明专利]一种基于数据防伪技术的智能分析识别系统及方法-CN202310822426.4在审
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李强;陈臻
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上海朗晖慧科技术有限公司
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2023-07-06
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2023-10-03
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G06F21/64
- 本发明公开了一种基于数据防伪技术的智能分析识别系统及方法,属于智能分析识别领域。智能分析识别系统通过预处理模块收集所有公司的电子签章,将每个公司的每个电子签章赋予一个锁函数并且每个公司在预处理模块存储一个对应的钥匙函数;初步检验模块调用待检验电子签章所在公司使用的所有签章,将待检验电子签章的外表特征数据与调用得到所有签章的外表特征数据做对比,若不完全符合任一调用签章外表特征数据,则系统判别为伪电子签章;若完全符合任一调用签章外表特征数据,则将待检验电子签章的锁函数与对应公司的钥匙函数发送给二次检验模块;二次检验模块通过与锁函数钥匙函数相关的算法计算得出真值,判断得出是否为真电子签章;本发明可以减少系统的算力,提高了智能分析识别系统的运行效率。
- 一种基于数据防伪技术智能分析识别系统方法
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