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[发明专利]一种高填充因子的MEMS微镜及制造方法-CN202310694434.5在审
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种高填充因子的MEMS微镜及制造方法，微镜包括设于衬底上的微桥结构，微桥结构包括支撑及电连接柱和微桥桥面；微桥桥面上设有微镜镜面，微镜镜面通过支撑及电连接柱电连接衬底；支撑及电连接柱形成于第一沟槽中，第一沟槽设于第一牺牲层中，第一牺牲层位于衬底与微桥桥面之间，支撑及电连接柱包括形成于第一沟槽的部分侧壁表面上的导电体和位于导电体内侧的支撑体，微镜镜面通过导电体电连接衬底，微桥桥面支撑于支撑体和导电体上；微桥结构通过去除第一牺牲层得以释放。本发明能够减小所形成的支撑及电连接柱在微镜中的占用面积，由此使得微镜镜面的面积得到有效的增加，从而能大幅度提升填充因子和产品的性能。
一种填充因子 mems 制造方法

[发明专利]一种MEMS微镜阵列的制备方法及微镜-CN202311193462.5在审
发明人：李亚雷;温赛赛;仇旭萍;张裕华 -专利权人：苏州亿波达光电子科技有限公司
申请日： 2023-09-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS微镜阵列的制备方法，包括如下步骤：S1、在读出电路板表面设置基板；S2、在基板表面沉积牺牲层，并在牺牲层表面刻蚀通孔；S3、在牺牲层表面沉积与读出电路板连接的镜面，得到MEMS微镜；S4、刻蚀MEMS微镜得到阵列化排布的微镜单元；S5、去除牺牲层，得到MEMS微镜阵列。本方法通过读出电路板与每个微镜单元的独立连接实现了其阵列化设置，每个微镜单元均能够独立控制其偏转，可在较小的静电驱动力作用下满足所需的偏转角度，提高了产品的使用灵活程度及效果，此外，本方法通过牺牲层的设置制备出扭转刚度较小的微镜阵列，并提高了镜面的填充率，使微镜单元可呈现出更佳的成像效果。
一种 mems 阵列制备方法

[发明专利]光扫描装置-CN202280015867.7在审
发明人：樱井诚;高尾义史;中泽克纪;松丸直也;山本笃;N·A·伊德里斯 -专利权人：斯坦雷电气株式会社
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：光扫描装置(10)具备固定于基板(15)的立起板部(13b)，立起板部(13b)在VCSEL(17)和MEMS光偏转器(20)上方的位置上具有倾斜槽(30)和贯通孔(31)。板状反射镜(23)和旋转型反射镜(25)的在Y轴方向的一端部分别受倾斜槽(30)和贯通孔(31)支承。贯通孔具有以Y轴方向的轴线为中心线的旋转体的形状。
扫描装置

[实用新型]微机电镜器件-CN202320769023.3有效
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利;C·L·佩瑞里尼;T·阿菲菲·阿菲菲 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开涉及微机电镜器件。一种微机电镜器件在半导体材料的管芯中具有：限定腔体的固定结构；承载反射区域的可倾斜结构，弹性地悬置在腔体上方并且具有在水平面中的主延伸部；承载相应压电结构的至少一对第一驱动臂，压电结构可以被偏置以生成驱动力，该驱动力引起可倾斜结构围绕平行于水平面的第一水平轴的旋转轴的旋转；弹性悬置元件，在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦合到固定结构，并且对于离开水平面的运动是刚性的并且对于围绕旋转轴的扭转是柔顺的。特别地，第一对驱动臂中的驱动臂磁性地耦合到可倾斜结构，以便在相应压电结构的偏置之后通过磁性相互作用使其围绕旋转轴旋转。
微机器件

[实用新型]一种高填充因子的MEMS微镜-CN202321493703.3有效
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高填充因子的MEMS微镜，微镜包括设于衬底上的微桥结构，微桥结构包括支撑及电连接柱和微桥桥面；微桥桥面上设有微镜镜面，微镜镜面通过支撑及电连接柱电连接衬底；支撑及电连接柱形成于第一沟槽中，第一沟槽设于第一牺牲层中，第一牺牲层位于衬底与微桥桥面之间，支撑及电连接柱包括形成于第一沟槽的部分侧壁表面上的导电体和位于导电体内侧的支撑体，微镜镜面通过导电体电连接衬底，微桥桥面支撑于支撑体和导电体上；微桥结构通过去除第一牺牲层得以释放。本实用新型能够减小所形成的支撑及电连接柱在微镜中的占用面积，由此使得微镜镜面的面积得到有效的增加，从而能大幅度提升填充因子和产品的性能。
一种填充因子 mems 微镜

[发明专利]光路机构、光路装置和激光刻划设备-CN202310922370.X在审
发明人：张兵;欧阳东成;黄进阳;谢圣君 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族光伏装备有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种光路机构、光路装置和激光刻划设备。光路机构包括第一反射镜，第一反射镜用于将沿第一方向的光束反射至沿第二方向，第一方向与第二方向呈角度；第一驱动装置，第一驱动装置与第一反射镜驱动连接，第一驱动装置用于驱动第一反射镜沿第一方向移动。本发明技术方案根据需要调整刻划间距、能够刻划非直线划线等，此外，本发明技术方案的光路机构调整结构简单，安装方便，成本较低。
机构装置激光刻划设备

[发明专利]电磁振镜及振镜系统-CN202210334320.5在审
发明人：董晓诗;徐景辉;赵飞 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本申请公开了一种电磁振镜及振镜系统，属于振镜技术领域。该电磁振镜包括：可动部、固定部和第一支撑部。可动部包括：框架，以及位于框架上的反射镜和第一电磁线圈，固定部包括：固定板，以及位于固定板上的第一电极；第一支撑部包括：相间隔的第一支撑结构和第二支撑结构。其中，在可动部中，第一电磁线圈用于带动反射镜运动，反射镜具有背向框架的反射面；在第一支撑部中，第一支撑结构和第二支撑结构均连接框架和固定板，且第一支撑结构的刚性大于第二支撑结构的刚性；第二支撑结构上具有连接第一电极和第一电磁线圈的第一走线。本申请解决了走线较容易断裂的问题，本申请用于电磁振镜。
电磁系统

[发明专利]一种中空快速反射镜-CN202311133991.6在审
发明人：孔凡辉;刘耀军;陆君 -专利权人：北京瑞控信科技股份有限公司
申请日： 2023-09-05 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及光电扫描跟踪技术领域，本发明的实施例公开了一种中空快速反射镜，包括：前壳、反射镜、中空支架组件、音圈电机组件、锁止组件、柔性铰链组件和后壳；所述反射镜由所述中空支架组件支撑在所述前壳上；所述前壳连接所述后壳；所述音圈电机组件安装在所述后壳上；所述锁止组件连接所述后壳和所述中空支架组件，当快速反射镜工作时，手动解除所述锁止组件和所述中空支架组件的连接；所述柔性铰链组件连接所述后壳和所述中空支架组件。本发明能够实现在高能激光主光束方向的高动态控制时，提高快反镜的强激光承载力，避免强激光引起反射镜镜架变形和反射镜变形。
一种中空快速反射

[发明专利]一种基于分体式结构的大型旋转棱镜-CN202310948730.3在审
发明人：由小玉;崔健炜;刘俭;刘辰光 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种基于分体式结构的大型旋转棱镜，它涉及一种大型旋转棱镜。本发明为了解决超精密测量过程中温度梯度导致测量精度受影响的问题。本发明包括反射镜和多个支撑结构；反射镜由多个单体结构沿圆周方向依次连接组成，每个所述单体结构的外边缘设有一个支撑结构。本发明属于光学扫描技术领域。
一种基于体式结构大型旋转棱镜

[发明专利]一种基于椭球面的振镜平面扫描装置和扫描方法-CN202311159960.8在审
发明人：张嘉贺;苏航;杨勇;杨青;袁小聪 -专利权人：之江实验室
申请日： 2023-09-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于椭球面的振镜平面扫描装置和扫描方法，装置中以激光器输出的激光的方向为x轴，第一椭球面反射镜的最长的轴在x轴上，第一椭球面反射镜的远离激光器的第一焦点为原点，水平面上经过原点与x轴垂直的轴为y轴，经过原点垂直于水平面的轴为z轴，第一椭球面反射镜的靠近激光器的第二焦点处设有z轴振镜，第一椭球面反射镜的远离激光器的第一焦点处设有y轴振镜；第二椭球面反射镜的最长的轴在z轴上，第二椭球面反射镜的第三焦点与第一焦点重合，第二椭球面反射镜的第四焦点位于第三焦点z轴方向上的上方，第四焦点处设有转折反射镜。与现有技术相比，本发明具有减少畸变和串扰等优点。
一种基于椭球平面扫描装置方法

[发明专利]具有减少的串扰的MEMS反射镜阵列和制造方法-CN202280016490.7在审
发明人：斯科特·A·米勒 -专利权人：卡利恩特科技公司
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：描述了用于具有减少的串扰的MEMS反射镜阵列的方法、装置和制造方法。MEMS反射镜阵列具有多个反射表面，其中，每个反射表面具有谐振频率，并且进一步地，其中，相邻的反射表面不具有相同的谐振频率。
具有减少 mems 反射阵列制造方法

[发明专利]一种单芯片集成的微镜反馈元件-CN202310923645.1有效
发明人：白民宇;杨涛;吴建凰;苟勇;王丛华;巩少峰;张妮妮 -专利权人：西安知象光电科技有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种单芯片集成的微镜反馈元件，在微镜转动处的上部外侧边缘布置发射器，在微镜固定处的上部内侧边缘布置探测器，微镜工作时发射器发出光束，当微镜的转动部分到达平衡位置附近时，发射器发出的光束到达探测器，探测器接收光束并产生脉冲信号输出，将该脉冲信号输入微镜驱动系统，可以确定微镜转动部分的达到平衡位置的时间，并确定其运动周期，从而实现对微镜的反馈控制；该微镜反馈元件采用光学反馈方式，几乎不受温度影响，并且信号稳定，信噪比高，处理电路简单。
一种芯片集成反馈元件

[发明专利]具有抗应力性改进的压电致动的微机电镜器件-CN202310372761.9在审
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利;C·L·佩瑞里尼;T·阿菲菲·阿菲菲 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开涉及具有抗应力性改进的压电致动的微机电镜器件。一种微机电镜器件在半导体材料的管芯中具有：限定腔体的固定结构；承载反射区域的可倾斜结构，弹性地悬置在腔体上方并且具有在水平面中的主延伸部；承载相应压电结构的至少一对第一驱动臂，压电结构可以被偏置以生成驱动力，该驱动力引起可倾斜结构围绕平行于水平面的第一水平轴的旋转轴的旋转；弹性悬置元件，在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦合到固定结构，并且对于离开水平面的运动是刚性的并且对于围绕旋转轴的扭转是柔顺的。特别地，第一对中的驱动臂磁性地耦合到可倾斜结构，以便在相应压电结构的偏置之后通过磁性相互作用使其围绕旋转轴旋转。
具有应力改进压电微机器件

[发明专利]高占空比MEMS微镜、微镜阵列及制备方法-CN202111004154.4有效
发明人：李伟;徐静 -专利权人：安徽中科米微电子技术有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供一种高占空比MEMS微镜、微镜阵列及制备方法，该MEMS微镜的第一可动梳齿、第一固定梳齿位于反射镜硅层的下方，在实现两个方向大角度偏转的同时，提高了MEMS微镜的占空比，有效减小了MEMS微镜的体积。反射镜硅层下方带有加强筋结构，有效改善了MEMS微镜在静止及运动过程中的表面平整度。此外，本发明的MEMS微镜提供了包括双面电极结构在内的多种电极引出形式，应用时可以根据实际情况进行选择，更有利于MEMS微镜及微镜阵列的市场化应用。本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具有高度产业利用价值。
高占空 mems 微镜阵列制备方法

[发明专利]双轴垂直梳齿MEMS微镜、微镜阵列及制备方法-CN202111003113.3有效
发明人：李伟;徐静 -专利权人：安徽中科米微电子技术有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供一种双轴垂直梳齿MEMS微镜、微镜阵列及制备方法，该MEMS微镜的第一可动梳齿、第一固定梳齿位于反射镜硅层的下方，在实现两个方向大角度偏转的同时，提高了MEMS微镜的占空比，有效减小了MEMS微镜的体积。反射镜硅层下方带有加强筋结构，有效改善了MEMS微镜在静止及运动过程中的表面平整度。同时，本发明的MEMS微镜提供了隐藏式梳齿结构及双面电极结构。此外，梳齿之间还通过基板中的绝缘填充槽实现电隔离，梳齿电极分别与各个梳齿电连接，实现了梳齿之间的单独控制，具有更高的灵活性。本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具有高度产业利用价值。
垂直梳齿 mems 微镜阵列制备方法

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