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[发明专利]一种高填充因子的MEMS微镜及制造方法-CN202310694434.5在审
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种高填充因子的MEMS微镜及制造方法，微镜包括设于衬底上的微桥结构，微桥结构包括支撑及电连接柱和微桥桥面；微桥桥面上设有微镜镜面，微镜镜面通过支撑及电连接柱电连接衬底；支撑及电连接柱形成于第一沟槽中，第一沟槽设于第一牺牲层中，第一牺牲层位于衬底与微桥桥面之间，支撑及电连接柱包括形成于第一沟槽的部分侧壁表面上的导电体和位于导电体内侧的支撑体，微镜镜面通过导电体电连接衬底，微桥桥面支撑于支撑体和导电体上；微桥结构通过去除第一牺牲层得以释放。本发明能够减小所形成的支撑及电连接柱在微镜中的占用面积，由此使得微镜镜面的面积得到有效的增加，从而能大幅度提升填充因子和产品的性能。
一种填充因子 mems 制造方法

[实用新型]一种高填充因子的MEMS微镜-CN202321493703.3有效
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高填充因子的MEMS微镜，微镜包括设于衬底上的微桥结构，微桥结构包括支撑及电连接柱和微桥桥面；微桥桥面上设有微镜镜面，微镜镜面通过支撑及电连接柱电连接衬底；支撑及电连接柱形成于第一沟槽中，第一沟槽设于第一牺牲层中，第一牺牲层位于衬底与微桥桥面之间，支撑及电连接柱包括形成于第一沟槽的部分侧壁表面上的导电体和位于导电体内侧的支撑体，微镜镜面通过导电体电连接衬底，微桥桥面支撑于支撑体和导电体上；微桥结构通过去除第一牺牲层得以释放。本实用新型能够减小所形成的支撑及电连接柱在微镜中的占用面积，由此使得微镜镜面的面积得到有效的增加，从而能大幅度提升填充因子和产品的性能。
一种填充因子 mems 微镜

[实用新型]基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗-CN202321493651.X有效
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗，节能玻璃包括：衬底玻璃和设于所述衬底玻璃表面上的微镜阵列；所述微镜阵列包括沿所述衬底玻璃表面密布的多个微镜镜面，所述微镜镜面通过一端悬设于锚点上，所述锚点设于所述衬底玻璃的表面上；所述微镜镜面在受热时发生由弯曲向平直的热敏自适应形变，使所述衬底玻璃对应由透光状态转变为被所述微镜镜面遮盖的状态。本实用新型的节能玻璃上的微镜阵列具有热敏自适应性，无需电能操控，就可实现玻璃上从趋于零至趋于100％透过率的高调制比，可用于制作例如节能玻璃窗，具有一定的实用价值。
基于热敏自适应节能玻璃玻璃窗

[发明专利]一种弹性支撑的微镜单元和微镜阵列及制造方法-CN202310693038.0在审
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种弹性支撑的微镜单元和微镜阵列及制造方法，微镜单元包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构设有微桥桥面，所述微桥桥面通过至少三个弹性支撑体弹性支撑于所述衬底上，所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑体相隔离；所述衬底上设有施力机构，通过所述施力机构对各所述支撑体中的至少一个施加作用力，使其对应发生高度上的弹性伸张或压缩，带动使所述微桥桥面以及所述微镜镜面作对应方向和角度的偏转。本发明能减小驱动微镜时所需的吸合电压，可采用与CMOS工艺完全兼容的技术实现，并能够大幅度提升产品的性能及降低成本。
一种弹性支撑单元阵列制造方法

[发明专利]一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法-CN202310694444.9在审
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法，微镜结构包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构包括支撑及电连接柱，和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面；所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑及电连接柱之间形成电连接，所述支撑及电连接柱电连接所述衬底，所述微镜镜面受驱动时，带动所述微桥桥面在所述支撑及电连接柱上绕活动支撑处偏转。本发明能够显著降低微镜的吸合电压，并可降低器件的工作电压。
一种采用活动支撑结构制造方法

[发明专利]基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法-CN202310693050.1在审
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法，节能玻璃包括：衬底玻璃和设于所述衬底玻璃表面上的微镜阵列；所述微镜阵列包括沿所述衬底玻璃表面密布的多个微镜镜面，所述微镜镜面通过一端悬设于锚点上，所述锚点设于所述衬底玻璃的表面上；所述微镜镜面在受热时发生由弯曲向平直的热敏自适应形变，使所述衬底玻璃对应由透光状态转变为被所述微镜镜面遮盖的状态。本发明的节能玻璃上的微镜阵列具有热敏自适应性，无需电能操控，就可实现玻璃上从趋于零至趋于100％透过率的高调制比，可用于制作例如节能玻璃窗，具有一定的实用价值。
基于热敏自适应节能玻璃玻璃窗制造方法

[发明专利]一种实现数字化旋转控制的微镜-CN202310694412.9在审
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种实现数字化旋转控制的微镜，包括：设于衬底上的一对墙体，墙体相对的墙面上沿高度方向对应设有多个卡槽；两端分别卡接于两个墙体上的一个卡槽中的梁结构；连接在梁结构上的一对升降机构；通过使其中一个升降机构上升，将位于对应侧的梁结构的一端顶起，由当前卡接的一个卡槽中滑出，并弹入上方相邻的另一个卡槽中，同时，通过使另一个升降机构下降，将位于对应侧的梁结构的另一端拽下，由当前卡接的一个卡槽中滑出，并弹入下方相邻的另一个卡槽中，使得梁结构发生对应角度的上下转动，以使连接在梁结构上的微镜镜面跟随旋转。本发明可实现对微镜的数字化步进式旋转控制，并能大幅度提升产品的性能。
一种实现数字化旋转控制

[发明专利]一种低吸合电压的微镜结构及制造方法-CN202310694427.5在审
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种低吸合电压的微镜结构及制造方法，微镜结构包括：设于衬底上的锚点，和通过一端与所述锚点连接并悬设于所述衬底上的微镜镜面，以及对应设于所述微镜镜面下方的所述衬底上的寻址电极；所述微镜镜面与所述锚点一一对应设置；所述微镜镜面在来自所述寻址电极的静电驱动下，发生相对于所述衬底表面的整体倾斜，并在失去来自所述寻址电极的静电驱动时，受弹性作用发生整体回复。本发明能有效降低微镜的吸合电压，并可与CMOS工艺设计兼容，具有结构相对简单，成本较为低廉的优势。
一种低吸合电压结构制造方法

[发明专利]一种硅基日盲型光敏探测器件-CN202310465549.7在审
发明人：翟厚明;陈永平;马斌;陈世军;徐鹤靓 -专利权人：南通智能感知研究院
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅基日盲型光敏探测器件，属于光敏感器件技术领域，包括衬底和两个电极压脚，其中衬底包括下层硅层、中层二氧化硅层和上层硅层；下层硅层镂空形成一深槽孔；上层硅层为薄膜型感光面；薄膜型感光面从下而上依次包括N型层和P型层；电极压脚包括电连接薄膜型感光面的第一电极压脚和第二电极压脚。其中薄膜型感光面吸收光能量并转换成光电流，通过电极压脚输出。本发明深槽孔的设置极大降低了长波光能量在感光面下方衬底内的吸收，从而实现了在对短波光能量探测的同时，主动屏蔽外界长波光能量的干扰，实现了“日盲型”工作模式，从而提高了短波光能量探测时的信噪比，同时简化了光学系统滤波的难度。
一种硅基日盲型光敏探测器件

[发明专利]一种基于可见光图像转换的电阻阵闭环仿真系统-CN202310085050.3在审
发明人：翟厚明;陈永平;马斌;陈世军;徐鹤靓 -专利权人：南通智能感知研究院
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G06F30/39 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于可见光图像转换的电阻阵闭环仿真系统，包括应用系统、数据处理系统、图像显示器、可见光学系统、光纤阵列、电阻阵芯片、电阻阵芯片驱动电源、红外光学系统。当进行闭环仿真时，应用系统将处理后的图像信号注入图像显示器生成可见光，通过光纤阵列照射在集成了背照光电二极管和电阻微桥的电阻阵芯片上，在所有电阻微桥被接通情况下，由背照光电二极管实现电阻微桥的驱动电压随光照强度而即时变化的控制，从而替代电阻阵像素内的保持电容，最终实现由可见光至电阻阵像素产生的红外辐射转换，获得低延迟的闭环仿真过程。
一种基于可见光图像转换电阻闭环仿真系统

[实用新型]一种电磁感应加热热发射器件-CN202122909444.5有效
发明人：翟厚明;陈永平;马斌;徐鹤靓 -专利权人：南通智能感知研究院
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H05B6/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电磁感应加热热发射器件，包括衬底、微桥结构、环形线圈、电极压脚；所述衬底内设有微孔，所述微桥结构悬空在微孔中，所述环形线圈置于微孔侧壁，所述电极压脚连接环形线圈。本实用新型提供的热发射器件，通过对环形线圈通电从而使感应金属薄膜被感应加热产生热发射，桥腿中无需制备金属层，从而降低了桥腿热导，提高了桥面温度；同时因无电迁移效应发生，提高了微桥寿命；此外，微桥温升与环形线圈中通过的电流大小相关，可通过增加环形线圈宽度与厚度的方式提高通过的电流，这种结构为获得更高的等效黑体温度提供了设计冗余。本实用新型提供的热发射器件可获得更高等效黑体温度，更长使用寿命的微辐射器件。
一种电磁感应热热发射器件

[发明专利]一种电磁感应加热热发射器件及其制备方法-CN202111410163.3在审
发明人：翟厚明;陈永平;马斌;徐鹤靓 -专利权人：南通智能感知研究院
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H05B6/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种电磁感应加热热发射器件，包括衬底、微桥结构、环形线圈、电极压脚；所述衬底内设有微孔，所述微桥结构悬空在微孔中，所述环形线圈置于微孔侧壁，所述电极压脚连接环形线圈。本发明提供的热发射器件，通过对环形线圈通电从而使感应金属薄膜被感应加热产生热发射，桥腿中无需制备金属层，从而降低了桥腿热导，提高了桥面温度；同时因无电迁移效应发生，提高了微桥寿命；此外，微桥温升与环形线圈中通过的电流大小相关，可通过增加环形线圈宽度与厚度的方式提高通过的电流，这种结构为获得更高的等效黑体温度提供了设计冗余。本发明提供的热发射器件可获得更高等效黑体温度，更长使用寿命的微辐射器件。
一种电磁感应热热发射器件及其制备方法

[实用新型]一种微镜结构、微镜阵列以及探测器-CN202022591336.3有效
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微镜结构，包括：六边形光反射膜，悬设于衬底上；六段导电梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，各导电梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的一条对应边的外侧上；六个支撑柱，分别支撑于每两段导电梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段导电梁中通电，使导电梁中的下导电梁和上导电梁因静电相吸或排斥而使导电梁整体产生向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应边向上或向下位移，并通过对各段导电梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本实用新型还公开了一种微镜阵列和探测器。
一种结构阵列以及探测器

[实用新型]一种微镜结构、微镜阵列及探测器-CN202022591864.9有效
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微镜结构，包括：六边形光反射膜，悬设于衬底上；六段形变梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的一条对应边的外侧上；六个支撑柱，分别支撑于每两段形变梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段形变梁中通电，使形变梁因通电发热而产生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应边向上或向下位移，并通过对各段形变梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本实用新型还公开了一种微镜阵列和探测器。
一种结构阵列探测器

[实用新型]微镜结构、微镜阵列和探测器-CN202022592475.8有效
发明人：程正喜;徐鹤靓;陈永平 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微镜结构，包括：光反射膜，悬设于衬底上；多段形变梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的外侧上；多个支撑柱，分别支撑于每两段形变梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段形变梁中通电，使形变梁因通电发热而产生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应侧向上或向下位移，并通过对各段形变梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本实用新型还公开了一种微镜阵列和探测器。
结构阵列探测器

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