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[实用新型]微机电镜器件-CN202320769023.3有效
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利;C·L·佩瑞里尼;T·阿菲菲·阿菲菲 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开涉及微机电镜器件。一种微机电镜器件在半导体材料的管芯中具有：限定腔体的固定结构；承载反射区域的可倾斜结构，弹性地悬置在腔体上方并且具有在水平面中的主延伸部；承载相应压电结构的至少一对第一驱动臂，压电结构可以被偏置以生成驱动力，该驱动力引起可倾斜结构围绕平行于水平面的第一水平轴的旋转轴的旋转；弹性悬置元件，在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦合到固定结构，并且对于离开水平面的运动是刚性的并且对于围绕旋转轴的扭转是柔顺的。特别地，第一对驱动臂中的驱动臂磁性地耦合到可倾斜结构，以便在相应压电结构的偏置之后通过磁性相互作用使其围绕旋转轴旋转。
微机器件

[发明专利]具有抗应力性改进的压电致动的微机电镜器件-CN202310372761.9在审
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利;C·L·佩瑞里尼;T·阿菲菲·阿菲菲 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开涉及具有抗应力性改进的压电致动的微机电镜器件。一种微机电镜器件在半导体材料的管芯中具有：限定腔体的固定结构；承载反射区域的可倾斜结构，弹性地悬置在腔体上方并且具有在水平面中的主延伸部；承载相应压电结构的至少一对第一驱动臂，压电结构可以被偏置以生成驱动力，该驱动力引起可倾斜结构围绕平行于水平面的第一水平轴的旋转轴的旋转；弹性悬置元件，在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦合到固定结构，并且对于离开水平面的运动是刚性的并且对于围绕旋转轴的扭转是柔顺的。特别地，第一对中的驱动臂磁性地耦合到可倾斜结构，以便在相应压电结构的偏置之后通过磁性相互作用使其围绕旋转轴旋转。
具有应力改进压电微机器件

[发明专利]具有防冲击的可倾斜结构的微机电装置-CN202011519697.5有效
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开的各实施例涉及具有防冲击的可倾斜结构的微机电装置。一种微机电装置由具有腔的固定结构形成。可倾斜结构被弹性地悬挂在腔上方并且在可倾斜平面中具有主延伸部，并且能够绕平行于可倾斜平面的旋转轴线旋转。压电致动结构包括第一驱动臂和第二驱动臂，第一驱动臂和第二驱动臂承载相应的压电材料区并且在旋转轴线的相对侧延伸。第一驱动臂和第二驱动臂被刚性地耦合至固定结构并且被弹性地耦合至可倾斜结构。在操作期间，止动结构限制可倾斜结构相对于致动结构沿着垂直于旋转轴线的平面方向的运动。止动结构具有被形成在第一驱动臂与可倾斜结构之间的第一平面止动元件以及被形成在第二驱动臂与可倾斜结构之间的第二平面止动元件。
具有冲击倾斜结构微机装置

[发明专利]压电致动的双轴微机电镜设备-CN202310226307.2在审
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：公开了压电致动的双轴微机电镜设备。微机电镜设备具有限定界定腔的外部框架的固定结构、被布置在腔上方并限定窗口的内部框架、以及具有反射表面并被布置在窗口中的可倾斜结构。通过第一耦接弹性元件和第二耦接弹性元件弹性地耦接到内部框架。致动结构耦接到内部框架以使得可倾斜结构绕第一轴和第二轴旋转。致动结构具有第一对驱动臂和另一对驱动臂，第一对驱动臂弹性地耦接到内部框架并承载压电材料区域以使得可倾斜结构绕第一轴旋转，另一对驱动臂承载压电材料区域以使得可倾斜结构绕第二轴旋转并插入固定结构和内部框架之间，另一对驱动臂通过第一悬挂弹性元件和第二悬挂弹性元件弹性地耦接到固定结构和内部框架。
压电微机设备

[发明专利]具有可倾斜的受压电控制的结构的谐振MEMS设备-CN202010231155.1有效
发明人： R·卡尔米纳蒂;N·博尼;M·默利 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及具有可倾斜的受压电控制的结构的谐振MEMS设备。MEMS设备形成在半导体材料的裸片中，该裸片具有在其中限定的腔并且具有锚固部分。可倾斜结构弹性地悬挂在腔之上，并且具有在水平平面中的主延伸部。第一和第二支撑臂在锚固部分与可倾斜结构的相对侧之间延伸。第一和第二谐振压电致动结构旨在被偏置，从而引起可倾斜结构绕旋转轴线的旋转。第一支撑臂由第一和第二扭转弹簧形成，第一和第二扭转弹簧对于从水平平面离开的运动是刚性的、并且顺从于绕旋转轴线的扭转，并且第一和第二扭转弹簧在约束区域处耦合在一起。第一和第二谐振压电致动结构在第一支撑臂的第一侧和第二侧上，在锚固部分与约束结构之间延伸。
具有倾斜受压控制结构谐振 mems 设备

[发明专利]具有可移动结构的微机电设备及其制造工艺-CN201710500966.5有效
发明人： S·克斯坦蒂尼;M·卡米纳蒂;D·A·L·加蒂;L·M·卡斯托尔迪;R·卡尔米纳蒂 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2017-06-27 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及具有可移动结构的微机电设备及其制造工艺。该微机电设备(20)在覆盖并键合至第二晶片(70)的第一晶片(40)中形成。固定部分(91)、可移动部分(92)以及将该可移动部分和该固定部分弹性耦合的弹性元件在该第一晶片中形成。该可移动部分承载致动元件(60)，这些致动元件被配置成用于控制该可移动部分相对于该固定部分的相对移动，例如，旋转。该第二晶片通过该第一晶片的突起(66)键合至该第一晶片，这些突起是通过选择性地移除半导体层(43)的一部分而形成的。对由该第一和第二晶片形成的复合晶片进行切割以形成多个MEMS设备。
具有移动结构微机设备及其制造工艺

[发明专利]包括可调谐的亥姆霍兹谐振器的微机械超声换能器-CN202011471688.3有效
发明人： S·阿多尔诺;R·卡尔米纳蒂 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及包括可调谐的亥姆霍兹谐振器的微机械超声换能器。提出了一种微机械超声换能器。该微机械超声换能器包括用于发射/接收超声波的膜元件，在超声波的发射/接收期间，膜元件以相应的谐振频率关于平衡位置振荡。膜元件的平衡位置可以根据施加到膜元件的偏置电信号而可变化。该微机械超声换能器进一步包括帽结构，在膜元件上方延伸；帽结构在其与膜元件之间标识出腔体，该腔体的体积根据膜元件的平衡位置而可变化。帽结构包括用于将超声波输入到腔体/从腔体输出超声波的开口。帽结构和膜元件用作可调谐的亥姆霍兹谐振器，由此谐振频率根据腔体的体积而可变化。
包括调谐亥姆霍兹谐振器微机超声换能器

[实用新型]微机电反射镜设备、微投影仪装置和便携式电子装置-CN202221030620.6有效
发明人： R·卡尔米纳蒂;N·博尼;I·马蒂尼;M·默利;L·奥吉欧尼 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及微机电反射镜设备、微投影仪装置和便携式电子装置。一种微机电反射镜设备，其特征在于，包括：支撑框架，由半导体材料形成；板，连接到支撑框架，以便围绕至少一个旋转轴线可定向；微反射镜，位于板上；悬臂结构，从支撑框架延伸并且耦合到板，使得悬臂结构的弯曲引起板围绕至少一个旋转轴线的旋转；压电致动器，位于悬臂结构上；焊盘，位于支撑框架上；以及间隔件结构，从支撑框架突出得比形成压电致动器的层堆叠和焊盘二者更多。利用本公开的实施例有利地使总产率提高、并且减少了成本。
微机反射设备投影仪装置便携式电子

[发明专利]具有改进结构的、带有压电止动的微机电镜设备-CN202011496567.4有效
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G03B21/28 文献下载
摘要：本公开的各实施例涉及具有改进结构的、带有压电止动的微机电镜设备。一种微机电镜设备具有限定腔的固定的结构。承载反射表面的可倾斜结构被弹性地悬置在腔上方，可倾斜结构具有在水平面中的主延伸。弹性元件被耦合到可倾斜结构，并且承载压电材料的相应的区域的至少一个第一对驱动臂是可偏置的，以导致可倾斜结构围绕与水平面的第一水平轴线平行的至少一个第一旋转轴线的旋转。驱动臂被弹性地耦合到第一旋转轴线的相对侧上的可倾斜结构，并且被插入在可倾斜结构与固定结构之间。驱动臂沿着与水平面横向的正交轴线具有一厚度，该厚度小于被耦合到可倾斜结构的至少一些弹性元件的厚度。
具有改进结构带有压电微机设备

[实用新型]微机电反射镜器件和光电系统-CN202221222220.5有效
发明人： N·博尼;G·门迪西诺;E·杜奇;R·卡尔米纳蒂;M·默利 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及微机电反射镜器件和光电系统。一种微机电反射镜器件，包括半导体材料管芯，包括：固定结构，限定腔体；可倾斜结构，承载反射区域并且弹性地悬置在腔体上方，可倾斜结构具有在水平平面中的主延伸部；至少一个第一对驱动臂，被耦接至可倾斜结构并且承载相应的压电材料区域；弹性悬置元件，被配置为在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦接至固定结构；压阻传感器，被配置为提供指示可倾斜结构围绕旋转轴的旋转的检测信号；以及至少一个测试结构，被集成在管芯中。利用本公开的实施例，有利地允许利用压电致动和反射镜致动的压阻感测的优点，同时相对于已知解决方案具有改进的机械和电气性能。
微机反射器件光电系统

[实用新型]MEMS致动器和装置-CN202221324536.5有效
发明人： N·博尼;G·加特瑞;M·里亚尼;R·卡尔米纳蒂 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开的各实施例涉及MEMS致动器和装置。MEMS致动器包括质量块，质量块沿第一方向被悬置在衬底上方并且在限定垂直于第一方向的第二和第三方向的平面中延伸。被布置在衬底与质量块之间的弹性元件沿平行于第一方向的方向具有第一柔量，第一柔量小于沿平行于第二方向的方向的第二柔量。压电致动结构具有相对于衬底固定的部分和响应于致动电压而沿第一方向变形的部分。被耦合到压电致动结构的移动变换结构包括弹性移动转换结构，弹性移动转换结构被布置在压电致动结构与质量块之间。弹性移动转换结构在由第一和第二方向形成的平面中是柔性的，并且具有横向于第一和第二方向的第一轴线和第二惯性主轴线。保证了位移精度更高，使MEMS致动器的机械性能改进。
mems 致动器装置

[实用新型]MEMS器件和电子器件-CN202220875855.9有效
发明人： R·卡尔米纳蒂;N·博尼;A·巴拜利;M·扎姆普罗戈诺;L·莫利纳里 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及MEMS器件和电子器件。一种MEMS器件，包括：半导体主体，其具有腔并且形成锚定部段；可倾斜结构，弹性地悬置在所述腔上方；第一支撑臂和第二支撑臂，支撑所述可倾斜结构；以及第一压电致动结构和第二压电致动结构，可偏置以机械地变形，从而产生所述可倾斜结构围绕旋转轴线的旋转。压电致动结构承载第一压电位移传感器和第二压电位移传感器。当可倾斜结构围绕旋转轴线旋转时，位移传感器受到相应的机械变形，并且产生彼此相位相反的相应感测信号，指示可倾斜结构的旋转。感测信号被配置成以差分方式获取。利用本公开的实施例有利地可以比使用现有技术更准确地控制可倾斜结构的运动。
mems 器件电子器件

[实用新型]微机电反射镜器件和微型投影仪设备-CN202220989120.9有效
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开的各实施例涉及微机电反射镜器件和微型投影仪设备。微机电反射镜器件包括限定腔的固定结构、弹性地悬置在腔上方并且承载反射表面并且具有在水平平面中的主延伸的可倾斜结构。第一对驱动臂弹性地耦接到可倾斜结构，并且承载相应的压电材料区域，该压电材料区域被偏置以引起可倾斜结构围绕平行于水平平面的第一水平轴线的第一旋转轴线旋转。在第一旋转轴线处将可倾斜结构耦接到固定结构的弹性悬置元件相对于离开水平平面的移动是刚性的且相对于围绕第一旋转轴线的扭转是柔性的，还在可倾斜结构和固定结构之间延伸。弹性悬置元件沿第一旋转轴线在可倾斜结构的相对侧具有不对称的布置方式。本实用新型的实施例提供了张角增大的微机电器件。
微机反射器件微型投影仪设备

[发明专利]平面内移动质量块的MEMS致动器和包括MEMS致动器的光学模块-CN202210602544.X在审
发明人： N·博尼;G·加特瑞;M·里亚尼;R·卡尔米纳蒂 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开的各实施例涉及平面内移动质量块的MEMS致动器和包括MEMS致动器的光学模块。MEMS致动器包括质量块，质量块沿第一方向被悬置在衬底上方并且在限定垂直于第一方向的第二和第三方向的平面中延伸。被布置在衬底与质量块之间的弹性元件沿平行于第一方向的方向具有第一柔量，第一柔量小于沿平行于第二方向的方向的第二柔量。压电致动结构具有相对于衬底固定的部分和响应于致动电压而沿第一方向变形的部分。被耦合到压电致动结构的移动变换结构包括弹性移动转换结构，弹性移动转换结构被布置在压电致动结构与质量块之间。弹性移动转换结构在由第一和第二方向形成的平面中是柔性的，并且具有横向于第一和第二方向的第一轴线和第二惯性主轴线。
平面移动质量 mems 致动器包括光学模块

[发明专利]有自校准特性的压电致动和压阻感测的微机电反射镜器件-CN202210555109.6在审
发明人： N·博尼;G·门迪西诺;E·杜奇;R·卡尔米纳蒂;M·默利 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及有自校准特性的压电致动和压阻感测的微机电反射镜器件。微机电反射镜器件在半导体材料管芯中具有：固定结构，限定腔体；可倾斜结构，承载弹性悬置在所述腔体上方的反射区域；至少一个第一对驱动臂，耦接至所述可倾斜结构并且承载相应的压电材料区域，所述压电材料区域可以被偏置以使其围绕至少一个旋转轴旋转；弹性悬置元件，将所述可倾斜结构弹性地耦接至所述固定结构，并且相对于离开所述水平平面的移动是刚性的并且对于扭转是屈服性的；以及压阻传感器，被配置为提供指示所述可倾斜结构的所述旋转的检测信号。至少一个测试结构被集成在所述管芯中，以提供指示所述压阻传感器的灵敏度变化的校准信号以校准所述检测信号。
校准特性压电压阻感测微机反射器件

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