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[实用新型]微机电镜器件-CN202320769023.3有效
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利;C·L·佩瑞里尼;T·阿菲菲·阿菲菲 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开涉及微机电镜器件。一种微机电镜器件在半导体材料的管芯中具有：限定腔体的固定结构；承载反射区域的可倾斜结构，弹性地悬置在腔体上方并且具有在水平面中的主延伸部；承载相应压电结构的至少一对第一驱动臂，压电结构可以被偏置以生成驱动力，该驱动力引起可倾斜结构围绕平行于水平面的第一水平轴的旋转轴的旋转；弹性悬置元件，在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦合到固定结构，并且对于离开水平面的运动是刚性的并且对于围绕旋转轴的扭转是柔顺的。特别地，第一对驱动臂中的驱动臂磁性地耦合到可倾斜结构，以便在相应压电结构的偏置之后通过磁性相互作用使其围绕旋转轴旋转。
微机器件

[发明专利]具有抗应力性改进的压电致动的微机电镜器件-CN202310372761.9在审
发明人： N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利;C·L·佩瑞里尼;T·阿菲菲·阿菲菲 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开涉及具有抗应力性改进的压电致动的微机电镜器件。一种微机电镜器件在半导体材料的管芯中具有：限定腔体的固定结构；承载反射区域的可倾斜结构，弹性地悬置在腔体上方并且具有在水平面中的主延伸部；承载相应压电结构的至少一对第一驱动臂，压电结构可以被偏置以生成驱动力，该驱动力引起可倾斜结构围绕平行于水平面的第一水平轴的旋转轴的旋转；弹性悬置元件，在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦合到固定结构，并且对于离开水平面的运动是刚性的并且对于围绕旋转轴的扭转是柔顺的。特别地，第一对中的驱动臂磁性地耦合到可倾斜结构，以便在相应压电结构的偏置之后通过磁性相互作用使其围绕旋转轴旋转。
具有应力改进压电微机器件