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[发明专利]一种MEMS微镜阵列的制备方法及微镜-CN202311193462.5在审
发明人：李亚雷;温赛赛;仇旭萍;张裕华 -专利权人：苏州亿波达光电子科技有限公司
申请日： 2023-09-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS微镜阵列的制备方法，包括如下步骤：S1、在读出电路板表面设置基板；S2、在基板表面沉积牺牲层，并在牺牲层表面刻蚀通孔；S3、在牺牲层表面沉积与读出电路板连接的镜面，得到MEMS微镜；S4、刻蚀MEMS微镜得到阵列化排布的微镜单元；S5、去除牺牲层，得到MEMS微镜阵列。本方法通过读出电路板与每个微镜单元的独立连接实现了其阵列化设置，每个微镜单元均能够独立控制其偏转，可在较小的静电驱动力作用下满足所需的偏转角度，提高了产品的使用灵活程度及效果，此外，本方法通过牺牲层的设置制备出扭转刚度较小的微镜阵列，并提高了镜面的填充率，使微镜单元可呈现出更佳的成像效果。
一种 mems 阵列制备方法

[发明专利]一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺-CN201710423163.4有效
发明人：李航;于连忠;仇旭萍 -专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所
申请日： 2017-06-07 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺，包括上盖板、器件层以及下盖板；所述器件层包括：锚点、质量块以及连接所述锚点和质量块的弹性梁；所述锚点与所述上盖板以及下盖板相固定；所述质量块的一端连接有弹性梁组，所述弹性梁组包括至少两根对称设置的弹性梁；每根所述弹性梁包括末端和折叠端，所述弹性梁的末端分别与锚点和质量块相连接；每根所述弹性梁的折叠端形成有梳齿结构；两根所述弹性梁上的梳齿结构相互重叠形成加速度检测结构，所述加速度检测结构通过检测所述梳齿结构之间的间距变化来检测加速度；所述梳齿之间的间距变化与所述加速度方向相垂直。
一种转换测量方向 mems 加速度计及其制造工艺