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[发明专利]基于复合小波分解算法的白光干涉法测量中的蝙蝠翼效应校正方法-CN202210284752.X在审
发明人：杨忠明;辛磊;刘兆军 -专利权人：山东大学
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于复合小波分解算法的白光干涉法测量中的蝙蝠翼效应校正方法，属于精密测量信号处理技术领域。本发明提出了一种结合复合小波分解与相关性分析的干涉信号校正算法，采用Db6小波和Morlet小波对干涉信号进行复合分解处理，有效地提取出信号中包含高度信息的部分，减少杂波信号的干扰，然后对处理后的信号与仿真的理想干涉信号进行相关分析，对小波分解信号进行校正，提高零光程差(ZOPD)位置的提取精度。该方法在不需要测样品先验信息的情况下，能有效抑制蝙蝠翼效应，大大提高了白光干涉法对高度差小于相干长度的结构的测量精度。
基于复合分解算法白光干涉测量中的蝙蝠效应校正方法

[实用新型]一种用于白光干涉仪测量物体的平台-CN202320096700.X有效
发明人：高帅;王青郁;覃玉清 -专利权人：天津昀恺科技有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于白光干涉仪测量物体的平台，包括壳体，所述壳体背面的两侧均固定连接有第一连接件，所述第一连接件的内部转动连接有支撑杆，所述支撑杆外表面的中部固定连接有第二连接件，所述第二连接件的外表面固定连接有透明罩。该一种用于白光干涉仪测量物体的平台，通过透明罩、密封圈、密封槽和液压杆的设置，透明罩通过支撑杆转动连接在壳体的上表面，对干涉仪进行防护，避免不使用时干涉仪受到外部环境的影响，防护性得到加强，延长使用寿命，密封圈卡接在密封槽的内部，避免外部灰尘等杂质的进入，液压杆起到支撑透明罩的作用，支撑效果得到加强，加大使用时的稳定性。
一种用于白光干涉仪测量物体平台

[发明专利]使用k线性化（KL）和色散校正（DC）来提高光学相干断层扫描（OCT）图像分辨率的系统和方法-CN202280013822.6在审
发明人：刘志豪;S·M·斯特罗姆斯基 -专利权人：光实验成像公司
申请日： 2022-02-08 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01B9/02091 文献下载
摘要：本公开的各方面涉及在光学系统中执行波数线性化和色散校正的系统、方法和算法，无需进行硬件修改、经验调整和精确的镜对准，并且可以以较低的计算成本实时执行。一次性校准过程可生成光谱或校准标准，包括波数线性化标准、色散校正和光谱平坦化光谱，可用于实时校正光学相干断层扫描图。
使用线性化 kl 色散校正 dc 提高光学相干断层扫描 oct 图像分辨率系统方法

[发明专利]多方位联合诊断速度干涉仪-CN202111408939.8有效
发明人：理玉龙;王峰;徐涛;关赞洋;彭晓世;刘祥明;刘永刚;魏惠月;刘耀远;蒋小华 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明公开了一种多方位联合诊断速度干涉仪，包括激光器、靶成像导光模块、干涉模块和记录模块，靶成像导光模块包括第一分束镜、第一聚焦透镜和光纤传像束，光纤传像束插入靶室的一端与靶丸连接，且光纤传像束插入靶室的一端端面安装有微型透镜，第一聚焦透镜的焦点位于光纤传像束位于靶室外的一端端面。采用以上技术方案的，不仅微型透镜在靶丸内部的空间占用更小，而且使靶成像导光模块的结构更加紧凑，同时能够轻松地完成在线装调，大大降低了技术难度；并且能够实现覆盖靶丸赤道区、极区以及斜向45°区域在内的，最大120°区域的多方位冲击波传输历程的同时诊断，从而为内爆更高阶的不对称性诊断奠定基础。
多方位联合诊断速度干涉仪

[发明专利]一种基于时域光谱干涉的玻璃管壁的测量装置和测量方法-CN202310709861.6在审
发明人：路桥 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01B9/02017 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于时域光谱干涉的玻璃管壁的测量装置及测量方法，所述测量装置包括用于发射相干光源的飞秒激光器，与飞秒激光器连接的光纤环形器，与光纤环形器连接的光纤准直器，与光纤环形器连的用于放大飞秒脉冲回光的脉冲信号的光纤放大器，与光纤放大器连接的色散补偿光纤，与色散补偿光纤连接的光电探测及数据采集装置。本发明利用玻璃壁上下表面反射的两个回光脉冲间光谱干涉效应，使用干涉条纹周期解算脉冲间隔并进而解算出壁厚。本发明通过简单的激光收发和数据处理装置即可实现测量功能，方案具有简单可靠、快速高精度的优点。
一种基于时域光谱干涉玻璃管壁测量装置测量方法

[发明专利]微型实验台OCT设计-CN202280012934.X在审
发明人：马特·埃弗里特;蒂尔曼·施莫尔 -专利权人：卡尔蔡司医疗技术公司;卡尔蔡司医疗技术股份公司
申请日： 2022-01-31 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01B9/02001 文献下载
摘要：本发明涉及一种构建在微型光学实验台或半导体光学实验台上的OCT系统。本OCT系统能够使用自由空间光学器件并且避免使用光纤光学器件。
微型实验 oct 设计

[发明专利]干涉仪系统、定位系统、光刻设备、抖动确定方法和器件制造方法-CN202180088887.2在审
发明人： M·J·詹森 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-12-12 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：本发明提供一种干涉仪系统，包括：‑光源，所述光源被配置成发射第一光束和第二光束；‑光学系统，所述光学系统被配置成允许所述第一光束沿包括目标的测量路径行进，并且允许所述第二光束沿不包括所述目标的固定的参考路径行进；以及‑信号发生器，所述信号发生器被配置成在所述测量路径或所述参考路径中引入经功率调制的光学信号，以确定由所述干涉仪系统的在所述信号发生器下游的部件引起的抖动。
干涉仪系统定位光刻设备抖动确定方法器件制造

[发明专利]一种基于紫外胶合的准单片紧凑型干涉仪及其搭建方法-CN202310717531.1在审
发明人：林响;颜浩;马怡秋;周泽兵 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于紫外胶合的准单片紧凑型干涉仪及其搭建方法，涉及光学元件调装和高精度激光测距领域，包括：马赫‑曾德尔干涉仪中的光纤准直器和玻璃安装座紫外胶合连接构成底面平整的一体化准直器，且一体化准直器和马赫‑曾德尔干涉仪中玻璃基底的目标位置紫外胶合连接；还包括：用于调节马赫‑曾德尔干涉仪中的消偏振分光片和45度反射镜位置的调节支架；调节支架包括用于支撑调节部的支撑装置，调节部包括：六维光学调节架，其包括：上层板；下层板，上层板与下层板之间通过周向围设的多个螺丝钉螺接；旋转环设于下层板底部；金属圆柱接杆固定设于旋转环的底部。本发明能够搭建出高稳定性高精度的准单片紧凑型干涉仪。
一种基于紫外胶合单片紧凑型干涉仪及其搭建方法

[发明专利]光距离测定装置-CN201980095001.X有效
发明人：山内隆典;后藤广树;吉田刚;斧原圣史;铃木巨生 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2019-04-05 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01B9/02001 文献下载
摘要：光距离测定装置(100、100a)具备：分支部(103)，其对激光进行分支，作为测定光及参照光输出；测定光分支部(104)，其对测定光进行分支，作为第1测定光及第2测定光输出；参照光分支部(105)，其对参照光进行分支，作为第1参照光及第2参照光输出；第1光学系统(131)，其具有第1瑞利长度，用于向对象物(20)照射第1测定光；第2光学系统(132)，其具有与第1瑞利长度不同的第2瑞利长度，用于向对象物20照射第2测定光；第1接收部(141)，其接受第1参照光、和第1测定光在对象物20反射后的光即第1反射光，输出表示第1参照光和第1反射光的第1接收信号；以及第2接收部(142)，其接受第2参照光、和第2测定光在对象物20反射后的光即第2反射光，输出表示第2参照光和第2反射光的第2接收信号。
距离测定装置

[发明专利]光干涉测距传感器-CN202310193331.0在审
发明人：木村和哉;长崎裕介;早川雅之 -专利权人：欧姆龙株式会社
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01B9/02002 文献下载
摘要：本发明提供的光干涉测距传感器，通过由受光部以适当的信号强度接收来自各干涉仪的返回光，从而能够高精度地进行测距。光干涉测距传感器(100)具备：光源(110)，在改变波长的同时投射光；多个干涉仪(130a～130c)，生成基于测定光和参考光的干涉光；多级的光耦合器(120a～120c)；受光部(140a～140c)，接收各干涉光并转换为电信号；以及处理部(150)，根据通过受光部转换的电信号算出到测量对象物为止的距离，向多级的光耦合器(120a～120c)供给的光按照朝向分别对应的干涉仪的第一分支比和朝向该光耦合器的后级的第二分支比分支，这些分支比至少根据该光耦合器的第一分支比及该光耦合器的后级的光耦合器的第一分支比与第二分支比之积进行设定。
干涉测距传感器

[实用新型]一种超长寿命防伤的干涉仪检具-CN202320698285.5有效
发明人：占小云 -专利权人：三明福特科光电有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种超长寿命防伤的干涉仪检具，包括环状支撑体和3个环绕环状支撑体中心、等间隔固定连接于所述的环状支撑体内侧壁上的支撑臂；每一个支撑臂均由环状支撑体内侧壁向环状支撑体中心延伸，且其自由端都设有一个向上延伸的支撑柱，每个支撑柱的顶部设置有一个直径相等且由硬质材料制成并且表面光滑的圆球体，且各圆球体的球心位于环绕环状支撑体中心线的同一圆周位置上且位于垂直环状支撑体中心线的同一平面内。它在使用时，由于支撑柱上连接有质地硬、不容易磨损且圆滑的圆球体，因此它不仅不易对检测的镜片造成伤痕，而且也不会造成自身的磨损，所以可以不用每天对该检具进行尖锐角测量和修复，避免造成浪费时间和消耗检具的问题。
一种超长寿命干涉仪

[发明专利]一种分频拼接干涉仪-CN202310561993.9在审
发明人：李明;张冬霓;刘鹏;张常睿;崔荣丽;盛伟繁;董宇辉;陶冶 -专利权人：中国科学院高能物理研究所
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种分频拼接干涉仪，其特征在于，包括一套多维位移台，一套待测镜调姿机构，一台干涉仪，两台测角装置和一数据处理单元；所述干涉仪、测角装置、待测镜调姿机构位于多维位移台上；干涉仪用于获取待测镜各子口径的面形并将其发送给数据处理单元；数据单元用于对待测镜各子口径的面形进行拼接得到镜面面形h(x,y)，对h(x,y)进行低通滤波并取滤波后面形中满足y＝y1的一条线；第一台测角装置用于沿y＝y1线上平动测量待测镜的低空间频率面形斜率并将其发送给数据处理单元；第二台测角装置用于对第一台测角装置的运动角度进行监测并将监测数据发送给数据处理单元；数据处理单元用于计算得到待测镜的二维面形。
一种分频拼接干涉仪

[发明专利]一种关于磷灰石裂变径迹定年分析方法-CN202310581277.7在审
发明人：杨静;施炜;王森;张拴宏;娄玉行;马立成 -专利权人：中国地质科学院地质力学研究所
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及地球科学技术领域。本发明涉及一种关于磷灰石裂变径迹定年分析方法。其包括以下步骤：定范围采集矿石样品，对矿石样品表面进行分析，并对矿石样品中的裂变径迹区域进行评估；对该矿石样品中裂变径迹区域的评估，对其进行清洗预处理，并根据裂变径迹区域在范围内寻找其他相似的矿石样品；本发明通过三维成像对矿石样品进行了高精度的量化分析和计算，操作更加简单、准确，大幅降低了样品交叉污染和人工刻度误差等因素，同时提高了检测效率和生产率，通过进行自动化识别分析矿石年龄，精度高、速度快，并避免人工识别而导致的误差，再通过将同区域的矿石进行采集比对，为矿石样品年龄确定提供可靠的数据基础。
一种关于磷灰石裂变径迹年分方法

[发明专利]一种分光干涉仪及其成像光路-CN202310663229.2在审
发明人：王瑞 -专利权人：苏州因确匹电子科技有限公司
申请日： 2023-06-06 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明公开了一种分光干涉仪及其成像光路，成像光路包括：第一镜片组用于接收成像光束，并对成像光束进行准直形成第一准直光束，色散元件用于展开准直光束形成色散光束，第二镜片组用于对色散光束进行聚焦形成第一聚焦光束，第三镜片组用于对第一聚焦光束进行准直形成第二准直光束，扫描镜用于扫描第二准直光束形成扫描光束，第四镜片组用于聚焦扫描光束至面阵相机，控制器用于控制扫描镜的扫描频率和面阵相机的曝光频率相同；扫描镜变化一个扫描角度，面阵相机的由上一列像素采样扫描光束转换为相邻的下一列像素采样扫描光束。该成像光路的成像速度和时间分辨率得到显著提升。
一种分光干涉仪及其成像

[发明专利]具有方向灵敏度的干涉仪头-CN202180085846.8在审
发明人： A·辛克;E·M·克拉伦贝克;E·A·F·范德帕施 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01B9/0209 文献下载
摘要：公开了干涉仪头。输入辐射束的第一部分入射在第一部分反射表面上并从第一参考表面朝向第一输出端子反射。输入辐射束的第二部分入射在第二部分反射表面上并从第二参考表面朝向第二输出端子反射。输入辐射束的第三部分朝向测量表面传输。来自测量表面的反射束的第一部分从第二部分反射表面朝向第二输出端子反射。来自测量表面的反射束的第二部分从第一部分反射表面朝向第一输出端子反射。偏移角在来自第一输出端子的第一输出辐射束和来自第二输出端子的第二输出辐射束之间被实现。
具有方向灵敏度干涉仪