[发明专利]光干涉测距传感器在审
申请号: | 202310193331.0 | 申请日: | 2023-02-28 |
公开(公告)号: | CN116734725A | 公开(公告)日: | 2023-09-12 |
发明(设计)人: | 木村和哉;长崎裕介;早川雅之 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G01B9/02002 | 分类号: | G01B9/02002;G01B9/02015;G01B9/02055;G01B11/14 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 田喜庆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供的光干涉测距传感器,通过由受光部以适当的信号强度接收来自各干涉仪的返回光,从而能够高精度地进行测距。光干涉测距传感器(100)具备:光源(110),在改变波长的同时投射光;多个干涉仪(130a~130c),生成基于测定光和参考光的干涉光;多级的光耦合器(120a~120c);受光部(140a~140c),接收各干涉光并转换为电信号;以及处理部(150),根据通过受光部转换的电信号算出到测量对象物为止的距离,向多级的光耦合器(120a~120c)供给的光按照朝向分别对应的干涉仪的第一分支比和朝向该光耦合器的后级的第二分支比分支,这些分支比至少根据该光耦合器的第一分支比及该光耦合器的后级的光耦合器的第一分支比与第二分支比之积进行设定。 | ||
搜索关键词: | 干涉 测距 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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