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[发明专利]一种微机械振子、F-P腔及微机械振子的制备方法-CN202310656334.3在审
发明人：焦世民;刘骅锋;马怡秋;周泽兵 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械振子、F‑P腔及微机械振子的制备方法，机械振子包括：声子晶体结构、质量块及悬浮梁；所述声子晶体结构为具有缺陷的周期性结构，所述质量块位于所述缺陷的中间，通过悬浮梁与声子晶体结构连接，以将声子晶体结构作为外框架；当机械波在微机械振子上传播时，所述声子晶体结构内的缺陷会抑制驻波传播，保证微机械振子的机械品质因子。本发明基于声子晶体结构设计的MEMS微弹簧振子，能够有效提高器件的机械品质因子，大大降低器件的机械热噪声，且本发明提供的微机械振子可以应用于光学F‑P腔加速度传感器，由于微机械振子的机械品质因子较高，故可以提高加速度传感器的分辨率。
一种微机械振子制备方法

[发明专利]基于储备池腔光增强的腔光力学MEMS加速度传感器-CN202310655177.4在审
发明人：马徐进;刘骅锋;马怡秋;焦世民;周泽兵 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01P15/093 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于储备池腔光增强的腔光力学MEMS加速度传感器，包括双腔传感单元和光学检测单元，其中，双腔传感单元包括依次间隔平行设置的弹簧振子结构、MEMS凹面镜和MEMS平面镜，弹簧振子结构包括质量块、悬浮梁和外框架，质量块和MEMS凹面镜之间构成传感作用的平凹型F‑P腔，MEMS凹面镜和MEMS平面镜之间构成储备F‑P腔，储备F‑P腔与平凹型F‑P腔以反共振状态匹配；光学检测单元包括调制光路、传输光路和光电探测部件。本发明在传统传感F‑P腔的基础上，搭建参数匹配的储备F‑P腔，能够有效提高传感器的品质因数，并能够在相对较低反射率下，实现较高品质因数，有效降低器件制造的难度与成本。
基于储备池腔光增强力学 mems 加速度传感器

[发明专利]一种基于高Q值腔光力冷却系统的MEMS加速度传感器-CN202310656328.8在审
发明人：刘骅锋;焦世民;马怡秋;周泽兵 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01P15/093 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于高Q值腔光力冷却系统的MEMS加速度传感器，包括光学检测单元及平行间隔设置的弹簧振子结构和MEMS凹面镜，弹簧振子结构和MEMS凹面镜之间构成传感作用的平凹型F‑P腔，其高Q值特性利用声子晶体制备高机械Q值的弹簧振子结构，利用光子晶体反射膜实现高光学Q值得F‑P腔；光学检测单元用于调制入射的1550nm激光波长，使激光波长失谐锁定在谐振峰一侧的工作点，激光频率ωl红失谐与平凹型F‑P腔的腔共振频率ωc设置为：ωl‑ωc＜0，平凹型F‑P腔的腔共振频率由平凹型F‑P腔的腔长决定。本发明利用腔光力学效应对机械振子进行光力冷却，能够降低机械热噪声，有效提高加速度传感器分辨率。
一种基于值腔光力冷却系统 mems 加速度传感器

[发明专利]一种基于紫外胶合的准单片紧凑型干涉仪及其搭建方法-CN202310717531.1在审
发明人：林响;颜浩;马怡秋;周泽兵 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于紫外胶合的准单片紧凑型干涉仪及其搭建方法，涉及光学元件调装和高精度激光测距领域，包括：马赫‑曾德尔干涉仪中的光纤准直器和玻璃安装座紫外胶合连接构成底面平整的一体化准直器，且一体化准直器和马赫‑曾德尔干涉仪中玻璃基底的目标位置紫外胶合连接；还包括：用于调节马赫‑曾德尔干涉仪中的消偏振分光片和45度反射镜位置的调节支架；调节支架包括用于支撑调节部的支撑装置，调节部包括：六维光学调节架，其包括：上层板；下层板，上层板与下层板之间通过周向围设的多个螺丝钉螺接；旋转环设于下层板底部；金属圆柱接杆固定设于旋转环的底部。本发明能够搭建出高稳定性高精度的准单片紧凑型干涉仪。
一种基于紫外胶合单片紧凑型干涉仪及其搭建方法