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[发明专利]一种偏振同步相移点衍射干涉仪-CN202111392143.8在审
发明人：冯鹏;李中梁;王向朝;步扬 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：一种偏振同步相移点衍射干涉仪及其检测方法，干涉仪的组成包括：理想波前发生模块、待测光学系统、像面掩模、偏振相移模块、二维偏振成像光电探测器和数据处理单元。本发明采用单个光电探测器实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有抑制环境干扰、光路灵活、测量精度高、能够标定干涉仪系统误差等优点。
一种偏振同步相移衍射干涉仪

[发明专利]表征光学元件的表面形状的方法及装置-CN201880063801.9有效
发明人： F.里彭豪森;M.施罗特 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2018-09-04 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明涉及一种提供表征光学元件的表面形状的方法和装置，该光学元件特别是微光刻投射曝光系统的反射镜或透镜。根据本发明的方法包括以下步骤：实行多个干涉式测量，其中记录在来自光学元件的相应部分的测试波与参考波之间的相应的干涉图，其中在这些测量之间，光学元件的位置相对于测试波更改；以及基于这些测量计算与光学元件的目标形状的偏差，其中该计算迭代地发生为使得在多个迭代步骤中，与光学元件的目标形状的偏差通过实行正演计算来确定，其中这些迭代步骤中的每一个迭代步骤基于以前次迭代步骤为基础来调整的相应的参考波。
表征光学元件表面形状方法装置

[发明专利]用于感测应用的自混合干涉设备-CN202080047558.9在审
发明人： M·A·德拉德;C·H·林;谈飞;A·拉甫拉奎尔;K·里昂;W·李 -专利权人：苹果公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01B9/02097 文献下载
摘要：本文公开了自混合干涉测量(SMI)传感器，诸如可包括垂直腔面发射激光(VCSEL)二极管和谐振腔光电探测器(RCPD)。公开了VCSEL二极管和RCPD的结构。在一些实施方案中，VCSEL二极管和RCPD横向相邻并由在公共基板上外延形成的一组公共半导体层形成。在一些实施方案中，第一VCSEL二极管和第二VCSEL二极管横向相邻并由在公共基板上外延形成的一组公共半导体层形成，并且RCPD形成在所述第二VCSEL二极管上。在一些实施方案中，VCSEL二极管可包括其间具有隧道结层的两个量子阱层。在一些实施方案中，RCPD可与VCSEL二极管垂直地集成。
用于应用混合干涉设备

[实用新型]一种激光干涉仪安装底座-CN202122500330.5有效
发明人：刘佳;王俊;金嘉辉 -专利权人：杭州志达光电有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光干涉仪安装底座，用以调整激光干涉仪的偏转角度，包括底板、偏转件、基板，所述底板的正面设置有定位柱，所述偏转件与所述定位柱转动连接，使得所述偏转件能够相对于所述底板进行角度偏转；所述基板对接定位安装于所述偏转件的正面，使得安装于所述基板的正面的所述激光干涉仪能够随所述偏转件一同进行角度偏转。本实用新型用以定位安装激光干涉仪，能够对激光干涉仪的安装角度进行偏转调整，降低定位安装的精度。
一种激光干涉仪安装底座

[发明专利]一种迈克尔逊干涉仪为基础的多功能干涉仪-CN202111558100.2在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：陈炜
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明涉及一种以迈克尔逊干涉仪为基础的多功能干涉仪，包含光学平板，底壳座，上盖，位移粗调模块，位移细调模块，分光棱镜，扩束镜，光源，反射镜架，通过反装在光学平板背面的位移粗调模块进行粗调，通过带有杠杆的位移细调模块进行细调，整机并带有上盖,可进行弱光检测,本装置操作简单，精度好，维护简便可靠。
一种迈克干涉仪基础多功能

[发明专利]一种面阵点扫描分光白光干涉仪-CN202011148967.6有效
发明人：赵效楠;王毅;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;王一洁 -专利权人：苏州中科全象智能科技有限公司;苏州中科行智智能科技有限公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明涉及一种面阵点扫描分光白光干涉仪，SLD光源发射宽带光谱，光依次通过隔离器、光纤耦合器，光纤端出射光经过准直器进行准直，被准直光入射到分光棱镜，一束光反射经过第三透镜聚焦到反射镜作为参考臂，一束光入射到XY扫描振镜，由扫描振镜反射出具备一定视场角的光线入射到第四透镜，由第四透镜聚焦到样品实现面阵扫描。其中XY扫描振镜放置在第四透镜的物方焦平面位置，使得第四透镜聚焦光线为像方远心光路；其可以高速、简洁、高精度实现面阵扫描。
一种面阵点扫描分光白光干涉仪

[发明专利]基于非均匀采样校正的抗振动白光干涉测量方法-CN202011298694.3有效
发明人：李建欣;毕书贤;段明亮;宗毅;王佳欣 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于非均匀采样校正的抗振动白光干涉测量方法，所述方法包括以下步骤：采集待测件的白光干涉图序列和准单色光干涉图序列；对准单色光干涉图进行基于频域峰值亚像素定位的振动倾斜平面计算，并利用这些倾斜平面计算白光干涉图中每个像素位置的非均匀移相采样间隔；利用非均匀傅里叶变换校正白光干涉信号；对校正后的白光干涉信号进行调制度峰值位置的提取，以此恢复被测件表面的形貌分布。本发明采用双通道的白光干涉系统分别获取单色光干涉图序列以及白光干涉图序列，利用单色光干涉图序列来解算出振动影响下的采样间隔误差，以此来校正畸变的白光干涉信号，复原出被测件表面的形貌分布，该方法成本较低且测量精度高。
基于均匀采样校正振动白光干涉测量方法

[发明专利]光学相干单元和光学相干测量装置-CN201880037887.8有效
发明人：高屋雅人;岩田真也 -专利权人：拓自达电线株式会社;株式会社尼德克
申请日： 2018-05-29 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：光学相干单元(20)具备分支光学元件(21)、合波光学元件(23)以及至少一个光纤器件(22)。分支光学元件(21)将使射出波长随时间进行了扫频的激光分支为测量光和参照光。合波光学元件使参照光与由被测量物反射后的测量光合波并使它们发生干涉。至少一个光纤器件包括参照光用器件(22A)。将透过参照光用器件后的参照光的从参照光用器件至合波光学元件为止的光路长度设为透过光路长度。将由参照光用器件的脱离部反射后的参照光的从参照光用器件至合波光学元件为止的光路长度设为反射光路长度。在该情况下，透过光路长度为反射光路长度以上。
光学相干单元测量装置

[发明专利]一种双滤波横向剪切干涉仪及基于其的光谱成像方法-CN202011611470.3有效
发明人：王鹏冲;李思远;冯玉涛;张朋昌;陈莎莎;刘宏;杨莹;胡炳樑;卫翠玉 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G01B9/02056 文献下载
摘要：本发明提供了一种双滤波横向剪切干涉仪及基于其的光谱成像方法，解决现有干涉仪由于机械移动部件移动引入的线性误差问题，干涉仪包括沿光路依次设置的前置光学准直系统、第一偏振器、第一声光可调谐滤波器、第二声光可调谐滤波器、第二偏振器、傅里叶变换成像物镜、光电探测器；前置光学准直系统置于光路最前端，光电探测器位于傅里叶变换成像物镜的像面上；被测远场目标的反射、辐射或者透射光经前置光学准直系统后被第一偏振器起偏形成线偏振光，然后依次在第一声光可调谐滤波器、第二声光可调谐滤波器内发生声光互作用，输出光经过第二偏振器后被傅里叶变换成像物镜聚焦于光电探测器的靶面上形成干涉条纹。
一种滤波横向剪切干涉仪基于光谱成像方法

[发明专利]用于稳定光学相干断层扫描成像的共光路波导-CN201980016568.3有效
发明人： G·霍兰德;M·K·阿尔-凯斯 -专利权人：爱尔康公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01B9/02091 文献下载
摘要：一种OCT成像系统可以包括OCT光源和分束器，所述OCT光源可操作用于发射OCT光束，所述分束器可操作用于将所述OCT光束分成传递至样本臂波导的样本束以及传递至参考臂波导的参考束。所述样本臂波导和所述参考臂波导可以在包层内被耦合在一起，其中，所述包层通过使所述样本臂波导和所述参考臂波导相对于彼此的轴向移动固定来改善所生成的OCT图像的校准。通过在OCT系统中使用护层/包层将长参考臂波导光纤和样品臂波导光纤一起布线，可以使由于不对称的光纤拉伸而引起的OCT图像偏移最小化或消除。
用于稳定光学相干断层扫描成像共光路波导

[发明专利]差分干涉仪装置-CN201911052228.4有效
发明人：王宁;揭小军;邹泽华;凡顺利 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明提供一种差分干涉仪装置，包括光源；第一分光棱镜，用于对入射光进行分光，以将所述入射光分为至少两条光束，第一分光棱镜具有相对的第一表面和第二表面；第一波片和第一反射镜，用于接收以第一方向从第一表面出射出的光束，第一方向为第一分光棱镜对于入射光的反射方向；第二波片和第二反射镜，用于接收以第二方向从第二表面出射出的光束；第三波片和测量镜，用于接收以第三方向从第二表面出射出的光束，以及，基于第一波片、第二波片、第三波片、第一反射镜和第二反射镜的设置，以使得至少两条光束均照射至所述测量镜上。本发明提供的差分干涉仪装置所占空间较少，成本较低，集成度较高，调试难度较低。
干涉仪装置

[发明专利]低成本可重复生产的保偏光纤端面迈克尔逊干涉传感器-CN202111650746.3在审
发明人：何赛灵;吴胜楠;吴迅 -专利权人：台州安奇灵智能科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明公开低成本可重复生产的保偏光纤端面迈克尔逊干涉传感器，其传导光纤和传感光纤都采用保偏光纤，用于维持光纤的偏振态；传感光纤自由端由一部分倾斜端面与一部分垂直端面构成，倾斜端面与传感光纤轴成45°角，将纤芯的光垂直射出或将垂直于纤芯射入的光耦合进入纤芯；由纤芯垂直端面部分反射的光会反向传输，由纤芯倾斜端面部分反射的光经过包层外壁反射后再次进入纤芯，与垂直端面反射的光干涉，构成端面迈克尔逊干涉仪。该传感器结构可以用于温度或横向应力的测量，具有可重复性，消除了环境扰动对传输光偏振态的影响，提高了结构的稳定性；成本低，制备简单，结构紧凑。
低成本重复生产偏光端面迈克干涉传感器

[发明专利]一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法-CN202111393865.5在审
发明人：高文翔;刘翔;陈宫达;许博;张立新;卢大伟;陈晓龙;周欣康;王佳鑫;刘良存 -专利权人：成都飞机工业（集团）有限责任公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法，属于光学技术领域，其特征在于，包括以下步骤：a、把激光干涉仪吸附在干涉仪放置平台上；b、连接激光干涉仪的电路，激光干涉仪的激光器发出发射光，通过电机调节X轴升降杆，使得干激光涉仪发出的光线与固定反射镜及可动反射镜处于同一高度；c、通过电机调节Y轴移动杆，调节干涉仪放置平台位置，使发射光经过可动反射镜形成反射光；d、通过调节激光干涉仪绕着X轴升降杆旋转，进行微调光路，完成光线校准。本发明通过多方向的调整，快速实现激光干涉仪测量过程中的光线校准，耗时短，能够快速高效的完成光线校准，提高校准效率。
一种基于激光干涉仪底座光线校准方法

[发明专利]一种闭环控制的激光干涉测量同步动态增益补偿方法-CN202110578721.0有效
发明人：熊显名;张文涛;张志成;曾启林;杜浩;徐韶华;张玉婷;赵正义 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供的是一种闭环控制的激光干涉测量同步动态增益补偿方法。所述方法为：同步于测量流程运行，根据信号采集部分模数转换的采集要求，确定需要增益到的信号强度的目标区间和修改信号增益的阈值；取采集到的正弦电信号峰峰值，作为调节增益时所需要的正弦光信号强度数据；根据所述正弦光信号强度数据与信号强度目标值进行PID调节运算；根据PID调节运算结果，FPGA修改DAC输出电压数据控制增益补偿模块的补偿增益，进行一次增益调节；完成一次增益调节，采集调节后的信号强度数据。本发明可用于双频激光干涉测量的光电探测电路的信号采集前置增益补偿流程中，用于对光电检测信号的动态补偿。由于增益补偿调节均匀连续且与信号采集流程动态同步，信号的强度范围将实时保持在最佳采集区间内且不会发生增益突变。可有效提高模数转换部分对信号采样的精度，提高对模数转换模块性能的利用率，提高信号采集的稳定性。
一种闭环控制激光干涉测量同步动态增益补偿方法

[发明专利]光学面形补偿干涉测量中的投影畸变校正方法、系统及介质-CN202011385606.3有效
发明人：陈善勇;戴一帆;胡皓;关朝亮;翟德德;熊玉朋;薛帅 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学面形补偿干涉测量中的投影畸变校正方法、系统及介质，本发明的投影畸变校正方法包括：建立测量系统光学模型，在与点光源共焦位置插入一个虚拟参考球面；进行光线追迹，分别获得入瞳坐标网格光线对应的被测镜面上交点的横坐标{(xm,ym)}和虚拟参考球面上交点的横坐标{(xr,yr)}；标定干涉仪像面上的像素坐标(u,v)对应虚拟参考球面上横坐标(xrt,yrt)的线性比例因子，将干涉仪测得面形误差分布的像素坐标转换为虚拟参考球面上的横坐标(xrt,yrt)；进行畸变校正得到结果。本发明不需使用实物标记点序列，不需对畸变进行函数拟合，具有计算方法简单、效率高和精度高的优点。
光学补偿干涉测量中的投影畸变校正方法系统介质