[发明专利]一种分频拼接干涉仪在审
| 申请号： | 202310561993.9 | 申请日： | 2023-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN116718103A | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 李明;张冬霓;刘鹏;张常睿;崔荣丽;盛伟繁;董宇辉;陶冶 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种分频拼接干涉仪，其特征在于，包括一套多维位移台，一套待测镜调姿机构，一台干涉仪，两台测角装置和一数据处理单元；所述干涉仪、测角装置、待测镜调姿机构位于多维位移台上；干涉仪用于获取待测镜各子口径的面形并将其发送给数据处理单元；数据单元用于对待测镜各子口径的面形进行拼接得到镜面面形h(x,y)，对h(x,y)进行低通滤波并取滤波后面形中满足y＝y |
||
| 搜索关键词： | 一种 分频 拼接 干涉仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院高能物理研究所，未经中国科学院高能物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310561993.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 一种高分辨率蓝光干涉扫描探头及系统-202310880983.1
- 马冬林;赵浩宇;徐智谋 - 华中科技大学;深圳华中科技大学研究院
- 2023-07-18 - 2023-10-24 - G01B9/02
- 本发明涉及光学显微扫描领域，具体涉及一种高分辨率蓝光干涉扫描探头及系统。本发明包含激光发射单元、第一传输光纤、光环形器、第二传输光纤、干涉端面、大数值孔径聚焦透镜组，激光发射单元发射波长范围为400nm～500nm的第一方向蓝光，经过第一传输光纤，输入到光环形器的第一输入光口；光环形器的第二双向光口输出后，依次经过第二传输光纤、干涉端面、大数值孔径聚焦透镜组照射到被测物表面；被测物表面反射光沿第二方向经过大数值孔径聚焦透镜组在干涉端面处与第一方向蓝光形成干涉，干涉光信号经过第二传输光纤、光环形器的第三输出光口到达激光接收单元，实现对干涉光信号的光电转换和解析。该发明使用蓝光干涉扫描和相位生成载波技术，具有扫描速度快，横向和法向扫描精度高的特点。主要用于微结构和微纳光学元件测量。
- 一种未知分布的激光干涉仪测量结果不确定度评定方法-202310870466.6
- 程真英;陈旭;刘丽颖;李瑞君 - 合肥工业大学
- 2023-07-14 - 2023-10-20 - G01B9/02
- 本发明公开了一种未知分布的激光干涉仪测量结果的不确定度评定方法，是用于对非高斯及分布类型未知的测量结果进行不确定度评定；该方法的步骤包括：1使用beta分布统示法表示测量结果；2将beta分布的参数作为待估参数，利用贝叶斯统计方法建立状态空间模型；3确定beta分布参数的先验分布，基于粒子滤波方法对测量结果的beta分布参数进行递归估计；4根据分布参数估计值得出干涉仪测量结果的分布类型及其不确定度。本发明方法可通过beta分布表征激光干涉仪测量结果的多种分布类型，从而能解决分布类型未知的测量结果最优估计及不确定度评定问题。
- 一种迈克尔逊干涉测量装置及精确信号解调方法-202310886571.9
- 王文华;吴伟娜;熊正烨;师文庆;谢玉萍;杨玉强;罗元政;费贤翔;田秀云 - 广东海洋大学
- 2023-07-18 - 2023-10-20 - G01B9/02
- 本发明公开一种迈克尔逊干涉测量装置及精确信号解调方法，装置包括激光器、光循环器、光束发散器、光功率计、第一分光板、第二分光板、第一反射镜、第二反射镜、支撑组件、工业相机、条纹计数器、第一导轨、第二导轨以及第三导轨以及液体槽；所述激光器通过第一光纤连接所述光循环器，所述光循环器分别通过第二光纤和第三光纤连接所述光束发散器和所述光功率计，所述工业相机、第一反射镜活动设置于所述第一导轨，所述第二反射镜活动设置于所述第二导轨，所述条纹计数器活动设置于所述第三导轨。本发明光路调整简单、快捷，安全可靠、精确信号解调方法简单、成本低、灵敏度高等特点，不依赖其他精密仪器即可实现微小浓度的高精度测量。
- 一种镜面MEMS扭转测量系统及方法-202310660430.5
- 陈振凯;陈帅兵;周文静;于瀛洁 - 上海大学
- 2023-06-06 - 2023-10-20 - G01B9/02
- 本发明涉及一种镜面MEMS扭转测量系统及方法，其中系统包括激光器、分光镜、镜面MEMS样本、电压输入装置、平面镜、图像接收系统和计算机；方法包括以下步骤：系统搭建与图像采集：搭建镜面MEMS扭转测量系统和迈克尔逊干涉光路，采集未通电状态及不同输入电压的通电状态下的全息图；傅里叶原位频谱跟踪，更新频谱图；相位相减及制作掩膜，获取各个输入电压下的转动相位变化；MEMS扭转量标定：基于电压与转动相位变化之间的关系，构建输入电压与镜面扭转量标定表，实现MEMS扭转测量。与现有技术相比，本发明具有结构简单、操作性强，可实现镜面物体的全息实时自动化运算等优点。
- 一种焊接机整机精度检测用激光干涉仪-202320334263.0
- 迟涛;方志诚 - 马鞍山克林贝格机械刀片有限公司
- 2023-02-28 - 2023-10-20 - G01B9/02
- 本实用新型属于机械工程技术领域，涉及一种焊接机整机精度检测用激光干涉仪，包括活动板，所述活动板表面开设有凹槽，所述凹槽内壁固定连接有正反电机，所述正反电机的输出轴固定连接有螺纹柱，所述螺纹柱表面螺纹连接有螺纹管，通过设置正反电机，当人们需要对激光干涉仪本体的高度进行调节时，人们只需要通过外界控制开关控制正反电机运作，从而可以带动螺纹柱进行转动，在螺纹柱和螺纹管的共同作用下，从而可以带动第一连接板进行移动，同时可以带动第二连接板进行移动，即可对激光干涉仪本体的高度进行调节，在正反电机的作用下，从而人们在对激光干涉仪本体的高度进行调节时更加快捷，进而提高了人们的工作效率。
- 一种无线光频探测用具有防水结构的激光干涉仪-202210129814.X
- 夏永文 - 徐州智谷光频产业研究院有限公司
- 2022-02-11 - 2023-10-13 - G01B9/02
- 本发明提供了一种无线光频探测用具有防水结构的激光干涉仪，涉及激光干涉仪技术领域，包括盖板，所述盖板的顶端开设有横向的玻璃槽，玻璃槽为带有玻璃板覆盖的横槽结构，且玻璃槽的内部底端面上开设有触点，触点共设有三处，三处触点分别设置在玻璃槽的底端面左右两侧及中心侧，在玻璃槽的内部还滚动有金属球，触点与元件电性相连接，通过调整装置的倾斜装置使得金属球滚动到玻璃槽中位于中点的触点之上，即可完成找平工作，实现通过肉眼直观的了解装置当前的摆放状态并便捷的进行调整,解决了装置无法通过自体装置来快速的辨别激光干涉仪是否处于水平状态，而开机后需要借助外部工具辅助才能实现对激光干涉仪的找平工作，存在着使用不便的问题。
- 基于复合小波分解算法的白光干涉法测量中的蝙蝠翼效应校正方法-202210284752.X
- 杨忠明;辛磊;刘兆军 - 山东大学
- 2022-03-22 - 2023-09-29 - G01B9/02
- 本发明涉及一种基于复合小波分解算法的白光干涉法测量中的蝙蝠翼效应校正方法，属于精密测量信号处理技术领域。本发明提出了一种结合复合小波分解与相关性分析的干涉信号校正算法，采用Db6小波和Morlet小波对干涉信号进行复合分解处理，有效地提取出信号中包含高度信息的部分，减少杂波信号的干扰，然后对处理后的信号与仿真的理想干涉信号进行相关分析，对小波分解信号进行校正，提高零光程差(ZOPD)位置的提取精度。该方法在不需要测样品先验信息的情况下，能有效抑制蝙蝠翼效应，大大提高了白光干涉法对高度差小于相干长度的结构的测量精度。
- 一种用于白光干涉仪测量物体的平台-202320096700.X
- 高帅;王青郁;覃玉清 - 天津昀恺科技有限公司
- 2023-02-01 - 2023-09-26 - G01B9/02
- 本实用新型公开了一种用于白光干涉仪测量物体的平台，包括壳体，所述壳体背面的两侧均固定连接有第一连接件，所述第一连接件的内部转动连接有支撑杆，所述支撑杆外表面的中部固定连接有第二连接件，所述第二连接件的外表面固定连接有透明罩。该一种用于白光干涉仪测量物体的平台，通过透明罩、密封圈、密封槽和液压杆的设置，透明罩通过支撑杆转动连接在壳体的上表面，对干涉仪进行防护，避免不使用时干涉仪受到外部环境的影响，防护性得到加强，延长使用寿命，密封圈卡接在密封槽的内部，避免外部灰尘等杂质的进入，液压杆起到支撑透明罩的作用，支撑效果得到加强，加大使用时的稳定性。
- 一种分频拼接干涉仪-202310561993.9
- 李明;张冬霓;刘鹏;张常睿;崔荣丽;盛伟繁;董宇辉;陶冶 - 中国科学院高能物理研究所
- 2023-05-18 - 2023-09-08 - G01B9/02
- 本发明公开了一种分频拼接干涉仪，其特征在于，包括一套多维位移台，一套待测镜调姿机构，一台干涉仪，两台测角装置和一数据处理单元；所述干涉仪、测角装置、待测镜调姿机构位于多维位移台上；干涉仪用于获取待测镜各子口径的面形并将其发送给数据处理单元；数据单元用于对待测镜各子口径的面形进行拼接得到镜面面形h(x,y)，对h(x,y)进行低通滤波并取滤波后面形中满足y＝y
- 一种关于磷灰石裂变径迹定年分析方法-202310581277.7
- 杨静;施炜;王森;张拴宏;娄玉行;马立成 - 中国地质科学院地质力学研究所
- 2023-05-23 - 2023-09-05 - G01B9/02
- 本发明涉及地球科学技术领域。本发明涉及一种关于磷灰石裂变径迹定年分析方法。其包括以下步骤：定范围采集矿石样品，对矿石样品表面进行分析，并对矿石样品中的裂变径迹区域进行评估；对该矿石样品中裂变径迹区域的评估，对其进行清洗预处理，并根据裂变径迹区域在范围内寻找其他相似的矿石样品；本发明通过三维成像对矿石样品进行了高精度的量化分析和计算，操作更加简单、准确，大幅降低了样品交叉污染和人工刻度误差等因素，同时提高了检测效率和生产率，通过进行自动化识别分析矿石年龄，精度高、速度快，并避免人工识别而导致的误差，再通过将同区域的矿石进行采集比对，为矿石样品年龄确定提供可靠的数据基础。
- 相移干涉仪及执行干涉仪测量的方法-201880098092.8
- N·P·史密斯 - 昂图创新有限公司
- 2018-11-28 - 2023-08-29 - G01B9/02
- 一种干涉仪，其使用相移掩模，该相移掩模包括的像素阵列与检测器的对应像素阵列对准。该相移掩模中的每个像素适于产生测试光束和参考光束之间的多个预定相移中的一个预定相移。例如，该像素可为线性偏振器或相位延迟元件，其具有该多个偏振器取向或相位延迟中的一者以产生该测试光束和该参考光束之间的该预定相移。该相移掩模中的该像素被布置在该阵列中以便包括以一列宽的行、一行高的列、或多个行和列的块的重复像素组中的该预定相移中的每一者。
- 一种薄膜厚度光学测量方法和装置-202310480665.6
- 高培丽;曾爱军 - 南京先进激光技术研究院
- 2023-04-28 - 2023-08-25 - G01B9/02
- 本发明公开了一种薄膜厚度光学测量方法，包括以下步骤：S1、确定测量用光源，并发射测量光；S2、通过光纤、聚光物镜将测量光聚焦至测量物表面，形成会聚光束；S3、测量物对会聚光束进行反射形成干涉光；S4、通过聚光物镜、光纤将干涉光耦合至光谱分析仪中，进行分光，获得干涉光对应的波长分布；S5、通过数据处理部对干涉光对应的波长分布的特征进行计算，计算得到膜层的厚度、测量结构表面、内部的绝对/相对反射率和测量薄膜材料的折射率，相比现有技术，本发明采用LSP周期图和EMD模态分解的光谱分析算法得到薄膜厚度，有效消除了光源光谱中的低频分量在周期估计中形成的干扰峰值；能够更好地克服噪声对周期估计的影响。
- 柱形光栅干涉仪及读数头总成装置-202110067125.6
- 伍强;李艳丽 - 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司
- 2021-01-19 - 2023-08-25 - G01B9/02
- 本发明公开了一种柱形光栅干涉仪及读数头总成装置，其中，读数头总成装置包括：包括读数头总成以及升降机构，在零位状态下，所述旋转平台的转动轴线、所述柱形光栅尺的中心轴线、读数头总成的中心轴线同轴设置，所述升降机构设置在所述读数头总成的底部，用于在所述旋转平台开始转动之前，将所述读数头总成提升至所述柱形光栅尺对应的测量位置，以及在所述旋转平台完成转动之后，将所述读数头总成降低至低于所述柱形光栅尺的底面。本发明采用了柱形光栅尺和读数头总成可升降分离的架构，能够在工位交换转动的过程中，对旋转平台的转动角度进行精密测量，并且在非交换转动状态下，避免读数头总成撞到柱形光栅尺。
- 一种基于少模光纤的多通道干涉仪-202310398936.3
- 张文华;高为宫;王宁 - 上海拍频光电科技有限公司
- 2023-04-14 - 2023-08-08 - G01B9/02
- 本发明提供一种基于少模光纤的多通道干涉仪，涉及光纤传感技术领域。该基于少模光纤的多通道干涉仪，包括平台，所述平台上端面中部固定设置有支撑板，所述支撑板上端固定设置有固定框，所述固定框内部固定设置有干涉仪本体，所述干涉仪本体包括两个光子灯笼和耦合器，两个所述光子灯笼之间固定连接有少模光纤，两个所述光子灯笼和对应的耦合器之间均固定连接有多个多路端单模尾纤，所述平台内部前后两端均固定设置有限位滑杆，所述平台内部一侧固定设置有电机，所述电机的输出端固定连接有丝杆，所述平台内部两侧均滑动设置有滑板。本发明整体结构紧凑，且可对干涉仪等元件进行保护，能够得到更好的探测干涉效果。
- 一种提高激光干涉测量精度的方法和装置-202310627796.2
- 李敬轩;杨立军;梁炫烨;张玥 - 北京航空航天大学
- 2023-05-31 - 2023-08-01 - G01B9/02
- 本发明提供了一种提高激光干涉测量精度的方法和装置，涉及激光干涉的技术领域，包括：利用第一载波条纹和第二载波条纹分别对激光进行干涉，得到第一干涉图和第二干涉图，其中，第一载波条纹的方向与第二载波条纹的方向之间的夹角为直角；分别对第一干涉图和第二干涉图进行傅里叶变换，得到第一频谱图和第二频谱图；分别计算第一频谱图和第二频谱图的相位集中度，得到第一相位集中度和第二相位集中度；基于二分法、第一相位集中度和第二相位集中度，确定出直角内目标方向的载波条纹，并利用目标方向的载波条纹对激光进行干涉，其中，目标方向的载波条纹为直角内相位集中度最大的载波条纹，解决了现有的激光干涉测量的精度较低的技术问题。
- 一种切割机整机精度检测用激光干涉仪安装底座-202320334252.2
- 方志诚 - 马鞍山克林贝格机械刀片有限公司
- 2023-02-28 - 2023-08-01 - G01B9/02
- 本实用新型涉及安装底座技术领域，且公开了一种切割机整机精度检测用激光干涉仪安装底座，包括：激光干涉仪主体；所述激光干涉仪主体外侧壁设置有固定组件，所述固定组件包括：L形板体，设置于所述激光干涉仪主体外侧壁；滑槽，开设于所述L形板体位于所述激光干涉仪主体下表面的一端外侧壁；该切割机整机精度检测用激光干涉仪安装底座通过设置由弹性部件连接的板体将激光干涉仪夹持固定住，通过将板体间距拉动至适合于激光干涉仪尺寸的大小再将其放入的方式减少激光干涉仪在放置过程中外壳受到的磨损。该切割机整机精度检测用激光干涉仪安装底座通过设置调节组件使得使用者能对激光干涉仪的安装高度和角度进行调节。
- 一种基于HRUnet网络的高精度相位解调方法-202310293941.8
- 卢帅东;郭荣礼;吴慎将;聂亮;王凡;王佳;时凯;秦颖 - 西安工业大学
- 2023-03-24 - 2023-07-14 - G01B9/02
- 本发明涉及光学干涉测量领域，具体公开了一种基于HRUnet网络的高精度相位解调方法。只需一幅干涉图，即可得到无包裹相位信息。本方法直接从单幅含有闭合条纹的干涉图得到无包裹相位分布，先建立并训练神经网络HRUnet，然后把余弦干涉图I
- 干涉仪移动镜位置测定装置和傅里叶变换红外分光光谱仪-201880096674.2
- 村松尚 - 株式会社岛津制作所
- 2018-09-03 - 2023-07-11 - G01B9/02
- 干涉仪移动镜位置测定装置(10)用于确定具有分束器(22)、固定镜(23)以及移动镜(24)的干涉仪的移动镜(24)的位置，干涉仪移动镜位置测定装置(10)具备：激光光源(11)；相位分离光学系统(1/8波片(15)、偏振分束器(16))，其能够将相位互不相同的第一光和第二光进行分离并进行检测，第一光和第二光是激光光源(11)的光被固定镜(23)和移动镜(24)反射而生成的；信号变换部，其与移动镜(24)的位置同步地分别检测第一光和第二光，来生成第一正弦波信号和第二正弦波信号；信号变换部(第一光检测器(17A)、第二光检测器(17B))，其与移动镜(24)的位置同步地分别检测第一光和第二光，来生成第一正弦波信号和第二正弦波信号；相位计算部(18)，其在针对第一正弦波信号和第二正弦波信号分别进行了标准化及相位差校正后，计算在各时间点的第一正弦波信号或者第二正弦波信号的相位；以及移动镜位置确定部(19)，其基于移动镜(24)的位置与相位的关系，根据在特定的时间点的相位来确定在该时间点的移动镜(24)的位置。
- 一种用于冷原子干涉仪的扩束准直器及其使用方法-202310137632.1
- 郭劼;陈福胜;周超;马思迁;毛海岑;王斌;邱金峰;张柯;刁鹏鹏;高黎明 - 华中光电技术研究所（中国船舶集团有限公司第七一七研究所）
- 2023-02-20 - 2023-07-04 - G01B9/02
- 本发明提供一种用于冷原子干涉仪的扩束准直器及其使用方法，包括：保偏光纤、半波液晶可变延迟器、透镜组、第一1/2波片、分光反射镜和光功率监测模块；保偏光纤输出发散的线偏振激光束，经半波液晶可变延迟器进行实时偏振态切换，经透镜组扩束准直形成平行光束，经第一1/2波片进行初始偏振轴角度调节，经分光反射镜分成反射光和透射光；其中，反射光进入真空腔体，透射光进入光功率监测模块。本发明本发明可实时切换激光束的偏振态，并对激光束的偏振态和光功率变化进行实时监测，应用一个扩束准直器即可实现原子干涉测量过程中所需的不同偏振态激光束，大大降低了冷原子囚禁和干涉光学编排复杂程度，同时有效减少了冷原子干涉仪的体积和应用成本。
- 一种相移量未知的相位恢复方法-202111184664.4
- 王玉伟;朱浩杰;蔡家旭;刘路;时国龙;王亚军 - 安徽农业大学
- 2021-10-12 - 2023-06-27 - G01B9/02
- 本发明公开了一种相移量未知的相位恢复方法，通过步骤S1‑步骤S9实现相移量未知干涉条纹的相位恢复，既不需要高精度的相移器，也不需要估计未知的相移量，便可精确地恢复出相移量未知干涉条纹的相位分布，大大提高了相移干涉测量的灵活性和适用性。
- 使用低相干干涉测量法测量包括不同结构的物体表面的方法和系统-201980089648.1
- 珍-弗朗索瓦·布朗热;伊莎贝尔·贝尔然 - 统一半导体公司
- 2019-11-28 - 2023-06-27 - G01B9/02
- 本发明涉及一种用于使用低相干光学干涉测量法测量包括至少一个结构(41、42)的物体(17)的表面的方法(100)，该方法(100)包括以下步骤：‑在视场中的所述表面的多个点处获取(102)干涉测量信号，所述点称为测量点；对于至少一个测量点：‑将所获取的干涉测量信号归属(104)于多个类别的干涉测量信号中的一类别，每个类别与表示典型结构的参考干涉测量信号相关联；以及‑对该干涉测量信号进行分析(114)，以便根据其类别从该干涉测量信号中得出关于测量点处的结构的信息。本发明还涉及一种实现根据本发明的方法的测量系统。
- 一种基于非稳频光源的激光干涉仪-202310061257.7
- 吴光;庞程凯;李召辉;杨雷;黄海燕 - 华东师范大学
- 2023-01-19 - 2023-06-13 - G01B9/02
- 本发明公开了一种基于非稳频光源的激光干涉仪，其特点是该激光干涉仪由非稳频窄线宽激光器、第一分束器与参考模块和探测模块组成，所述非稳频窄线宽激光器1经第一分束器分为两激光光源，一激光光源通过参考模块用于激光波长的频率检测，另一激光光源通过探测模块用于目标位移检测；所述参考模块测量获得的激光波长用于修正探测模块的测量结果，实现高精度位移检测。本发明与现有技术相比无需锁定激光频率，就能满足工业应用的前提下减小激光干涉仪的体积与成本，且激光干涉仪工作波长、器件的选取不再受到频率参考器件影响，令干涉仪的使用更为灵活、便捷，结构简单，稳定性高，进一步拓宽了激光干涉仪在工业环境中的应用场景。
- 基于数字虚拟参考腔和游标效应的法珀腔长精确测量方法-202210348954.6
- 董小鹏;关云卿 - 厦门大学
- 2022-04-01 - 2023-06-06 - G01B9/02
- 基于数字虚拟参考腔和游标效应的法珀腔长精确测量方法，涉及光学信号处理领域。减小现有常规方法测量腔长时带来的误差，包括以下步骤：1)确定传感干涉仪的腔长估计值：2)确定参考干涉仪的腔长；3)确定叠加光谱包络的自由谱宽；4)计算传感干涉仪的精确腔长。无需在实际中制作一个腔长与传感干涉仪接近的参考干涉仪，而是基于数值仿真构造一个虚拟的参考干涉仪，并通过游标效应实现FPI腔长的高精度测量。由于虚拟参考腔的腔长是精确的，参考腔也不会受环境因素和被测物理量的影响而发生变化，因此，实现方式灵活可靠，具有很大的实用性。
- 干涉解调装置和干涉测量系统-202310006958.0
- 罗雨清;张立喆 - 北京佰为深科技发展有限公司
- 2023-01-04 - 2023-05-23 - G01B9/02
- 本公开涉及一种干涉解调装置和干涉测量系统。所述干涉解调装置具有路径长度差，配置为接收调制光，并在输出位置提供作为所述路径长度差的函数的光信号，所述干涉解调装置包括：第一偏振器，配置为将所述调制光分成不同的偏振分量；第二偏振器，设置于所述第一偏振器的下游且配置为组合所述不同的偏振分量；以及双折射元件，位于所述第一偏振器和所述第二偏振器之间；聚光器，设置于所述第一偏振器的上游；其中，所述双折射元件包括入射表面和出射表面，所述入射表面和所述出射表面中的至少一个的至少一部分为非线性曲面表面。
- 一种动态干涉仪-202121932360.7
- 高恩宇;马龙 - 长春国宇光学科技有限公司
- 2021-08-17 - 2023-05-16 - G01B9/02
- 本实用新型涉及精密检测设备技术领域，且公开了一种动态干涉仪，包括底座和固定安装在底座顶部的四组等距排列的连接块，连接块为矩形块状，本实用新型中，当导轨连接盒在丝杆上进行移动时，导轨连接盒内部的活动阻块在与丝杆外表面螺纹内部的凸块进行接触挤压时，活动阻块在被凸块挤压进入导轨连接盒内部时，活动阻块与排液槽之间便会产生缝隙，这时当导轨连接盒在丝杆上滑动移动时，导轨连接盒与丝杆之间在润滑剂体相互接触下，润滑剂体便可以减小传统导轨连接盒与丝杆在长时间产生的摩擦力，使导轨连接盒与丝杆之间在滑动更加方便顺滑，从而达到避免干涉仪主体自身移动不便或者产生间接震动，提高干涉仪主体自身的检测质量的效果。
- 一种适应检测面反射率实现高干涉对比度的菲索干涉仪-202211639208.9
- 钱俊 - 上海现代先进超精密制造中心有限公司
- 2022-12-20 - 2023-05-12 - G01B9/02
- 本发明涉及光学技术领域。一种适应检测面反射率实现高干涉对比度的菲索干涉仪，包括沿着第一光路方向依次排布的激光器光源、1/2波片、汇聚镜组、照明光阑、偏振分束器、准直镜组、法拉第旋光器、偏振参考镜组；还包括沿第二光路方向依次排布的成像光阑、成像镜组、ccd相机；1/2波片安装在用于调节快轴角度的旋转机构上；第一光路方向与偏振分束器的透射光轴方向相同，第二光路方向与偏振分束器的反射光轴方向相同。本发明干涉信号的最大光强由激光器光源的输出功率和1/2波片共同调节；干涉信号的对比度由法拉第旋光器调节。
- 二维波前传感系统及其数据处理方法-202310060732.9
- 李鎏;杨原牧 - 清华大学
- 2023-01-16 - 2023-05-09 - G01B9/02
- 本公开提供的二维波前传感系统，包括待测畸变波前、两个光学滤波片、成像单元和偏振光电探测单元；两光学滤波片具有相近或相同的光学响应，要求s或p偏振入射光的振幅透过率在设定的入射角度范围内正比于入射角度，p或s偏振入射光的振幅透过率设定的入射角度范围内随入射角度的变化保持为常数，两光学滤波片的其中一个光学滤波片和xz平面之间的夹角与另一个光学滤波片和yz平面之间的夹角相同；成像单元用于将位于成像单元物面处的待测畸变波前成像到位于成像单元像面处的偏振光电探测单元；偏振光电探测单元用于探测入射光经过两光学滤波片和成像单元后的x和y方向偏振光强。本公开可实现高空间分辨率和大动态测量范围的二维波前传感。
- 用于确定通过衍射光学元件所产生的波前的方法-202180058762.5
- A·沃尔夫 - 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 2021-07-23 - 2023-05-05 - G01B9/02
- 一种用于确定由衍射光学元件(24)所产生的波前(54)的方法包含以下步骤：提供n维非周期性图案(58)，其代表配置在衍射光学元件上的衍射结构(34)，其中n具有1或2的数值；以及通过计算来确定由衍射光学元件所产生的波前(54)，同时考虑n维非周期性图案，其中在计算确定波前的过程中，n维非周期性图案(58)嵌入到更高维表示中，衍射结构由该更高维表示中的周期性图案(64)表示。
- 一种面向光纤白光干涉的干涉条纹包络提取方法-202210553364.7
- 陈章位;徐振宇;祖洪飞;丁斌;何飞飞 - 浙江大学;南通市计量检定测试所
- 2022-05-20 - 2023-05-02 - G01B9/02
- 本发明公开了一种面向光纤白光干涉的干涉条纹包络提取方法，以白光干涉系统通过低相干干涉测量获得的干涉条纹信号为研究对象，深入剖析白光干涉的特性和原理，结合半高全宽法、相移法、希尔伯特变换法，提出了一种改进的包络峰值提取算法。这种算法将干涉零级条纹的定位过程分步处理，既确保了干涉包络的提取精度，又大幅度降低了算法的运算时间，优化了光纤白光干涉的整体性能。
- 一种消除双频激光干涉仪测量信号频差不稳定度的方法-202310140774.3
- 曾启林;徐乐;杜浩;张文涛;熊显名;赵正义;周方均;王晓博 - 桂林电子科技大学
- 2023-02-21 - 2023-04-28 - G01B9/02
- 本发明提供一种消除双频激光干涉仪测量信号频差不稳定度的方法。所述方法为：参考光信号经过APD、I/V转换器、锁相环、波形转换后的信号作为时钟信号提供给ADC芯片对测量光信号经过APD、I/V转换器、信号放大、滤波后的信号进行采样，通过对采样后的信号进行分段处理，消除了双频激光的频差不稳定度。本发明可以消去频差不稳定度的影响，同时在节省成本和降低FPGA运算资源的同时，降低了对双频激光稳定度的高要求。
- 专利分类
