[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模，其特征在于，具有：

掩模主体，所述掩模主体上形成有开口图案；

框架，所述框架与所述掩模主体的周缘部的至少一部分接合，并将所述掩模主体保持在一定的状态；

所述框架通过碳纤维强化塑料形成。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述碳纤维强化塑料为将碳化硅作为强化纤维的碳化硅纤维强化塑料。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述框架被形成为夹心结构体，所述夹心结构体通过在内包有空隙的柱状的芯部的至少一部分的相对面上粘贴由碳纤维强化塑料或者金属板形成的面板而构成。

4.根据权利要求3所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述芯部的空隙被形成为广义的蜂窝结构体。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述掩模主体为混合型掩模，所述混合型掩模由形成有所述开口图案的树脂膜、和以不阻塞所述树脂膜的所述开口图案的方式形成有开口的金属支撑层相互粘贴而成。

6.根据权利要求1至4的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述掩模主体为由形成有所述开口图案的金属薄板构成的金属掩模。

7.根据权利要求3至6的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述框架为边框状的矩形形状，在接合了所述掩摸主体的所述框架的边上，所述空隙被形成为从被所述框架包围的内部朝向所述框架的外部。

8.根据权利要求1至7的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述掩模主体的周缘部相对所述框架的接合通过将所述掩模主体的周缘部的一部分进行弯折，从而将所述掩模主体的周缘部接合在与所述框架的内侧相反的外周侧壁。

9.根据权利要求3至8的任意一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

在内包有所述空隙的所述框架的整个外周壁上粘贴有由磁性金属板形成的面板。

10.根据权利要求9所述的蒸镀掩模，其特征在于，

被所述面板包围的所述空隙被减压。

11.根据权利要求9所述的蒸镀掩模，其特征在于，

被所述面板包围的所述空隙的内部充填有惰性气体。

12.一种蒸镀方法，其特征在于，包括如下工序：

将被蒸镀基板和权利要求1至11的任意一项所述的蒸镀掩模重叠设置的工序，以及

通过与所述蒸镀掩模间隔设置的蒸镀源的蒸镀材料的飞散，在所述被蒸镀基板上堆积所述蒸镀材料的工序。

13.根据权利要求11所述的蒸镀方法，其特征在于，

所述蒸镀掩模的框架为边框状的矩形形状，配置所述被蒸镀基板及所述蒸镀掩模，使得所述空隙从被所述框架包围的内部朝向所述框架的外部而形成的框架的边处于上下位置。

14.一种有机EL显示装置的制造方法，其特征在于，包括：

在支撑基板上至少形成TFT和第一电极，通过使用权利要求12或13所记载的蒸镀方法在所述支撑基板上蒸镀有机材料，形成有机层的层叠膜，在所述层叠膜上形成第二电极的工序。