[发明专利]像素结构及其制作方法在审
申请号: | 201710357231.1 | 申请日: | 2017-05-19 |
公开(公告)号: | CN107994049A | 公开(公告)日: | 2018-05-04 |
发明(设计)人: | 李耘 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 向薇,王园园 |
地址: | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 像素 结构 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明涉及印刷显示技术领域,特别是涉及一种像素结构及其制作方法。
背景技术
随着显示技术的逐渐发展,有机发光二极管(OLED)因为其优良的显示性能得到各方的关注。LG、三星和BOE等企业逐渐增大其在OLED显示技术上的投资。而常规蒸镀方式制作OLED面临材料利用率低等问题,因此为进一步降低OLED屏幕生产成本,以印刷方式制作OLED被逐渐提上研发和生产日程。
在现有工艺中,以印刷方式制作OLED时,需要对印刷的像素区域制作像素界定层(PDL),也叫Bank。Bank为一墨水槽,在印刷时,打印的功能层墨水在Bank中逐层沉积干燥,并最后通过蒸镀电极形成器件。为使得墨水能够良好铺展,Bank的底层及基板一般为亲液性质材料,但在实际制作中,液体在该底层及基板上铺展并不十分顺利,且往往由于在铺展和干燥时液体表面张力拉扯下,液体边界会呈现一定的收缩,从而影响了成膜的均匀性,在严重时甚至呈现局部无法浸润的现象(Dewetting)。Dewetting和液体的分布不均不仅仅会降低器件效果,在严重的情况下甚至会形成短路,击穿器件。
发明内容
基于此,有必要提供一种能够使墨水有效浸润基板,成膜均匀的像素结构。
一种像素结构,包括:
基板;
层叠于所述基板之上的至少一层第一像素界定层,所述第一像素界定层设有与预设像素区域相对应的第一像素腔;所述第一像素腔的内壁设有至少一个缺口,所述缺口开口于所述第一像素腔。
常规的预设像素区域一般均为长条形,根据Plateau Rayleigh不稳定态描述,当液柱长度L大于宽度W时液体表面容易产生扰动,并且通过收缩边缘来减少表面积,以减少系统能量。如果:
L≥2.5W
长宽比越大则该收缩效果越发明显。
在印刷中用的Bank结构一般L为2~3W,则在墨水干燥过程中液体边缘很不稳定,容易从出现向内收缩,从而影响了成膜的均匀性。在极端时收缩会形成一定程度的Dewetting,即干燥时液面向内收缩,导致干燥的薄膜无法全部覆盖底面,从而导致器件上下功能层直接联通、甚至短路,并导致器件效果下降,甚至器件短路烧毁。该现象在L为1.5~2W的情况下也容易出现。
基于此,本发明所述的像素结构,主要通过在基板上设置第一像素界定层,并在所述第一像素界定层的所述第一像素腔的内壁设置缺口,该缺口能够形成毛细现象,使墨水在印刷挥发和干燥时,墨水边缘在对应的缺口中形成边界钉扎,固定住液体边缘,由此有效防止液体在铺展或干燥时向内收缩,改善液体分布,优化成膜效果,形成的膜层均匀,进而达到增加器件制作良率、增强器件效果的作用。
根据器件结构和实际功能层溶液性质的不同,所述像素结构中具有缺口的第一像素界定层可以为单层或多层,其中多层结构可以通过多次曝光、显影、刻蚀并相互叠加方式制作。
所述预设像素区域是指,在显示器件设计中需要进行功能层印刷的子像素单元中的发光区域。
在其中一个实施例中,所述缺口的宽度为不大于20μm。
在其中一个实施例中,所述缺口的宽度为不大于1/15所述第一像素腔的长度。该长度是指沿所述第一像素腔的轴线方向的最大长度。
在其中一个实施例中,所述缺口的宽度为10nm~5μm。
在其中一个实施例中,所述第一像素腔的长宽比为1.5~3。
在其中一个实施例中,当所述第一像素腔的长宽比大于1.5时,所述缺口的数量为至少两个。
在其中一个实施例中,所述缺口的数量为2-4个。
为进一步确保液体的稳定性,优选地,根据第一像素腔形貌,尤其是长宽比相应设置缺口的数量,可使最终形成的膜体更为均匀。
本发明所述的长宽比,是指沿所述第一像素腔的轴线方向的最大长度和最大宽度之比。
在其中一个实施例中,所述缺口为多个,多个所述缺口连续或不连续排列。
在其中一个实施例中,所述缺口的形状为圆弧形。
在其中一个实施例中,所述第一像素界定层的材料为亲液材料。采用亲液材料制作所述第一像素界定层,可使得墨水在第一像素腔形成良好的浸润和流动性。
上述亲液材料可为正或负性光刻胶,一般主体为PI等聚合物,在聚合成型后通过UV或等离子体处理,使得其与墨水接触角小于45°,优选为30°以下。材料的亲液性质主要取决于功能层采用的墨水,亲液的需求是需要墨水在底部铺展,如果亲液不好,则墨水在边缘干燥时直接向内收缩,无法良好铺展成膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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