[发明专利]一种直接制备绒面AZO薄膜的方法有效
| 申请号： | 201611188145.4 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106591789B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;姚婷婷;杨勇;金克武;李刚;沈洪雪;曹欣;徐根保;王芸;金仲 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司;安徽省包装印刷产品质量监督检验中心 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 玻璃 绒面 溅射 磁控溅射装置 冷却 直接制备 中间层 加热 磁控溅射工艺 蚀刻 凹凸结构 薄膜材料 采用直流 衬底加热 加热过程 晶粒 传统的 顶层 织构 薄膜 生产成本 舍弃 消耗 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种直接制备绒面AZO薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、采用直流磁控溅射工艺，将玻璃衬底加热至300℃后，在玻璃衬底上溅射厚度为180～220nm的底层AZO薄膜；
S2、关闭磁控溅射装置，使玻璃衬底冷却至室温；
S3、将玻璃衬底由室温加热至300℃后，在底层AZO薄膜上溅射厚度为180～220nm的中间层AZO薄膜；
S4、关闭磁控溅射装置，使玻璃衬底冷却至室温；
S5、将玻璃衬底由室温加热至300℃后，在中间层AZO薄膜上溅射厚度为180～220nm的顶层AZO薄膜，最终得到层叠的绒面AZO薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种直接制备绒面AZO薄膜的方法，其特征在于，所述步骤S1、S3与S5中直流磁控溅射时的功率为600～1000W，功率密度为5.30～8.84W/cm2。
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