[发明专利]电子封装件及其制法与基板结构有效
申请号: | 201610030803.0 | 申请日: | 2016-01-18 |
公开(公告)号: | CN106935563B | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 蒋静雯;王信智;施智元;陈仕卿 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/492;H01L21/50 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 封装 及其 制法 板结 | ||
1.一种电子封装件,其特征为,该电子封装件包括:
基板本体,其具有相对的第一表面与第二表面;
多个导电柱,其形成于该基板本体的第一表面上并电性连接该基板本体,其中,每一该导电柱的侧面具有绝缘层,且该绝缘层表面完全外露,使该导电柱的任两个相邻的绝缘层之间具有空气间隙;
至少一电子元件,其设于该基板本体的第二表面上并电性连接该基板本体;以及
封装材,其形成于该基板本体的第二表面上并包覆该电子元件。
2.如权利要求1所述的电子封装件,其特征为,该导电柱的长宽比为1至5之间。
3.如权利要求1所述的电子封装件,其特征为,该电子封装件还包括形成于所述导电柱上的多个导电元件。
4.一种电子封装件的制法,其特征为,该制法包括:
于承载件中先形成绝缘层后再形成多个导电柱,并使该绝缘层沿该导电柱的侧面延伸,且该绝缘层形成于该承载件的表面上;
形成基板本体于该承载件上,且令该基板本体电性连接该导电柱;
设置至少一电子元件于该基板本体上,且令该电子元件电性连接该基板本体;
形成封装材于该基板本体上,以令该封装材包覆该电子元件;
移除该承载件,使该绝缘层表面完全外露且该导电柱凸出该基板本体,以令该导电柱的任两个相邻的绝缘层之间具有空气间隙;以及
形成多个导电元件于所述导电柱上,此时该空气间隙仍存在。
5.如权利要求4所述的电子封装件的制法,其特征为,该承载件为绝缘板、金属板或半导体板材。
6.如权利要求4所述的电子封装件的制法,其特征为,该导电柱的长宽比为1至5之间。
7.如权利要求4所述的电子封装件的制法,其特征为,移除该承载件的制造方法包括:
形成暂时性载具于该封装材上;
以研磨制造方法薄化该承载件;以及
蚀刻移除剩余的承载件。
8.如权利要求7所述的电子封装件的制法,其特征为,该制法还包括于移除该承载件后,移除该暂时性载具。
9.如权利要求7所述的电子封装件的制法,其特征为,该暂时性载具为具胶材的玻璃。
10.如权利要求7所述的电子封装件的制法,其特征为,该暂时性载具为胶片。
11.一种基板结构,其特征为,该基板结构包括:
基板本体,其具有相对的第一表面与第二表面;以及
多个导电柱,其形成于该基板本体的第一表面上并电性连接该基板本体,其中,每一该导电柱的侧面具有绝缘层,且该绝缘层表面完全外露,使该导电柱的任两个相邻的绝缘层之间具有空气间隙。
12.如权利要求11所述的基板结构,其特征为,该导电柱的长宽比为1至5之间。
13.如权利要求11所述的基板结构,其特征为,该基板结构还包括形成于所述导电柱上的多个导电元件。
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