[发明专利]在处理系统化学分析中使用的电子束激励器

摘要

本发明涉及气体线路电子流激励器。所述电子束激励器通常包括用于在电子源腔中生成电子云的可变密度电子源，和用于将来自电子源腔的电子作为电子束加速成用于发射荧光的气体样本的可变能量电子激励器。电子束的电子能量是可通过调节越过可变能量电子抽取器可变控制的。所述变能量电子抽取器通过腔上的孔朝着该抽取器给电子供能。施加到电子源上的激励功率可独立于电子束的电子能量调节从而改变电子的电子密度而不改变电子束的电子的能级。

主权项

一种用于激励气体中粒子的排气线路激励器，其特征在于，包括用于沿电子束轴生成电子束的电子束激励器，所述电子束具有处于第一平均电子能态的第一浓度的电子，所述电子束激励器连接到来自半导体反应器腔的气体管道，所述气体管道具有用于从半导体反应器腔传送废物流的内部体积，其中所述电子束轴的至少一部分横越过所述气体管道的所述内部体积；所述电子束激励器进一步包括：电子源，用于生成处于第二平均电子能态的第二浓度的电子；以及电子抽取器，用于从所述电子源抽取所述处于第二平均电子能态的第二浓度的电子，并沿所述电子束轴加速所述第二浓度的电子到所述第一平均电子能态；其中所述电子抽取器进一步包括：第一电极部分，所述电子束的电子可透过所述第一电极部分；第二电极部分，所述电子束的电子不可透过所述第二电极部分。