[实用新型]一种真空沉积系统及其旋转馈入装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空沉积镀膜，尤其涉及一种真空沉积系统及其旋转馈入装置，可应用于TFT-LCD、太阳能薄膜电池、半导体芯片、晶圆等薄膜工艺制备和生产的真空镀膜系统中。

背景技术

薄膜沉积模块的生产包括将基片（例如玻璃板）运入且运出沉积系统中的一个或多个真空室，在沉积系统，半导体材料的薄膜层被沉积至基片的表面上。该沉积过程可以是任何已知的过程，例如封闭空间升华系统(CSS)，化学气象沉积系统(CVD)或物理气象沉积系统（PVD）。

输送基片通过真空室结构的沉积系统典型地使用受驱动的输送机或其他合适的输送装置。在维持结构内高真空状态的同时，需要在真空室内建立受控制的旋转运动以驱动输送机。为该目的而提供的传统的旋转馈入是相对复杂且通常需要由室壁内或室壁外的轴承支撑的通轴。该轴又可操作地连接至齿轮箱或马达，马达经由直接联接、带传动或链传动提供旋转驱动。现有技术中一种用于真空室结构的旋转馈入装置，应用于太阳能光伏产业。其旋转馈入装置包括具有外壳和轴的齿轮箱，轴由包含在外壳内的轴承可旋转地支承。马达可操作地联接至齿轮箱外壳以驱动轴，且轴从齿轮箱延伸。第一动密封组件可操作地设置在齿轮箱外壳和室壁之间，且轴设置成穿过第一动密封组件并且延伸穿过在室壁中的孔并进入结构的内部。经由齿轮箱外壳中的轴承，轴由轴承可旋转地支承。这些传统的装置是相对昂贵、复杂且笨重的，不利于设备的安装维护。

另外，随着薄膜沉积技术的发展，生产工艺在保证膜层质量的基础上，提出了提高生产效率，降低制造成本的要求，那么传输机构就不会局限于一种动作，为降低设备成本，增加薄膜产品的竞争力，如何利用一个旋转馈入装置同时能满足两种不同运动功能就成为了行业发展迫切的需求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种真空沉积系统及其旋转馈入装置，结构简捷轻巧，成本低，安装维护方便，控制精度准确。

为了解决上述技术问题，一方面，本实用新型的实施例提供了一种旋转馈入装置，括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；

所述第一固定组件包括第一固定座，所述第一固定座上设有轴孔；

所述第一动密封组件安装于所述轴孔中，用于所述传动轴与所述第一固定座之间的密封；

所述传动轴绕自身轴向转动穿设所述第一动密封组件；

所述第一直驱马达安装于所述第一固定组件，所述第一直驱马达的输出端连接于所述传动轴，以驱动所述传动轴转动。

其中，所述第一固定座为一端闭合的筒状，所述轴孔开设在第一固定座的闭合端；所述第一固定座上相对闭合端的另一端密封设置以形成一密闭腔体，所述第一直驱马达的输出端位于该密闭腔体中。

其中，所述第一固定组件还包括第一支撑套筒及第一端盖，所述第一固定座上相对闭合端的另一端与所述第一支撑套筒的一端固定连接，所述第一支撑套筒的另一端与所述第一端盖固定连接；所述第一直驱马达位于所述第一支撑套筒中。

其中，所述第一动密封组件包括套筒、磁流体密封件及密封圈，所述套筒固定于所述轴孔中，所述密封圈设置在所述套筒与所述第一固定组件之间，所述传动轴绕自身轴向转动套设在所述套筒内，所述磁流体设置在所述套筒的内壁与所述传动轴之间。

其中，所述旋转馈入装置还包括第二固定组件及第二直驱马达；

所述第一固定组件转动连接于第二固定组件；

所述第二直驱马达固定于第二固定组件，其输出端连接于所述第一固定组件或所述第一直驱马达，以驱动所述第一固定组件转动。

其中，所述第二固定组件包括第二固定座，所述第二固定座为环状，所述第一固定座转动套设在所述第二固定座内；所述第一固定座与所述第二固定座之间设有第二动密封组件，所述第二动密封组件包括两个同轴设置的两个动密封圈及真空管道，所述第一固定座、所述第二固定座与两个所述动密封圈之间形成环状的密封空间，所述真空管道设置在所述第二固定座上，所述真空管道的一端连通至所述密封空间、另一端连通至一真空抽气装置。

其中，所述传动轴、所述第一直驱马达及所述第二直驱马达同轴设置。

另一方面，本实用新型还提供了一种真空沉积系统，包括前述的旋转馈入装置及真空腔室，所述真空腔室的腔壁上设有安装孔，所述旋转馈入装置安装于所述安装孔处；

所述旋转馈入装置的第一固定组件安装于所述安装孔，所述旋转馈入装置的第一直驱马达位于所述真空腔室外、传动轴上远离所述第一直驱马达的一端位于所述真空腔室中。