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- [发明专利]纳米柱阵列及其制备方法-CN202010174753.X有效
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段天利;张锐;王尧;马续航;王春柱;瞿学选
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南方科技大学
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2020-03-13
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2023-09-08
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B81B7/04
- 本发明涉及一种纳米柱阵列及其制备方法。上述纳米柱阵列的制备方法包括如下步骤:采用电子束抗蚀剂在衬底上形成抗蚀层;将抗蚀层进行曝光和显影,以在抗蚀层上曝光出多个间隔排列的直径为50nm~100nm的图案;在衬底上形成金属层,且金属层遮蔽抗蚀层,金属层的厚度至少为20nm且小于抗蚀层的厚度的三分之一;去除抗蚀层,得到具有多个间隔排列的金属图案的金属层;从衬底形成有金属层的一侧,沿垂直方向对衬底进行离子刻蚀,以使衬底上未被金属图案覆盖的区域被刻蚀,形成多个间隔的柱体;去除衬底上的金属图案,得到纳米柱阵列,纳米柱阵列包括多个间隔排列的纳米柱。上述制备方法能够使纳米柱阵列中的纳米柱直径小于50nm,高宽比大于20。
- 纳米阵列及其制备方法
- [实用新型]一种耐高温的气动翻转挡省空间挡板-CN202221965137.7有效
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马续航;高卫民;张锐;王春柱;王尧;瞿学选
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南方科技大学
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2022-07-28
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2023-01-24
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C23C14/34
- 本实用新型属于真空镀膜技术领域,公开了一种耐高温的气动翻转挡省空间挡板,包括真空镀膜机架以及与真空镀膜机架固定连接的工件承载支架,在工件承载支架的一侧通过螺钉可拆卸连接有连接垫板,在连接垫板背离工件承载支架的一侧转动连接有竖向连板,连接垫板与竖向连板相互平行设置,竖向连板包括导向段和连接段,导向段的顶部可拆卸连接有导向挡板架,在导向挡板架的上端一体连接有用于防止溅射物的污染翻转挡板,翻转挡板呈半球形凹面设计,节省空间,在连接段的底部转动连接有翻转传动组件。本实用新型设计简单,结构合理,解决了现有技术中挡板机构占用空间大,灵活性差,且会对腔体内部流场方向产生影响,从而造成使用可靠性下降等问题。
- 一种耐高温气动翻转空间挡板
- [发明专利]深槽的填充方法及深槽的填充结构-CN202110452788.X有效
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瞿学选;马续航;王尧;段天利;王春柱;张锐
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南方科技大学
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2021-04-26
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2022-11-15
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H01L21/768
- 本发明涉及一种深槽的填充方法及深槽的填充结构。上述深槽的填充方法包括如下步骤:提供具有至少一深槽的半导体衬底,深槽的深宽比小于或等于40;将绝缘件置于半导体衬底上,且绝缘件遮蔽深槽的开口,绝缘件的材质为聚合物材料;对绝缘件进行加热,使绝缘件呈液态;在真空条件下,对绝缘件加压,使液态的绝缘件填充于深槽内,然后固化,在深槽内形成绝缘层。上述深槽的填充方法在深槽内填充绝缘层仅需要几分钟至十几分钟,较传统的化学气相沉积的方法(需要几十个小时)大大节省了沉积时间,提高了生产效率。且以聚合物材料为绝缘件的材料,较传统的以二氧化硅为绝缘层,介电常数相差不大,甚至部分高于二氧化硅,绝缘性好。
- 填充方法结构
- [实用新型]一种电池抗压性能检测装置-CN202123072160.1有效
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田刚;高金强;王春柱;王宗忠;栾文双
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山东泰一新能源股份有限公司
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2021-12-08
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2022-06-07
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G01N3/12
- 本实用新型涉及电池检测的技术领域,特别是涉及一种电池抗压性能检测装置,其通过设置自动排废机构,便于自动将检测后报废的电池排出,无需人员手动清理,避免人员误触电池中的重金属,提高清理效率,提高使用便利性;包括底座、安装基板、压力测试机构和自动排废机构,安装基板固定安装在底座上,压力测试机构固定安装在底座上,自动排废机构固定安装在安装基板上;自动排废机构包括置物板、摆动转轴、铰接片、第一气缸座板、第一气缸、气缸杆、滚轮支架、举升滚轮和排废口,置物板上对称固定安装有两组摆动转轴,安装基板上固定安装有两组铰接片,置物板通过摆动转轴摆动安装在铰接片上,第一气缸座板固定安装在安装基板上。
- 一种电池抗压性能检测装置
- [实用新型]一种可拆卸组合式锂电池组-CN202021647172.5有效
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田刚;朱建兵;王宗忠;王春柱
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山东泰一新能源股份有限公司
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2020-08-10
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2021-04-09
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H01M50/204
- 本实用新型公开了一种可拆卸组合式锂电池组,包括电池盒、边角电池盒与加高电池盒,电池盒相对的两侧设置固定座,固定座的两侧布置有导电片,电池盒两侧分别设置有凸块,凸块内设置有两个固定槽,固定槽内设置有导电板,导电片、导电板与电池盒内的锂电池连接。边角电池盒是在电池盒的基础上将一侧的凸块、固定槽与固定座顺时针旋转90°形成,边角电池盒左半部分的下部布置固定槽、凸块与固定座形成加高电池盒。它在固定座插入固定槽后有四处导电板紧贴导电片,能够使电路传输稳定;通过边角电池盒与加高电池盒可以实现锂电池组竖直方向的扩展;每个电池盒的两侧都设置有正负电极,通过电池盒之间不同的组合可以实现串联和并联的变换。
- 一种可拆卸组合式锂电池
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