[发明专利]一种LED衬底晶片加工切削液制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及蓝宝石加工多线切割技术领域，具体地说是一种LED衬底晶片加工切削液制备方法。

背景技术

蓝宝石Sapphire，又称白宝石，是人造单晶材料，分子式为Al2O3，为六方晶体结构。硬度极高(莫氐硬度：9.2～9.4)、耐高温、耐磨损、抗腐蚀和透光波段宽(光谱范围：0.3～6μm)的优质光功能材料。具有集优良光学性能、物理性能和化学性能的独特结合体。作为最硬(单晶纯度≥99.99％，硬度9mohs)的氧化物晶体，蓝宝石由于其光学和物理特性而被运用于各种要求苛刻的领域。蓝宝石可以在高温下保持其高强度、优良的热属性和透过率。它有着很好的热特性，极好的电气特性和介电特性，并且防化学腐蚀。随着科学技术的迅猛发展，蓝宝石(Al2O3)晶体已经成为现代工业，尤其是微电子及光电子产业极为重要的基础材料。

随着节能减排及绿色能源的提出，作为制作发光器件衬底的蓝宝石切削液加工成为人们研究的焦点，为了满足蓝宝石光学器件发展的需求，蓝宝石多线切削技术成为急待解决的重要问题。

发明内容

本发明的目的是为克服现有技术的不足，提供了一种LED衬底晶片加工切削液制备方法，本发明方法制备切削液，无污染绿色环保，对设备无腐蚀作用。

本发明采用的技术方案是：本发明的切削液由分散剂、悬浮剂、光滑剂、三乙醇胺、亚硝酸钠、F溶液、去离子水所构成，各组分按质量百分比分别为分散剂10～20％，悬浮剂10～15％，光滑剂15～25％，三乙醇胺15～20％，亚硝酸钠10～15％，F溶液10～20％，去离子水5～10％。

所述分散剂为三乙基己基磷酸、十二烷基硫酸钠、甲基戊醇中的一种。

所述悬浮剂为羟丙基甲基纤维素钠、氰乙基纤维素钠、苄基氰乙基纤维素钠中的一种。

所述光滑剂为十烷基二甲基一氯甲硅烷、九烷基三甲基二氯乙硅烷、八烷基五甲基四氯丙硅烷中的一种。

本发明的制备方法步骤如下：(1)将容器清洗二遍然后将去离子水倒入到洗净的容器内；

(2)将分散剂、悬浮剂、光滑剂、三乙醇胺、亚硝酸钠、F溶液按一定的比例分别加入到容器内搅拌15分钟即可；

(3)当使用上述工艺专用切削液，在多线切割过程中能够提高蓝宝石衬底晶片的质量、效率从而节约生产成本，又达到提高劳动生产率的目的。

本发明的有益效果是：(1)本发明方法制备切削液，无污染绿色环保，对设备无腐蚀作用；

(2)产品质量提升：减少晶片表面线痕，BOW、TTV、WARP、能够控制在10um以内；

(3)稳定性好：在切割时能够减少金刚线损耗，使产品长时间保持稳定的切削速率；

(4)低成本：加工时间缩短了，提高了效率，成本更低。

具体实施方式

实例1：先将容器清洗2遍，然后将10％去离子水倒入到洗净的容器内；将10％三乙基己基磷酸、15％羟丙基甲基纤维素钠、15％十烷基二甲基一氯甲硅烷、20％三乙醇胺、10％亚硝酸钠、20％F溶液分别加入到洗净的容器内搅拌15分钟即可得到切削液；当使用上述工艺专用切削液，在多线切割过程中能够提高蓝宝石衬底晶片的质量、效率从而节约生产成本，又达到提高劳动生产率的目的。

实例2：先将容器清洗2遍，然后将5％去离子水倒入到洗净的容器内；将15％十二烷基硫酸钠、12％氰乙基纤维素钠、20％九烷基三甲基二氯乙硅烷、18％三乙醇胺、15％亚硝酸钠、15％F溶液分别加入到洗净的容器内搅拌15分钟即可得到切削液；当使用上述工艺专用切削液，在多线切割过程中能够提高蓝宝石衬底晶片的质量、效率从而节约生产成本，又达到提高劳动生产率的目的。

实例3：先将容器清洗2遍，然后将8％去离子水倒入到洗净的容器内；将20％甲基戊醇、10％苄基氰乙基纤维素钠、25％八烷基五甲基四氯丙硅烷、15％三乙醇胺、12％亚硝酸钠、10％F溶液分别加入到洗净的容器内搅拌15分钟即可得到切削液；当使用上述工艺专用切削液，在多线切割过程中能够提高蓝宝石衬底晶片的质量、效率从而节约生产成本，又达到提高劳动生产率的目的。