[发明专利]沉积源组件和有机层沉积设备

说明书

本申请要求于2011年8月2日提交到韩国知识产权局的第10-2011-0076990号韩国专利申请的权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用被完全包含于此。

技术领域

本发明的一个或多个方面涉及一种沉积源组件、一种有机层沉积设备和一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法，更具体地讲，涉及一种可以简单地应用于大规模制造大尺寸显示装置并且提高了制造良率的有机层沉积设备以及一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法。

背景技术

与其它显示装置相比，有机发光显示装置具有更大的视角、更好的对比度特性和更快的响应速度，因此作为下一代显示装置而备受关注。

有机发光显示设备通常具有包括阳极、阴极及设置在阳极和阴极之间的发射层的堆叠结构。当分别从阳极和阴极注入的空穴和电子在发射层中复合并由此发射光时，所述设备显示彩色图像。然而，仅采用这种结构难以实现高发光效率，因此可以在发射层和每个电极之间另外设置包括电子注入层、电子传输层、空穴传输层、空穴注入层等的中间层。

然而，很难以精细图案形成诸如发射层和中间层的有机薄膜。另外，红色、绿色和蓝色的发光效率会根据发射层和中间层而改变。因此，很难通过利用相当的有机层沉积设备来执行大面积的有机薄膜的图案化。因此，制造具有满意的驱动电压、电流密度、亮度、色纯度、发光效率和寿命特性的大尺寸的有机发光显示设备受到限制。因此，急需解决这个图案化问题。

上面描述的背景技术是本申请的发明人为了获得本发明已经实现或者是在获得本发明的过程中已经实现的技术信息。因此，该背景技术不能被认为是在申请本发明之前已经对公众公开的背景技术。

发明内容

本发明的实施例的方面涉及一种沉积源组件、一种可以简单地应用于大规模生产大尺寸的显示装置并且提高制造良率和沉积效率的有机层沉积设备、以及一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法。

根据本发明的实施例，提供了一种沉积源组件，所述沉积源组件包括：第一沉积源，用于排放沉积材料；第二沉积源，堆叠在第一沉积源上，第二沉积源用于排放与第一沉积源排放的沉积材料不同的沉积材料；第二沉积源喷嘴单元，设置在第二沉积源的面对沉积目标的侧面，并且包括多个第二沉积源喷嘴；第一沉积源喷嘴单元，设置在第二沉积源的面对沉积目标的侧面，并且包括形成为穿过第二沉积源的多个第一沉积源喷嘴。

可以从第一沉积源排放主体材料，可以从第二沉积源排放掺杂剂材料。

可以从第一沉积源排放掺杂剂材料，可以从第二沉积源排放主体材料。

包含在第一或第二沉积源中的主体材料的量可以大于包含另一个沉积源中的掺杂剂材料的量。

第二沉积源的温度可以保持为比第一沉积源的温度高。

多个第一沉积源喷嘴和多个第二沉积源喷嘴可以在第二沉积源的面对沉积目标的侧面按行布置并且可以交替布置。

多个第一沉积源喷嘴和多个第二沉积源喷嘴可以在第二沉积源的面对沉积目标的侧面按行布置，多个第一沉积源喷嘴中的每个第一沉积源喷嘴可以同心地包括在多个第二沉积源喷嘴中的对应的第二沉积源喷嘴中。

根据本发明的另一实施例，提供了一种用于在基底上形成有机层的有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的侧面并且包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为面对沉积源喷嘴单元并且包括多个图案化缝隙。所述沉积源包括第一沉积源和堆叠在第一沉积源上的第二沉积源。沉积源喷嘴单元包括：第二沉积源喷嘴单元，设置在第二沉积源的面对基底的侧面，第二沉积源喷嘴单元包括多个第二沉积源喷嘴；第一沉积源喷嘴单元，设置在第二沉积源的面对基底的侧面，第一沉积源喷嘴单元包括形成为穿过第二沉积源的多个第一沉积源喷嘴。基底设置为与有机层沉积设备分开设定距离，以相对于有机层沉积设备运动。

可以从第一沉积源排放主体材料，可以从第二沉积源排放掺杂剂材料。

可以从第一沉积源排放掺杂剂材料，可以从第二沉积源排放主体材料。

包含在第一或第二沉积源中的主体材料的量可以大于包含另一个沉积源中的掺杂剂材料的量。

第二沉积源的温度可以保持为比第一沉积源的温度高。

多个第一沉积源喷嘴和多个第二沉积源喷嘴可以在第二沉积源的面对基底的侧面按行布置并且可以交替布置。