[发明专利]发光装置的制作方法及有机层的形成方法有效
申请号: | 201210022683.1 | 申请日: | 2012-01-20 |
公开(公告)号: | CN102544391A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 陈英杰;翁照钦 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李琳;张龙哺 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 装置 制作方法 有机 形成 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种装置的制作方法及膜层的形成方法,尤其涉及一种发光装置的制作方法及有机层的形成方法。
背景技术
电激发光装置(electroluminescent device)是一种可将电能转换成光能且具有高转换效率的半导体装置,其常见的用途为指示灯、显示面板以及光学读写头的发光装置等。其中,由于有机发光装置具备如无视角问题、工艺简易、低成本、高应答速度、使用温度范围广泛与全彩化等特性,因此符合多媒体时代显示器特性的要求,可望成为下一代的平面显示器的主流。
有机发光装置包括阳极、有机发光层以及阴极。有机发光装置的发光原理是将空穴、电子分别由阳极、阴极注入至有机发光层。当电子与空穴在有机发光层中相遇时,会进行再结合而形成光子(photon),进而产生放光的现象。为了提升有机发光装置的发光效率,通常会在阳极与有机发光层之间配置空穴注入层与空穴传输层,以及在阴极与有机发光层之间配置电子注入层与电子传输层。也就是说,阳极与阴极之间可以配置有多个有机功能层,这些有机功能层可以是依序堆叠于阳极上的空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子注入层以及电子传输层。
上述的有机功能层通常是采用掩模蒸镀法来形成,但此方法具有价格昂贵与不适合大规模制造的缺点,因此有人提出使用印刷等技术来取代掩模蒸镀法。印刷技术是先将有机材料溶解于挥发性溶剂中,再将含有有机材料的溶液涂布于基板上,接着使溶剂挥发以形成包括有机材料的有机功能层。然而,由于多个有机功能层通常是彼此堆叠且接触,因此用以形成后续有机功能层的溶剂有可能会因与已形成的有机功能层接触而彼此互溶,进而影响有机发光装置的元件特性。由于有机功能层的材料种类繁多,因此大幅增加了制作有机功能层的困难度与复杂度。
发明内容
本发明提供一种发光装置的制作方法,能简化有机功能层的工艺。
本发明另提供一种有机层的形成方法,其具有简单的工艺。
本发明提出一种发光装置的制作方法,其包括以下步骤。提供包含第一电极层的基板。提供第一有机薄膜溶液,其包括第一有机材料、第一固体载质以及第一溶剂,其中第一固体载质具有升华性,且第一溶剂使第一有机材料与第一固体载质混合。使用第一有机薄膜溶液以于第一电极层上形成第一有机薄膜。移除第一溶剂与移除第一固体载质以形成包括第一有机材料的第一有机功能层。于第一有机功能层上形成第二电极层。
本发明另提出一种有机层的形成方法,其包括以下步骤。提供有机薄膜溶液,其包括有机材料、固体载质以及溶剂,其中固体载质具有升华性,且溶剂使有机材料与固体载质混合。涂布有机薄膜溶液以于基材上形成有机薄膜。去除有机薄膜中的溶剂以形成固态膜。使固态膜中的固体载质升华,以形成包括有机材料的有机层。
基于上述,在本发明中,使用包括有机材料、具有升华性的固体载质以及溶剂的有机薄膜溶液来制作有机薄膜,而后借由移除溶剂及移除固体载质,以形成包括有机材料的有机功能层或有机层。如此一来,可简化有机功能层或有机层的工艺,且使包括此有机功能层或有机层的装置(诸如发光装置)具有良好的元件特性。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合所附附图作详细说明如下。
附图说明
图1A至图1C是根据本发明第一实施例的有机层的形成方法的流程剖面示意图。
图2A至图2E是根据本发明第二实施例的发光装置的制作方法的流程剖面示意图。
图3A至图3G是根据本发明第三实施例的发光装置的制作方法的流程剖面示意图。
图4A至图4G是根据本发明第四实施例的发光装置的制作方法的流程剖面示意图。
其中,附图标记说明如下:
10:基材
20:有机薄膜
30:固态膜
40:有机层
100、100a、100b:发光装置
102:基板
110、150:电极层
120、130:有机薄膜
122、132:固态膜
124、134:有机功能层
140:缓冲层
具体实施方式
【第一实施例】
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