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[发明专利]在边缘光刻胶去除过程中减少晶圆缺陷的方法及晶圆结构-CN200910146319.4有效
发明人：舒强;胡华勇 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-06-19 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种在边缘光刻胶去除(EBR，Edge Bead Removal)过程中减少晶圆缺陷的方法及晶圆结构，该方法包括：在晶圆衬底上涂敷底部防反射涂层后进行EBR；涂敷含硅的底部防反射涂层后进行EBR；涂敷光刻胶涂层后进行EBR；涂敷顶部涂层后进行EBR，所述涂敷含硅的底部防反射涂层后进行EBR得到的覆盖面积，大于涂敷底部防反射涂层后进行EBR得到的覆盖面积。
边缘光刻去除过程减少缺陷方法结构

[发明专利]筛选2,4-表油菜素内酯缓解玉米幼苗盐胁迫最佳浓度的方法-CN202210292744.X在审
发明人：彭云玲;白明兴;姬祥卓;庄泽龙;王银霞;张云芳 -专利权人：甘肃农业大学
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： A01G22/20 文献下载
摘要：本发明涉及农业技术技术领域，具体为筛选2，4‑表油菜素内酯缓解玉米幼苗盐胁迫最佳浓度的方法，包括材料收集、配制EBR处理液、种子精选及消毒、浸种、盐胁迫试验、测定项目与测定方法、结果分析。本发明以1份盐敏感玉米自交系为试材，添加6种不同浓度外源EBR后，研究了不同浓度的EBR处理对盐胁迫下玉米幼苗形态指标和生理指标的影响；在此基础上，采用隶属函数法客观、综合评价了不同外源EBR缓解盐胁迫的效果本发明提供的方法操作简便易行，重复性好，可为今后了解外源EBR对不同作物盐胁迫的缓解效果提供参考，并为玉米快速筛选EBR浓度和高效应用EBR缓解盐胁迫提供技术参考，具有很高的应用价值。
筛选油菜内酯缓解玉米幼苗胁迫最佳浓度方法

[实用新型]涂胶机的EBR喷嘴挡片装置及涂胶机-CN201220335832.5有效
发明人：徐哲峰;施建;陈伯良 -专利权人：上海华虹NEC电子有限公司
申请日： 2012-07-11 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： B05B15/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂胶机的EBR喷嘴挡片装置及带有EBR喷嘴挡片装置的涂胶机，该EBR喷嘴挡片装置包括L型挡片，L型挡片包括长边部和短边部；所述L型挡片的长边部设置有不少于一个连接槽。本实用新型通过为EBR喷嘴加装遮挡装置，能够有效防止EBR喷嘴发生异常时溶剂反溅导致制品异常的情况发生。
涂胶 ebr 喷嘴装置

[发明专利]光刻工艺中用于晶圆去胶过程中同时进行胶盘清洗的方法-CN202211123950.4在审
发明人：盛况;任娜;熊丹妮;徐弘毅;王珩宇 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2022-09-15 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了光刻工艺中用于晶圆去胶过程中同时进行胶盘清洗的方法，包含将晶圆放置于载台上并固定，电机控制载台旋转带动所述晶圆进行一定速度的旋转，同时EBR喷嘴移动至晶圆的圆心处并从晶圆上方向下喷EBR，EBR喷嘴移动至晶圆边缘继续向下喷出EBR,喷出的EBR随晶圆快速旋转离开晶圆表面至胶盘侧壁，与胶盘侧壁上残胶发生溶解反应后从底部排废流走。
光刻工艺用于晶圆去胶过程同时进行清洗方法

[发明专利]一种基于EBR工艺的生态化系统及排放的污水处理方法-CN202211277486.4在审
发明人：焦阳 -专利权人：青岛万慧源环保科技有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C02F3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于EBR工艺的生态化系统及排放的污水处理方法，涉及污水处理技术领域，针对现有的污水处理效果有限的问题，现提出如下方案，其包括EBR生化处理模块，所述EBR生化处理模块包括生化池，所述生化池的内侧设置有EBR填料、微生物菌、有机物、曝气机构，所述有机物悬浮在生化池的内侧，所述微生物菌设置在EBR填料的内部，所述曝气机构位于生化池的底部，本发明通过EBR填料可以增强生物活性和生物总量，利用生物协调作用提高转碳率
一种基于 ebr 工艺生态系统排放污水处理方法

[实用新型]一种基于EBR工艺的生态化系统-CN202022291641.0有效
发明人：王志农;欧阳少华;华南;刘飞 -专利权人：深圳市绿洲生态科技有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于EBR工艺的生态化系统，根据所述基于EBR工艺的生态化系统使出水水质可稳定达到《地表水环境质量标准(GB3838‑2002)》的Ⅲ类水质标准，所述系统适用于有高标准排放要求的污水处理项目，所述基于EBR工艺的生态化系统包括预处理单元、EBR生化处理单元及后处理单元，所述EBR生化处理单元内设置有用于形成污水上下导流的植物系统、根系仿生填料及曝气装置，由此通过EBR生化处理单元提高污水处理效率
一种基于 ebr 工艺生态系统

[发明专利]2,4-表油菜素内酯提高甜瓜幼苗耐热性的栽培方法-CN201010560812.3无效
发明人：张永平;陈幼源;杨少军;陈绯翔 -专利权人：上海市农业科学院;上海科园种子有限公司
申请日： 2010-11-26 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： A01G1/00 文献下载
摘要：本发明为一种提高设施甜瓜幼苗耐热性的栽培方法，其特征在于：所述的提高甜瓜幼苗耐热性是经过基质培养条件下通过根施2，4-表油菜素内酯(EBR，一类重要的植物生长调节剂)方法实现的。根施不同浓度外源物质EBR的基础上，通过测定相关指标，筛选最佳的EBR浓度的方法得到高温胁迫下幼苗期生长势强的壮苗，筛选出的EBR最佳浓度为1.0mg·L-1；所用的栽培形式为基质栽培，通过根施外源物质EBR手段有效的解决了夏季高温胁迫导致甜瓜苗期生长势弱的问题。
油菜内酯提高甜瓜幼苗耐热性栽培方法

[实用新型]一种EBR挡板-CN201320017864.5有效
发明人：李玉华 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2013-01-14 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种EBR挡板，包括一板体和设于所述板体同一侧面的至少一条导流槽，不仅可以对EBR清洗溶剂进行防溅，还可以防止清洗溶剂沿挡板的滴落。本实用新型的EBR挡板，通过增加导流槽，将设有导流槽的EBR挡板侧面置于清洗溶剂喷嘴侧，便于回溅的有机溶剂向晶圆外流，杜绝了有机溶剂对圆晶的污染，省却了设备维护，保证了生产效率。
一种 ebr 挡板

[发明专利]一种基于EBR工艺的生态化系统及基于地表水Ⅲ排放的污水处理方法-CN202011101147.1在审
发明人：王志农;欧阳少华;华南;刘飞 -专利权人：深圳市绿洲生态科技有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于EBR工艺的生态化系统及基于地表水Ш排放的污水处理方法，根据所述基于EBR工艺的生态化系统及基于地表水Ш排放的污水处理方法出水水质可稳定达到《地表水环境质量标准(GB3838‑2002)》的Ⅲ类水质标准，所述系统及方法适用于有高标准排放要求的污水处理项目，所述基于EBR工艺的生态化系统包括预处理单元、EBR生化处理单元及后处理单元，所述EBR生化处理单元内设置有用于形成污水上下导流的植物系统、根系仿生填料及曝气装置，由此通过EBR生化处理单元提高污水处理效率，提高有机污染物与微生物的接触效率及溶氧的利用率，进一步地，使出水水质可稳定达到《地表水环境质量标准(GB3838‑2002)》的Ⅲ类水质标准
一种基于 ebr 工艺生态系统地表水排放污水处理方法

[发明专利]油菜素内酯浸种缓解玉米不同逆境胁迫伤害的方法-CN201410656527.X有效
发明人：彭云玲;闫慧萍;赵小强;武博洋 -专利权人：甘肃农业大学
申请日： 2014-11-18 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： A01C1/00 文献下载
摘要：本发明属于农业应用技术领域，具体涉及外源24-表油菜素内酯浸种缓解玉米盐与低温不同逆境胁迫伤害的方法，步骤是：将种子消毒后进行不同浓度EBR+NaCl溶液的盐胁迫与不同浓度EBR溶液的低温胁迫；之后进行萌发和幼苗生长实验本发明通过分别探讨外源EBR对盐和低温胁迫下玉米种子萌发及幼苗生长的影响，反映出EBR对两种不同逆境下种子和幼苗的胁迫伤害具有缓解作用。本发明表明采用外源物EBR浸种有望成为实践中分别改善玉米在盐胁迫和低温胁迫下耐性的好方法，应用潜力很大；本发明对缓解逆境对植株的伤害，具有很高的应用价值。
油菜内酯浸种缓解玉米不同逆境胁迫伤害方法

[发明专利]一种Windows系统磁盘分区的修复方法-CN201210277142.3有效
发明人：王大彬;徐吉兵 -专利权人：厦门市美亚柏科信息股份有限公司
申请日： 2012-08-06 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： G06F11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种Windows磁盘分区修复方法，该方法依次向后扫描磁盘的未扫描扇区，查找其中的MBR、EBR或DBR信息；若当前扫描到的是DBR则判断其是否是不正确MBR/EBR匹配的DBR 是则丢弃；否则判断该DBR是否是备份DBR，是则丢弃，否则判断该DBR所记录的该分区信息是否正确是则根据该DBR重构与其匹配的MBR/EBR并保存该正确的分区信息；若扫描到的是MBR/EBR，则首先构成分区链，如果该分区链正确则保存该分区链信息，否则判断并保存该MBR/EBR记录的正确的本分区信息；最后在所有扇区扫描完后将已保存的所有正确的分区信息写入磁盘。
一种 windows 系统磁盘分区修复方法

[发明专利]一种提高玉米种子耐深播能力的方法-CN201910296554.3有效
发明人：赵小强;彭云玲;陆晏天;白明兴;徐明霞;姬祥卓;王芳 -专利权人：甘肃农业大学
申请日： 2019-04-13 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： A01C1/00 文献下载
摘要：L‑1的24‑表油菜素内酯（24‑epibrassinolide,EBR）溶液。（2）将灭菌蛭石与相应EBR溶液按5g:1mL比例统一配土后分别装入一种种子深播试验装置的一定高度，并在蛭石上播种相应EBR溶液浸种后的30粒种子，再分别盖3、15、20 cm相应蛭石。播后每隔2 d定量浇40 mL相应EBR溶液，人工气候室萌发10 d后测定18个耐深播相关性状。（3）新定义单个性状的外源EBR耐深播调节指数，采用隶属函数法，综合评价外源EBR对深播胁迫下玉米种子出苗的调节效应，为提高玉米种子的耐深播特性奠定理论基础，为播种到幼苗形态建成期玉米抵御旱灾提供技术支撑
一种提高玉米种子耐深播能力方法

[发明专利]一种提高茄子耐低温性的栽培方法-CN201210420850.8无效
发明人：吴雪霞;查丁石;李贤;朱宗文 -专利权人：上海市农业科学院;上海科园种子有限公司
申请日： 2012-10-29 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： A01G7/06 文献下载
摘要：本发明为一种提高设施茄子耐低温性的栽培方法，其特征在于：所述的耐低温性茄子是经过基质培养条件下通过喷施2，4表油菜素内酯(EBR，一类重要的植物生长调节剂)方法实现的。通过喷施不同外源物质EBR浓度的基础上，选择最佳的EBR浓度的方法来得到耐低温性强且幼苗期生长势强的壮苗，筛选出的最佳浓度为0.05mg·L^-1；茄子为耐低温性弱的设施品种。通过喷施外源物质EBR手段有效的解决了设施茄子耐低温性较弱且苗期生长势较弱的问题。
一种提高茄子低温栽培方法

[发明专利]根施外源物质2，4表油菜素内酯提高茄子耐盐性的栽培方法-CN201010225485.6无效
发明人：吴雪霞;查丁石;李贤;朱宗文 -专利权人：上海市农业科学院
申请日： 2010-07-13 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： A01G7/06 文献下载
摘要：本发明为一种提高设施茄子耐盐性的栽培方法，其特征在于：所述的耐盐性茄子是经过基质培养条件下通过根施2，4表油菜素内酯(EBR，一类重要的植物生长调节剂)方法实现的。通过根施不同外源物质EBR浓度的基础上，选择最佳的EBR浓度的方法来得到耐盐性强且幼苗期生长势强的壮苗，筛选出的最佳浓度为0.05mg·L-1；茄子为耐盐性弱的设施品种。所用的栽培形式基质栽培。通过根施外源物质EBR手段有效的解决了设施茄子耐盐性较弱且苗期生长势较弱的问题。
根施外源物质油菜内酯提高茄子耐盐性栽培方法

[实用新型]一种Lam‑sabre系列机台EBR洗边宽度调校模组-CN201720586640.4有效
发明人：罗灿 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体生产制造设备领域，具体涉及一种Lam‑sabre系列机台EBR洗边宽度调校模组，其包括模组箱1、设置在模组箱1上的齿轮驱动移动机构2、设置在模组箱1内的旋转齿轮、设置在模组箱1内对旋转齿轮的旋转圈数进行计数的齿轮圈数计数器本实用新型具有以下优点1、提高EBR宽度的调校精度；2、免去切换EBR后的monitor程，提高机台uptime；3、直观显示当前chamber的EBR洗边宽度，便于制程工程师管控机台状态。
一种 lam sabre 系列机台 ebr 宽度调校模组

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