专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]梯度组合阻挡-CN200980145949.8无效
  • 马克·A·勒里希;艾伦·K·纳赫蒂加尔;弗雷德·B·麦考密克 - 3M创新有限公司
  • 2009-11-02 - 2011-10-12 - B32B27/06
  • 本发明总体上涉及具有降低的水蒸气透射率的阻挡组件,以及用于制备所述阻挡组件的方法。所述阻挡组件包括基底和邻近所述基底设置的无机层。所述无机层具有贯穿所述无机层的厚度发生变化的组合。所述组合至少包含第一无机材料和第二无机材料,并且所述组合中所述第一无机材料和所述第二无机材料的相对比率贯穿所述无机层的厚度发生变化。本发明提供了一种用于制备所述阻挡组件的方法,所述方法包括双AC溅射具有不同元素组成的靶对。
  • 梯度组合阻挡
  • [实用新型]测试结构-CN201320804312.9有效
  • 郭君 - 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
  • 2013-12-09 - 2014-06-04 - H01L23/544
  • 本实用新型提出了一种测试结构,包括多晶硅,形成于多晶硅表面的多个硅化金属阻挡以及硅化金属,其中,所述硅化金属阻挡之间具有预定间距,所述硅化金属形成于所述硅化金属阻挡之间。在多晶硅的表面形成多个硅化金属阻挡以及硅化金属,由于所述硅化金属形成于硅化金属阻挡之间,即将所述硅化金属阻挡分开,通过测量所述硅化金属的电阻值便能够监测到硅化金属阻挡是否存在微小的偏差,从而提高监测的精确度
  • 测试结构

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