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- [发明专利]镀覆装置-CN202180006280.5在审
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富田正辉
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株式会社荏原制作所
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2021-11-09
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2023-07-11
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C25D7/12
- 本发明提供镀覆装置,包括:镀覆槽,其构成为收容镀覆液;基板支架,其构成为保持被镀覆面(Wf‑a)朝向下方的基板(Wf);以及升降机构,其构成为使基板支架升降。基板支架包括:支承机构(460),其构成为支承基板(Wf)的被镀覆面(Wf‑a)的外周部;背板组件(470),其配置于基板(Wf)的被镀覆面(Wf‑a)的背面侧,并构成为与支承机构(460)一起夹持基板(Wf);以及剥离机构(471),其构成为将使基板(Wf)从背板组件(470)剥离的力施加于基板(Wf)的被镀覆面(Wf‑a)的背面。
- 镀覆装置
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