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[其他]树脂基板构造体-CN201690001161.5有效
发明人：大坪喜人;南匡晃 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-09-14 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H05K3/36 文献下载
摘要：树脂基板构造体(101)具备：第1构件(51)，具有第1金属膜(13)，包含1层的热塑性树脂层(2)或者2层以上的热塑性树脂层(2)的层叠体(1)；和第2构件(52)，具有第2金属膜(14)。在第1金属膜(13)的至少一部分与第2金属膜(14)的至少一部分相互重叠的状态下接合。在第1金属膜(13)与第2金属膜(14)接合的界面，为第1金属膜(13)与第2金属膜(14)冶金结合的状态。第1构件(51)具备第1接合部树脂覆盖部(15)，其是热塑性树脂层(2)在第1金属膜(13)与第2金属膜(14)重叠的部分重叠的部分，在第1接合部树脂覆盖部(15)的表面，设置有用于抑制超声波振动的滑动的凹凸
金属膜热塑性树脂层树脂基板构造体树脂覆盖部接合部接合本实用新型超声波振动冶金结合层叠体滑动

[发明专利]半导体装置的制造方法-CN200610143658.3无效
发明人：东雅彦;久米聪;由上二郎;山成真市;丸山隆弘;菅野至 -专利权人：株式会社瑞萨科技
申请日： 2006-10-27 - 公布日： 2007-05-02 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体装置的制造方法，即使将金属膜加工，也可抑制在该金属膜下面形成的绝缘膜的减膜。在本发明的半导体装置的制造方法中，在栅极绝缘膜(3)上形成构成栅电极的金属膜(4)。然后，在加工该金属膜(4)时，通过使用预定药水的湿蚀刻处理来除去该金属膜(4)的一部分。
半导体装置制造方法

[发明专利]超导薄膜、采用共沉积的制备方法、超导转变边沿探测器、应用-CN202111426732.3有效
发明人：徐骁龙;李劲劲;王雪深;陈建;钟青;钟源;曹文会;王仕建 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2021-11-27 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H10N60/01 文献下载
摘要：该超导薄膜包括超导金属膜层、合金膜层和正常态金属膜层，所述合金膜层的合金包括所述超导金属膜层中的超导金属与所述正常态金属膜层中的正常态金属，所述合金膜层层叠设置于所述超导金属膜层与所述正常态金属膜层之间合金膜层的引入不仅能够有效降低超导薄膜的超导转变温度，还能够用于在维持该超导薄膜整体的热容不变的情况下调控超导薄膜整体的超导转变温度。
超导薄膜采用沉积制备方法转变边沿探测器应用

[发明专利]一种柔性模芯结构的可降解血管支架注塑加工方法-CN202010749187.0有效
发明人：仇天阳;姜巍;汪弘俊;周天丰;赵文祥;颜培;梁志强;刘志兵;解丽静;焦黎;王西彬 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： B29C45/00 文献下载
摘要：本发明公开一种柔性模芯结构的可降解血管支架注塑加工方法，涉及血管支架加工技术领域，包括以下步骤：步骤一、将一个柔性金属膜卷在一根金属棒上，对柔性金属膜施加向内的弯曲应力；步骤二、将柔性金属膜与金属棒固定，在柔性金属膜表面加工可降解血管支架的互补结构；步骤三、将加工好的柔性金属膜和金属棒的配合体与注塑机的模套相装配，进行注塑加工；步骤四、注塑结束，取下柔性金属膜和金属棒的配合体以及在柔性金属膜表面注塑成形的可降解血管支架，进行冷却，将金属棒和柔性金属膜拆开，抽出金属棒，再取下柔性金属膜，获得成形后的可降解血管支架。
一种柔性结构降解血管支架注塑加工方法

[发明专利]金属膜转印用膜、金属膜的转印方法和电路板的制造方法-CN200880006689.1无效
发明人：奈良桥弘久;中村茂雄;横田忠彦 -专利权人：味之素株式会社
申请日： 2008-02-28 - 公布日： 2010-01-06 - 主分类号： H05K3/18 文献下载
摘要：本发明提供具有优异的金属膜层转印性的金属膜转印用膜、以及使用该金属膜转印用膜有效地制造电路板的方法。一种金属膜转印用膜，其特征在于：该金属膜转印用膜具有支撑体层；设置在该支撑体层上的由选自水溶性纤维素树脂、水溶性聚酯树脂和水溶性丙烯酸树脂中的1种以上水溶性高分子形成的脱模层；和形成在该脱模层上的金属膜层一种电路板的制造方法，该方法包括下述工序：以使金属膜层与固化性树脂组合物层表面邻接的方式，在基板上的固化性树脂组合物层上重合层叠上述金属膜转印用膜，并使固化性树脂组合物层固化的工序；剥离支撑体层的工序；和将存在于金属膜层上的脱模层用水溶液溶解除去的工序。
金属膜转印用膜方法电路板制造

[发明专利]一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置-CN202210239151.7在审
发明人：赵乐;褚卫国;闫兰琴;宋志伟;董凤良;陈佩佩;田毅;胡海峰;徐丽华 -专利权人：国家纳米科学中心
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本发明提供一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置。其中，该方法包括：预先确定硅衬底、介质膜以及金属膜组成的第三体系，并利用光谱椭偏仪测量所述第三体系中金属膜的椭偏参量；根据所述第三体系中金属膜的椭偏参量的特征峰出现的波长位置选择相应的目标波长范围；在所述目标波长范围内，基于所述金属膜的椭偏参量、所述介质膜的光学常数和厚度数据，确定所述金属膜的光学常数和厚度数据。采用本发明公开的利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法，能够有效提高利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的精度和灵敏度。
一种利用光谱椭偏仪检测金属膜方法装置

[发明专利]金属膜光学检测装置和检测方法-CN201410321113.1有效
发明人：柴立;张正义;陈一翔 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2014-07-07 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及金属膜光学检测装置和检测方法。该装置包括承载器，在承载器的第一位置设置有斜朝向金属膜和基板的光源，在承载器的第二位置设置有接受来自金属膜或基板的反射光束的光敏感应器，处理来自光敏感应器的光信号的分析单元。分析单元根据入射光束与承载器之间的夹角、对应于金属膜的第一反射光斑与光源之间的第一长度、对应于基板的第二反射光斑与光源之间的第二长度而得到金属膜的厚度。使用这种金属膜光学检测装置能够以不与金属膜接触的方式测量金属膜的厚度，测量精度高。
金属膜光学检测装置方法

[发明专利]透明导电玻璃及其表面电阻升高方法-CN202210166902.7有效
发明人：吴倩颖;顾文灏;赵乐;陈君;周凯;丁洋;卢礼呈 -专利权人：江苏铁锚玻璃股份有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C03C17/06 文献下载
摘要：表面电阻升高方法，其包括以下步骤：于玻璃的表面形成金属膜层；于金属膜层的部分区域形成多个孔洞，其中通过调节金属膜层的部分区域内多个孔洞的截面积而调节对应区域的表面电阻。透明导电玻璃包括玻璃和金属膜层，金属膜层设置于玻璃的表面，金属膜层的部分区域具有多个均匀分布的孔洞。本申请通过在金属膜层的部分区域设置多个孔洞，由于金属膜层的对应区域被分散腐蚀，使得该区域的膜层整体电阻实现了升高，实现提高该区域的表面电阻，如此可以减少镀膜膜层的返工次数，提高镀膜膜层的合格率。
透明导电玻璃及其表面电阻升高方法

[发明专利]一种金属膜层沉积方法和金属膜层沉积设备-CN201710536931.7有效
发明人：何中凯;荣延栋;刘菲菲;夏威;丁培军 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-07-04 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种金属膜层沉积方法和金属膜层沉积设备。该金属膜层沉积方法用于通过磁控溅射沉积方法在基片表面的外延层上沉积金属膜层，包括：在预设时间内，向靶材加载射频功率，在外延层上沉积金属缓冲层；向靶材加载直流功率，直至在外延层上沉积预定厚度的金属膜层。该金属膜层沉积方法，通过在沉积开始的预设时间内向靶材加载射频功率，能够在相同输入功率下使靶材上的负偏压显著降低，靶材电压的降低能减小金属膜层沉积过程中溅射粒子对基片表面外延层的损伤；从而使外延层与金属膜层之间形成良好的欧姆接触，提升LED芯片的良率；通过后续阶段向靶材加载直流功率，能提高金属膜层的沉积速率，提高LED芯片的产能。
一种金属膜沉积方法设备

[发明专利]附金属膜的衬底的分断方法-CN201880069057.3在审
发明人：村上健二 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： H01L21/301 文献下载
摘要：本发明提供一种可良好分断附金属膜的衬底的方法。本发明的分断附金属膜的衬底的方法具备：通过在特定的分断预定位置对设有金属膜的第1主表面侧进行刻划而形成划线，分断金属膜且使垂直裂缝沿分断预定位置向衬底内部延展的步骤；及使裂断杆从未设金属膜的第2主表面侧与附金属膜的衬底抵接而使垂直裂缝进一步延展，由此，在分断预定位置分断附金属膜的衬底的步骤。
金属膜衬底方法

[实用新型]合金金属膜玻璃臭氧发生管-CN200320131475.1无效
发明人：朱汉衡 -专利权人：朱汉衡
申请日： 2003-12-05 - 公布日： 2004-12-29 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：一种合金金属膜玻璃臭氧发生管，包括外玻璃管、内玻璃管和管座，外玻璃管外壁上和内玻璃管内壁上都镀有合金金属膜，两管同轴组装进管座，两合金金属膜之间隔着两层玻璃并形成均匀的间隙。合金金属膜作为电极，在合金金属膜上接上高频高压电源，在这样的间隙中产生电晕放电产生臭氧，以空气作气源时，几乎不衍生氮氧化物。由于是合金金属膜，克服了普通氧化金属膜存在的缺陷，使用寿命长。
合金金属膜玻璃臭氧发生

[发明专利]高精度金属薄膜直流电导率测试方法-CN202110020905.5在审
发明人：王志勇;马伟皓;杨思源;王世斌;李林安 -专利权人：天津大学
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01N23/02 文献下载
摘要：一种高精度金属薄膜直流电导率测试方法，包括：将金属膜基材料置于预先设定的测试环境中；沿所述金属膜基材料的厚度方向朝其表面的发射太赫兹波；根据金属膜基材料的类型和厚度，调节太赫兹波的参数；接收所述太赫兹波穿过金属膜基材料有膜区域和无膜区域后的首波参考和第一回波的信号；根据无膜区域的首波参考和第一回波的信号的傅里叶变换结果获得金属膜基材料的基板的精确复折射率；接收所述太赫兹波穿过所述金属膜基材料有膜区域的首波实验信号；根据所述首波参考信号和首波实验信号获得金属膜基材料的膜基和纯基板的实验透射系数比值；基于菲涅尔系数构造穿过测试环境的金属膜基材料有膜区域和无膜区域后的太赫兹波首波的理论光谱密度函数和误差函数；利用所述函数求得金属膜基材料的薄膜的电导率。
高精度金属薄膜直流电导率测试方法

[发明专利]一种超薄金属膜及其制备方法和应用-CN202210356275.3在审
发明人：马东旭;陈艺勤;段辉高 -专利权人：湖南大学
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明公开一种超薄金属膜的制备方法，包括如下步骤：提供靶金属及衬底，在所述衬底的表面沉积对所述靶金属具有浸润性的缓冲层，其中所述靶金属为以三维岛状模式生长的金属；获取所述靶金属在所述衬底上刚好形成完整连续薄膜的厚度阈值，使用薄膜沉积方法在所述衬底表面沉积一层厚度大于或等于厚度阈值的靶金属膜；在高真空状态下，采用离子束斜角刻蚀方法将惰性气体离子束以一定角度刻蚀所述靶金属膜表面，使所述靶金属膜表面的金属原子逸出，反向减薄至厚度小于厚度阈值，完成超薄金属膜的制备。本发明的超薄金属膜的制备方法可以制备厚度小于成膜厚度阈值的超薄金属膜。本发明还提供一种超薄金属膜及其应用。
一种超薄金属膜及其制备方法应用

[发明专利]表面具有金属抗菌复合膜的金属制品及其制造方法-CN202110820488.2在审
发明人：吴慧钏 -专利权人：吴慧钏
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：一种表面具有金属抗菌复合膜的金属制品，包括金属制品基体，其特征在于：所述金属制品基体的表面上包覆有内氮化金属膜层，内氮化金属膜层上包覆有中间氮化金属膜层，中间氮化金属膜层上包覆有外氮化金属膜层；内氮化金属膜层所含的金属材料为铬、钛、锆、银、铜和锡中的一种或其中多种的组合；中间氮化金属膜层所含的金属材料为银、铜、锡、铬、钛和锆中的一种或其中多种的组合；外氮化金属膜层所含的金属材料为铬、钛和锆中的一种或其中多种的组合。本发明还提供上述表面具有金属抗菌复合膜的金属制品的一种制造方法。本发明的金属制品表面上具有金属抗菌复合膜，该金属抗菌复合膜使金属制品具有优异的抗菌性能，以及优良的耐磨性和耐腐蚀性。
表面具有金属抗菌复合金属制品及其制造方法

[实用新型]拼装式保温壳体-CN202122965622.6有效
发明人：徐成才 -专利权人：太仓清源保温科技有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： F16L59/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种拼装式保温壳体，包括层状堆叠的内层金属膜、保温层、外层金属膜，所述内层金属膜与所述外层金属膜在保温层的边缘封边并且固定连接，在所述外层金属膜处缝制有拉索，相邻保温壳体间通过拉索对接，所述内层金属膜的内侧贴附有多根磁吸条
拼装保温壳体