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[发明专利]退火腔进气装置-CN201910784371.6在审
发明人：代迎伟;杨宏超;金一诺;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C21D1/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种退火腔进气装置，包括供气管路、多条供气支路、多个散气腔以及进气筒，每个散气腔由一条供气支路与供气管路连通，所述进气筒的一端与供气支路的出气口相连并位于所述散气腔内，所述进气筒的侧壁上开有多个散气孔本发明通过每个散热腔内增加一个用于缓冲均布工艺气流的进气筒，解决了现有装置内工艺气体一下子涌入散气腔内，无法在散气腔内均匀分布后均匀进入退火腔的问题，保证了退火腔内工艺气体的均匀性。
退火腔进气装置

[发明专利]退火腔进气装置-CN201910784408.5在审
发明人：代迎伟;金一诺;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C22F1/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种退火腔进气装置，包括供气管路、多条供气支路、多个散气腔和多个气流控制楔子，每个散气腔通过一条供气支路与供气管路相连通，每个供气支路与供气管路之间安装有一个气流控制楔子；气流控制楔子包括固定端和导气管本发明使用一个混气模块供应多个退火腔体的工艺气体，减少了成本以及设备体积，通过在退火腔进气装置上增加气流控制楔子，在工艺过程中通过更换不同内管径的气流控制楔子，达到多个腔体的气流均匀稳定，实现了工艺稳定
退火腔进气装置

[发明专利]腔室进气结构以及反应腔室-CN201811550798.1在审
发明人：徐刚;张军;郑波;马振国 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种腔室进气结构以及反应腔室，其中的腔室进气结构包括：设置在腔室上盖上的连接件装置和设置在腔室内的喷气盘；连接件装置设置有第一混合腔，喷气盘设置有第二混合腔；多种不反应气体在第一混合腔中进行混合，混合气体通过第一混合气体通道、第二混合气体通道进入腔室内；反应气体通过第一反应气体通道、第二反应气体通道并经过第二混合腔进入腔室内。本发明的腔室进气结构以及反应腔室，能够避免发生反应的气体与其他反应气体在进入腔室前进行混合；将不直接反应的两种其他反应气体提前混合均匀，发生反应的气体通过匀流板和喷气板进行两次匀流，达到提高反应气体的在硅片上方混合和扩散均匀性的目的
反应气体进气结构混合腔腔室反应腔室进入腔反应气体通道混合气体通道连接件装置喷气盘室内扩散均匀性混合气体气体通过直接反应喷气板匀流板种腔室硅片上盖

[实用新型]腔室进气结构以及反应腔室-CN201822125785.1有效
发明人：徐刚;张军;郑波;马振国 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种腔室进气结构以及反应腔室，其中的腔室进气结构包括：设置在腔室上盖上的连接件装置和设置在腔室内的喷气盘；连接件装置设置有第一混合腔，喷气盘设置有第二混合腔；多种不反应气体在第一混合腔中进行混合，混合气体通过第一混合气体通道、第二混合气体通道进入腔室内；反应气体通过第一反应气体通道、第二反应气体通道并经过第二混合腔进入腔室内。本实用新型的腔室进气结构以及反应腔室，能够避免发生反应的气体与其他反应气体在进入腔室前进行混合；将不直接反应的两种其他反应气体提前混合均匀，发生反应的气体通过匀流板和喷气板进行两次匀流，达到提高反应气体的在硅片上方混合和扩散均匀性的目的
反应气体进气结构混合腔腔室反应腔室进入腔反应气体通道混合气体通道本实用新型连接件装置喷气盘室内扩散均匀性混合气体气体通过直接反应喷气板匀流板种腔室硅片上盖

[发明专利]喷油器进油横腔夹具-CN202111224725.5在审
发明人：孙立晶;田丙奇;毛立伟;居钰生 -专利权人：上海电机学院
申请日： 2021-10-21 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： F02M65/00 文献下载
摘要：本发明提供一种喷油器进油横腔夹具，包括一喷油器安装座、一横腔安装块、两紧固螺栓和一通用进油横腔；喷油器安装座沿竖直方向形成有一喷油器安装孔、两导向孔、两槽孔和一通槽；导向孔间隔设置于喷油器安装孔两侧的前端且导向孔的前端形成开口；通用进油横腔通过横腔安装块和紧固螺栓可沿导向孔调节位置并可转动地连接于喷油器安装座上。本发明的一种喷油器进油横腔夹具，能够根据喷油器进油孔的高度和角度灵活调节进油横腔的安装位置和安装角度，适配多种不同规格尺寸的喷油器，减少为不同规格尺寸喷油器设计、加工专用进油横腔夹具而投入的经济成本和时间成本
喷油器进油横腔夹具

[实用新型]汽车进气谐振腔-CN200420105656.1无效
发明人：刘振宇;殷西军;赵玲;陈荣军;张建辉 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2004-12-15 - 公布日： 2006-01-25 - 主分类号： F02M35/104 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种汽车进气谐振腔，包括腔体、进气管路和出气管路，还于腔体内设置分管路，进气管、出气管管路延伸汇接于腔体内，构成汇接管路，汇接管路中设置有汇接出口与该分管路连接贯通。由此延长管路的长度，增加发动机整个进气系统的长度，在发动机中低转速段提高充气效率，在降低发动机进气噪声的同时，又提高了车辆动力性与经济性，达到容积较大的谐振腔起到的作用。
汽车谐振腔

[发明专利]常温高频腔进腔功率测量装置及方法-CN201911408866.5有效
发明人：王云;刘华昌;戴建枰;李阿红;吴小磊;李波;陈强;樊梦旭;瞿培华;谢哲新;慕振成 -专利权人：散裂中子源科学中心
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G01R21/00 文献下载
摘要：本发明公开一种常温高频腔进腔功率测量装置及方法，其装置包括依次连接的功率源、环形器、定向耦合器、功率耦合器和高频腔，功率源、环形器之间、定向耦合器和功率耦合器之间通过波导传输线依次连接；环形器上设有吸收负载，高频腔设有耦合环，定向耦合器上设有测反射功率计和测前向功率计。其方法是先通过测量高频腔的场幅信号、相位角信号以及耦合度，计算出高频腔的入口反射系数；然后测量定向耦合器的反射功率和前向功率，并利用入口反射系数的幅度值计算出从定向耦合器至高频腔入口的功率衰减系数；最后利用功衰减系数计算高频腔入口处的前向功率、反射功率以及实际进腔功率。本发明可在高功率下精确测量高频腔的入腔功率。
常温高频腔进腔功率测量装置方法

[实用新型]车辆进气谐振腔、车辆进气管及车辆-CN201420424887.2有效
发明人：岳志强;许林倩;范江涛;谭博剑;杨远志;张剑平 -专利权人：长城汽车股份有限公司
申请日： 2014-07-30 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： F02M35/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种车辆进气谐振腔、车辆进气管及车辆，其中该车辆进气谐振腔设置在车辆进气管上且与所述进气管连通，包括谐振腔本体，其中该车辆进气谐振腔还包括：处理装置，所述处理装置从车辆发动机接收发动机转速信号，并根据所接收的发动机转速信号生成并输出调整所述谐振腔的频率的信号；以及谐振腔调节装置，与所述处理装置连接，所述谐振腔调节装置从所述处理装置接收调整所述谐振腔的频率的信号并根据该信号调节谐振腔的容积以调整所述谐振腔的频率通过在车辆中设置上述的车辆进气谐振腔，能够消除不同的发动机转速阶次产生的阶次噪声。
车辆谐振腔气管

[实用新型]汽车的进气谐振腔及进气系统-CN201520669729.8有效
发明人：王晓东;牛浩龙 -专利权人：北京汽车股份有限公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： F02M35/12 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种汽车的进气谐振腔及进气系统。该汽车的进气谐振腔包括：用于与发动机进气主管连接的外连接管，谐振腔壳体，隔板及锥形内连接管；外连接管与谐振腔壳体连通，隔板沿垂直于外连接管的方向固定设置于谐振腔壳体内，以将谐振腔壳体内部分隔为不同的腔体该汽车的进气谐振腔实现了对进气噪声的两个问题频率进行调校的同时减小了内连接管的尺寸，使内连接管能够顺利的布置在进气谐振腔的腔体内。
汽车谐振腔系统

[发明专利]一种进气稳压腔-CN201510827460.6在审
发明人：唐中;黄雅婷;韩龙章;杨润岱 -专利权人：重庆普什机械有限责任公司
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： F02M35/10 文献下载
摘要：本发明公开一种进气稳压腔，包括腔体(1)，在所述腔体(1)的前壁底端设置有进气口(2)，在所述腔体(1)的侧壁顶端设置有出气口(3)，在所述腔体(1)的后壁上还设置有防爆阀(4)，所述防爆阀(4)位于所述进气口有益效果，安全性能高，防爆能力强，安装简单，稳定效果好，结构设计合理，避免了进气干扰和较大的气压波动。
一种稳压

[发明专利]进气装置及反应腔室-CN201910138374.2在审
发明人：王乐;柳朋亮 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种进气装置及反应腔室，包括进气本体和喷嘴，进气本体的上端面设有环形凹道，在进气本体的环形凹道处设置有安装孔，喷嘴中设置有进气孔，喷嘴可拆卸的安装在安装孔中，且进气孔与环形凹道连通。本发明提供的进气装置及反应腔室能够方便的对进气装置进行清理，降低进气装置的维护成本。
装置反应

[发明专利]进气装置及反应腔室-CN202110477358.3在审
发明人：秦海丰;史小平;兰云峰;王勇飞;张文强;王昊;任晓艳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开一种进气装置及反应腔室，反应腔室包括腔室本体和喷淋头，喷淋头设置于腔室本体的顶部，进气装置用于和喷淋头连通，进气装置包括第一管道和进气组件；第一管道用于与喷淋头相连通，第一管道的侧壁开设有第一通孔，第一管道的进气端用于通入第一反应气体或清洗气体；进气组件包括组件本体，组件本体套设于第一管道的外侧，组件本体内具有环绕第一管道的至少两个通道，组件本体的外侧设有第二通孔，第二通孔与其相邻近的通道相连通上述方案能够解决反应腔室的清洗效果较差的问题。
装置反应

[发明专利]进气机构及反应腔室-CN201510685731.9有效
发明人：赵隆超 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2015-10-19 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种进气机构及反应腔室，包括喷嘴、楔形件、上密封组件和下密封组件，其中，喷嘴安装在腔室盖板的安装孔内，该喷嘴的外周壁下部环绕设置有第一楔形部，且在安装孔靠近腔室盖板的上表面处形成有第二楔形部。下密封组件用于对喷嘴与腔室盖板之间的间隙进行密封。本发明提供的进气机构，其可以避免高温环境下喷嘴相对于反应腔室的密封失效、松动等的问题。
机构反应

[发明专利]进气装置及反应腔室-CN200710119581.0有效
发明人：南建辉;宋巧丽 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2007-07-26 - 公布日： 2009-01-28 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种进气装置及反应腔室。反应腔室的侧壁与上盖之间设有进气装置，进气装置为环状，内部设有环形空腔，进气装置的外侧壁上设有至少一个进气口；进气装置的内侧壁上设有多出气口。工艺气体可通过进气装置的进气口和出气口从侧面进入反应腔室，可以有效的改进进气方式，既能使气流在反应腔室内分布均匀，减少由于气流分布不匀对工艺结果的影响，又能使工艺气体充分反应，降低成本。
装置反应

[发明专利]进气组件及反应腔室-CN201510781116.8有效
发明人：李兴存;韦刚;成晓阳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2015-11-13 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种进气组件及反应腔室，其设置在反应腔室内的顶部，且包括进气板，以及间隔分布在该进气板中的多个进气件，其中，进气件采用绝缘材料制作，且与进气板可拆卸地连接，并且在进气件中设置有进气孔，用以向反应腔室内输送工艺气体本发明提供的进气组件，其不仅可以提高工艺均匀性和工艺稳定性，而且还可以降低设备的使用成本。
进气组件进气板进气件反应腔室反应腔室内工艺均匀性工艺稳定性工艺气体间隔分布降低设备绝缘材料地连接进气孔可拆卸制作

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