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[发明专利]承载装置及半导体工艺腔室-CN202111144662.2有效
发明人： 任晓艳;翟浩;郑波;兰云峰;王勇飞;秦海丰;张文强;王昊 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本申请公开了一种承载装置及半导体工艺腔室，涉及半导体装备领域。一种承载装置，应用于半导体工艺设备的工艺腔室，该承载装置包括：承载座本体、导电件和设置于承载座本体内部的第一电极，所述第一电极用于与接地装置连接；所述承载座本体设有承载面，用于承载晶圆，且与所述晶圆绝缘；所述导电件的一端与第一电极电性连接，另一端用于与所述承载座本体承载的所述晶圆接触，以将所述晶圆上产生的电荷通过所述第一电极接地释放。一种半导体工艺腔室，包括上述承载装置。本申请能够解决电荷积聚导致晶圆不易脱离承载座本体以及晶圆上薄膜致密度均匀性差等问题。
承载装置半导体工艺

[发明专利]一种生殖抗体检测设备-CN202310236473.0在审
发明人：韦三华;王晓红;刘芳;任晓艳;刘梦昕;谢小娟;程芳;常振华 -专利权人：中国人民解放军空军军医大学
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01N1/40 文献下载
摘要：本发明属于抗体检测技术领域，具体涉及一种生殖抗体检测设备，包括安装壳体与离心装置，所述离心装置转动安装在安装壳体内部；所述离心装置底部通过设置的动力马达可拆卸式安装在安装壳体内部，所述动力马达顶部依次转动连接有连接罩、第一安装套与中心柱，所述第一安装套与连接罩一体设置，所述连接罩整体呈圆弧形的罩状；所述中心柱外侧套接有第二安装套，所述第二安装套侧面铰接有多个均匀分布的试管套，所述试管套底端通过设置的防抖弹片与连接罩上表面滑动连接，所述试管套内部开设有用于插接试管的安装槽。本发明，能够增加离心机在长时间的使用的稳定性，增强设备的稳定性。
一种生殖抗体检测设备

[发明专利]半导体加工腔室和半导体加工设备-CN202310485120.4在审
发明人：王歆銘;李浩东;郭浩;翟浩;迟文凯;任晓艳;王昊 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体加工腔室和半导体加工设备，涉及芯片加工技术领域，为解决现有半导体加工腔室中反应腔室射频能量损耗和干扰的问题而设计。半导体加工腔室包括：由相对设置的腔底壁和腔体屏蔽罩形成的外腔体，位于外腔体内的至少一个反应腔室，与各个反应腔室分别对应的导电连接件，导电连接件用于电连接位于外腔体外部的射频电源；反应腔室包括：相对且间隔设置的上电极和下电极以及上电磁屏蔽罩，上电磁屏蔽罩位于上电极上方以屏蔽上电极的至少部分表面；导电连接件穿过上电磁屏蔽罩与上电极电连接。本发明提供的半导体加工腔室可以减少工艺进行时反应腔室射频能量损耗和干扰。
半导体加工设备

[实用新型]一种远程灯光控制装置-CN202320220179.6有效
发明人： 任晓艳 -专利权人：深圳市欣博莱特科技有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种远程灯光控制装置，涉及灯光控制技术领域，包括箱体，所述箱体的外侧设置有箱门，所述箱门的外侧贯穿设置有散热孔，所述箱体的内部一侧设置有固定板，所述固定板的一侧设置有电机，所述固定板的另一侧设置有散热架。本实用新型通过安装架、连接架、散热风扇、散热架和防护网的共同作用下，使得对控制装置内长时间工作的电子元件进行散热，以防因过热导致控制装置损坏而影响使用，通过横向支架、连接支架、固定孔和连接螺母的共同作用下，使得智能控制器可以固定安装在内部，防止其晃动导致控制器损坏，通过第一卡座、防护板、第二卡座、防尘板、遮雨罩和散热网的共同作用下，防止灰尘进入导致内部零件损坏。
一种远程灯光控制装置

[实用新型]一种城市灯光照明监控防盗箱-CN202320068019.4有效
发明人： 任晓艳 -专利权人：深圳市欣博莱特科技有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种城市灯光照明监控防盗箱，具体涉及照明监控防盗箱技术领域，包括箱体和箱盖，所述箱盖设在箱体顶部，所述箱体内部安装有控制组件，所述箱体内部设有监控组件，用于箱体的防盗，所述监控组件包括两个摄像头，两个摄像头顶端安装有长板。本实用新型通过电机驱动长板上的两个摄像头缓慢旋转，摄像头透过钢化玻璃拍摄箱体四周的画面，起到监控防盗的作用，并将画面传输到处理器中储存，四个照明灯照亮箱体周围的环境，便于监控拍摄的清晰度，箱体内的处理器可以控制城市的灯光照明以及监控，并且使用两个摄像头进行实时监控，当其中一个摄像头损坏后，另一个摄像头可以继续监控，提高箱体的防盗性。
一种城市灯光照明监控防盗

[实用新型]一种远程城市照明监控装置-CN202223484923.8有效
发明人： 任晓艳 -专利权人：深圳市欣博莱特科技有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G03B15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种远程城市照明监控装置，涉及监控技术领域，包括主支架，所述主支架的顶部一侧安装有安装箱，所述安装箱的一侧安装有摄像头，所述安装箱的顶部安装有照明装置、安装箱的底部安装有除虫装置，所述主支架的底部一侧安装有通讯装置，所述主支架的顶端安装有遮雨棚、所述主支架的底端安装有支撑座。本实用新型通过安装照明装置，使得照明装置可以对一个范围内进行多角度照射，辅助摄像头进行监控，使监控调查过程速度提高，通过安装除虫装置，可以在照明装置和摄像头使用时减少蚊虫在其附近聚集，使得设备上吸附的脏污减少，通过安装安装通讯装置，可以使得工作人员在遇到特殊情况时，沟通汇报便捷。
一种远程城市照明监控装置

[发明专利]半导体工艺装置及其射频匹配方法-CN202310486849.3在审
发明人：王昊;秦海丰;翟浩;张文强;任晓艳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种应用于半导体工艺装置的射频匹配方法，包括控制每个射频电源按照预设射频功率进行输出，以使腔体内启辉并生成等离子体；检测反射至射频电源的反射功率；调节匹配器，使反射功率与预设射频功率的比值小于反射比例阈值；获取当前各工艺腔室的射频电极的射频电极电压信号；确定各工艺腔室对应的峰峰值之间的差异是否在设定范围内；如不在设定范围内，将最大的峰峰值作为参考峰峰值；则增大峰峰值小于参考峰峰值的工艺腔室对应的射频功率，并转向执行检测反射功率的步骤，直到各工艺腔室对应的峰峰值之间的差异在设定范围内。本发明提供的方法能够保证多个工艺腔室之间射频馈入功率的匹配精度。本发明还提供一种半导体工艺装置。
半导体工艺装置及其射频匹配方法

[实用新型]半导体腔室-CN202222527470.6有效
发明人： 任晓艳;王勇飞;兰云峰;郑波 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体腔室包括腔体、基座和升降机构，基座设置于腔体中，升降机构用于带动基座在腔体内升降；腔体具有环绕腔体内壁设置的第一密封环面，基座外缘设有第二密封环面，基座能够分隔腔体的内部形成工艺腔和传输腔。第一密封面和第二密封面中的一者沿远离腔室本体底部的方向逐渐靠近腔体的轴线。基座上升的过程中逐渐靠近顶盖组件，因而第一密封面和第二密封面的间距逐渐缩小，升降机构持续对基座施加向上的推力可使第一密封面和第二密封面之间压紧密封。由于采用了沿靠近顶盖组件的方向渐缩的结构，第一密封面和第二密封面对加工精度的要求降低，升降机构对基座施加较小的推力即可使第一密封面和第二密封面之间形成较好的密封效果。
半导体

[发明专利]一种方形海绵的切割装置-CN202110419342.7有效
发明人： 任晓艳 -专利权人：安吉极客园家具有限公司
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B26D1/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种切割装置，尤其涉及一种方形海绵的切割装置。本发明的技术问题是：提供一种切口整齐，且不造成废屑的方形海绵的切割装置。技术方案：一种方形海绵的切割装置，包括有底座、海绵、刀具、夹紧组件、升降组件和切削组件；底座顶部中间放置有海绵，底座底部右侧设有夹紧组件，底座顶部后侧设有升降组件，升降组件前侧设有切削组件，切削组件下部设有刀具。本发明通过夹紧组件对海绵进行固定，使用刀具对海绵快速切割，达到了切口整齐的效果；本发明通过升降组件与切削组件使方形刀具同时向下移动，对海绵进行切割，不同于手工切割需要每切割一面，需要对另一面进行修改，以此产生废屑，如此达到了不造成废屑的效果。
一种方形海绵切割装置

[发明专利]一种基于负多项分布的机器人码垛规划方法-CN202310511721.8在审
发明人： 任晓艳;滕树军;元鑫;安建业;马新阳 -专利权人：天津商业大学;天津七所高科技有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于负多项分布的机器人码垛规划方法，包括以下步骤：提取工件码垛的特征参数，构建工件到来的概率模型；结合实际需求构建目标函数，形成工件到来概率的最优化模型；求解最优化模型，确定不等式组的最优解；根据不等式组的最优解，增加码垛筐和RGV小车。本发明可以利用现有生产条件经济地实现多个工件的机器人码垛、装筐。
一种基于多项分布机器人码垛规划方法

[发明专利]针对高陡断层附近内幕潜山的变速成图方法-CN202111290827.7在审
发明人：刘惠民;贾光华;房亮;李继岩;谢燕;余海洋;程荣;任晓艳;田俊平 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司胜利油田分公司勘探开发研究院
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01V1/50 文献下载
摘要：本发明提供一种针对高陡断层附近内幕潜山的变速成图方法，该针对高陡断层附近内幕潜山的变速成图方法包括：步骤1，确定潜山内幕地层及其上覆地层的平均地层速度v1，v2；步骤2，确定潜山顶面t1及潜山内幕目的层顶面t2的时间域解释层位；步骤3，确定高陡断层、潜山内幕断层所有的断层断面资料；步骤4，进行潜山顶面解释层位的处理；步骤5，确定潜山目的层深度层位。该针对高陡断层附近内幕潜山的变速成图方法实现了高陡断层附近速度差异较大地层的层位控制，提供了一种操作简便、应用广泛的高陡断层附近内幕潜山的变速成图方法，为潜山内幕油气高效勘探提供了新的技术手段。
针对断层附近内幕潜山速成方法

[发明专利]一种大规模等截面现浇箱梁快速移动支模体系及施工方法-CN202211655579.6在审
发明人：黎洪安;唐祥红;刘建军;叶富存;马万龙;石麟;冷丽艳;刘函廷;任晓艳;苏碧玉 -专利权人：中建四局贵州投资建设有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： E01D21/00 文献下载
摘要：本发明关于一种大规模等截面现浇箱梁快速移动支模体系及施工方法，涉及桥梁工程中现浇箱梁施工技术领域。包括：地基、混凝土基础、钢支墩、墩顶横梁、卸落装置和支撑结构，混凝土基础浇筑于地基上，钢支墩安装在混凝土基础上，墩顶横梁安装在钢支墩顶端，卸落装置底端安装在墩顶横梁上，顶端与支撑结构相连接。本发明可适用于墩高不大于15m的等截面现浇箱梁施工，具有地基处理工程量小、支架用钢量小、搭设和安拆工程量小工期短、施工成本低等优点。
一种大规模截面现浇箱梁快速移动体系施工方法

[发明专利]一种红螯螯虾孵化阶段幼苗集成装置-CN202211601010.1在审
发明人： 任晓艳;郑继文;葛根坤 -专利权人：湖州越彬智能科技有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： A01K61/17 文献下载
摘要：本发明属于水产养殖设备技术领域，尤其是涉及一种红螯螯虾孵化阶段幼苗集成装置，包括收集箱，所述收集箱中固定设置有多个刷毛，所述收集箱上固定连接有支撑架，且支撑架上滑动连接有与收集箱相配合的盖板，所述支撑架上设置有与盖板相配合的升降调控机构，且支撑架上设置有与升降调控机构相配合的驱动机构，所述盖板的下侧固定连接有两个固定杆，且两个固定杆共同固定连接有繁殖分离箱，所述收集箱的一侧固定设置有框架，且框架上固定设置有净水机构和营养液间歇导送机构。本发明可以在红螯螯虾养殖水体变差时，自动对水体进行过滤净化，同时可以自动为水体混入红螯螯虾生长所需营养液，保证水体品质。
一种红螯螯虾孵化阶段幼苗集成装置

[实用新型]半导体工艺设备及其承载装置-CN202221286799.1有效
发明人：秦海丰;王昊;迟文凯;王勇飞;兰云峰;郑波;任晓艳;张文强;于树泉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本申请公开了一种半导体工艺设备及其承载装置，属于半导体工艺技术。该半导体工艺设备的承载装置包括：承载盘，表面具有第一容置空间，以用于承载第一尺寸的晶圆；空间限位环，与承载盘进行可拆卸连接，用于对第一容置空间进行限位形成第二容置空间，第二容置空间用于承载第二尺寸的晶圆。本申请提供了一种可兼容承载至少两种尺寸的晶圆来进行相应的半导体工艺处理的承载装置，并在半导体工艺设备采用上述结构的承载装置时，无需大量切换硬件的前提下，使至少两种尺寸的晶圆可以快速切换生产，以有效提高该半导体工艺设备的灵活性和利用率的同时，大大降低切换生产过程中的工作量，避免对晶圆生产节拍的影响。
半导体工艺设备及其承载装置

[发明专利]工艺腔室用控温装置及方法、工艺腔室-CN201810992939.9有效
发明人：邹传巍;任晓艳;杨晓凯 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种工艺腔室用控温装置、控温方法和工艺腔室。包括第一测温单元，用于测量测温窗的当前温度；第二测温单元，用于测量硅片的当前温度；第一温度控制单元，用于将测温窗的当前温度与预设的测温窗目标温度进行比较，当两者不一致时，调整测温窗的当前温度，以使得两者一致。能够有效避免因测温窗温度过低出现的反应气体在测温窗内凝结的现象以及因温度过高出现的反应气体在测温窗内发生化学沉积的现象，提高测量硅片的温度的准确性。
工艺腔室用控温装置方法

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