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[发明专利]一种裂片用预处理设备以及裂片方法-CN202310142518.8在审
发明人：方举宝 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供一种裂片用预处理设备以及裂片方法，裂片用预处理设备包括承载部和引导痕形成部，承载部用于承载待处理的半导体结构，引导痕形成部用于在半导体结构的表面形成引导痕，引导痕用于在裂片时引导半导体结构沿引导痕裂开本公开中的裂片用预处理设备能够在对半导体结构裂片前，于半导体结构上形成引导痕，以使得后续裂片时引导半导体结构沿引导痕裂开，由于有引导痕辅助裂片，使得半导体结构能够准确的在期望的位置裂片，保证得到的半导体结构的截面的垂直度，且能够实现较小尺寸目标靶点的精确裂片。另外，由于预先设置了引导痕，后续裂片刀无需较大的力即可实现对半导体结构的裂片，从而避免裂片刀与半导体结构碰撞产生崩痕。
一种裂片预处理设备以及方法

[实用新型]一种电池片裂片弧段结构-CN202122635319.X有效
发明人：周润民;徐立钢;封士清;宋真通 -专利权人：环晟新能源（江苏）有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本实用新型提供一种电池片裂片弧段结构，包括裂片弧段，用于切割并分离大尺寸电池片；裂片底座，裂片弧段的一端嵌入连接于裂片底座上，裂片底座用于承载裂片弧段；垫层，设置于裂片底座下端，用于垫高裂片弧段结构，使大尺寸电池片平稳裂开，减少裂片不良及隐裂。本实用新型的有益效果是解决了目前使用的裂片弧段结构在对大尺寸电池片进行切割时，经常会有裂片不良、隐裂现象发生，降低大尺寸电池片的切割成品率的问题，提供一种电池片裂片弧段结构，在裂片底座下方增加垫层的设计，将整个裂片弧段结构垫高，使在对大尺寸电池片进行切割时，大尺寸电池片能够平稳裂开，减少裂片不良和隐裂现象的发生，提高大尺寸电池片的切割成品率和生产效率。
一种电池裂片结构

[发明专利]一种裂片装置-CN202110078590.X有效
发明人：侯煜;李曼;张喆;王然;张昆鹏;岳嵩;石海燕;薛美;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-01-20 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种裂片装置，该裂片装置包括支撑结构、运动平台、第一裂片组件及第二裂片组件。通过设置两套裂片组件，其中一套裂片组件中的裂片台具有凸起曲面，用于对晶圆上的所有切割道进行裂片，以提高裂片效率。另一套裂片组件通过第一裂片头及第二裂片头一次对一条切割道进行裂片，在第一裂片组件裂片后，存在切割道没有完全裂片时，采用第二裂片组件对没有完全裂片的切割道进行裂片，使晶圆上的所有切割道都完全裂片。且两套裂片组件在裂片过程中，都不接触晶圆，不会对晶圆表面的微电路结构造成损坏；晶圆的折弯方向比较一致，防止晶圆切割道两侧的侧壁发生碰撞，防止晶圆的切割道崩边、晶圆的金属层断裂等不良缺陷，提高产品良率。
一种裂片装置

[发明专利]切割与裂片集成设备，以及切割与裂片控制方法-CN202010433125.9在审
发明人：万章;朱旺;杨撷成 -专利权人：上海柏楚电子科技股份有限公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： B23P23/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种切割与裂片集成设备，以及切割与裂片控制方法，切割与裂片集成设备，包括：横梁、至少一个Y轴结构、切割结构、裂片结构与控制装置；所述横梁横跨于所述至少一个Y轴结构的上侧，所述切割结构与所述裂片结构沿Y轴方向位于所述横梁的两侧；所述控制装置分别电连接所述Y轴结构、所述裂片结构与所述切割结构；所述Y轴结构上设有用于安置加工对象的工件台。
切割裂片集成设备以及控制方法

[发明专利]一种激光裂片装置-CN202010722463.4在审
发明人：吴勇平;陆昱成;董岱 -专利权人：苏州科韵激光科技有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光裂片装置。该激光裂片装置包括：激光器和透镜裂片单元，透镜裂片单元位于激光器的出光路径上；透镜裂片单元包括凸起结构，凸起结构位于透镜裂片单元背离工件载台一侧；凸起结构包括凸形曲面，凸形曲面位于凸起结构背离透镜裂片单元；激光器发出的光束经过裂片透镜单元后形成椭圆形光束出射至工件载台。在本发明实施例中，通过在激光器的出光路径上设置凸起结构，保证激光器出射的光线经凸起结构后形成椭圆形光束，避免激光直接入射至玻璃能量比较集中对玻璃造成损伤。
一种激光裂片装置

[实用新型]一种TEM平面样品的定位裂片装置-CN201920904324.6有效
发明人：蔡齐航;谢亚珍;郭语柔 -专利权人：宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2019-06-17 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本实用新型提供一种TEM平面样品的定位裂片装置，包括：承载平台；设于所述承载平台上的裂片针，沿待裂片材料的待裂片位置设置于所述待裂片材料的底部位置，所述待裂片材料上设有与所述待裂片位置在同一直线上的裂缝，且所述裂缝指向所述待裂片位置，通过所述裂缝快速定位所述裂片针的位置和方向，在裂片过程中，用手按压所述待裂片位置的两侧，所述裂缝自然沿着所述待裂片位置继续分裂。本实用新型结构简单，操作方便，能够快速且精准的定位裂片，且保证待裂片位置处的裂缝光滑平直，裂片质量好、效率高。
一种 tem 平面样品定位裂片装置

[实用新型]一种激光裂片装置-CN202021483392.9有效
发明人：吴勇平;陆昱成;董岱 -专利权人：苏州科韵激光科技有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光裂片装置。该激光裂片装置包括：激光器和透镜裂片单元，透镜裂片单元位于激光器的出光路径上；透镜裂片单元包括凸起结构，凸起结构位于透镜裂片单元背离工件载台一侧；凸起结构包括凸形曲面，凸形曲面位于凸起结构背离透镜裂片单元；激光器发出的光束经过裂片透镜单元后形成椭圆形光束出射至工件载台。在本实用新型实施例中，通过在激光器的出光路径上设置凸起结构，保证激光器出射的光线经凸起结构后形成椭圆形光束，避免激光直接入射至玻璃能量比较集中对玻璃造成损伤。
一种激光裂片装置

[发明专利]光伏电池裂片方法及裂片设备-CN202010868964.3在审
发明人：卜海建;高敏达;马建峰 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;常熟阿特斯阳光电力科技有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种光伏电池裂片方法及裂片设备，其中裂片方法包括：将表面具有激光划线槽的光伏电池移动至裂片装置正上方的预设距离处，使所述激光划线槽与裂片装置的裂片部相对应；释放光伏电池，使其坠落至裂片装置上后沿所述激光划线槽分裂本发明的光伏电池裂片方法基于所述裂片装置来实现，主要是光伏电池在预设距离处坠落过程中接触到裂片装置后由于自身的重力实现裂片的过程，裂片全程不受碎渣的影响，降低产生碎片的概率，从而提升产品的良率。本发明的裂片设备结构简洁，操作简便，易于推广。
电池裂片方法设备

[实用新型]一种泄油器-CN201920585900.5有效
发明人：房新扬;刘志刚;刘星;李云杰 -专利权人：托普威尔石油技术股份公司
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： E21B34/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种泄油器，包括：管状的本体，中空的破裂盘主体，内破裂片，外破裂片；本体径向开设有泄油孔，破裂盘主体外缘与泄油孔密封连接；内破裂片焊接在破裂盘主体上靠近本体内壁的一端；外破裂片焊接在破裂盘主体上靠近本体外壁的一端；内破裂片、外破裂片及二者之间的破裂盘主体内壁形成密封的空气腔。外破裂片从内向外打开时，管柱中的油水混合物直接作用于焊接部位，压力值较低；反之，外破裂片从外向内打开压力值相对较高。通过在破裂盘主体的两端焊接内破裂片和外破裂片的结构，在需要泄油时，内破裂片被打开的同时，外破裂片也被打开，实现管柱泄油，结构简单，使用方便。内破裂片的打开压力恒定，打开压力较低。
破裂片破裂盘泄油孔焊接本实用新型油水混合物从外向内管柱泄油焊接部位径向开设两端焊接密封连接压力恒定主体内壁主体外缘空气腔泄油器中空的管柱外壁泄油密封体内

[实用新型]切割与裂片集成设备-CN202020855365.3有效
发明人：万章;朱旺;杨撷成 -专利权人：上海柏楚电子科技股份有限公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： B23P23/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种切割与裂片集成设备，切割与裂片集成设备，包括：横梁、至少一个Y轴结构、切割结构、裂片结构与控制装置；所述横梁横跨于所述至少一个Y轴结构的上侧，所述切割结构与所述裂片结构沿Y轴方向位于所述横梁的两侧；所述控制装置分别电连接所述Y轴结构、所述裂片结构与所述切割结构；所述Y轴结构上设有用于安置加工对象的工件台。
切割裂片集成设备

[实用新型]一种TEM平面样品的定位裂片装置-CN202021817681.8有效
发明人：严祥平 -专利权人：上海芯愿集成电路技术有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及光电材料的裂片技术领域，且公开了一种TEM平面样品的定位裂片装置，包括定位裂片装置本体，所述定位裂片装置本体包括工作台和操作设备，所述工作台包括固定块、Z轴杆、受力条和底座，所述操作设备包括滑动块、Y轴杆、裂片刀和调节刀片设备，所述裂片装置本体顶部设有待裂片材质，所述待裂片材质包括待裂片位置和标记，所述工作台位于裂片装置本体底部。该TEM平面样品的定位裂片装置，通过裂片装置本体顶部安装有工作台，利用受力条的顶部平整作用，可以使得待裂片材质达到快速定位的有益效果，通过工作台和操作设备进行组装成裂片装置本体，达到了结构简单非专业人员也可使用的有益效果
一种 tem 平面样品定位裂片装置

[实用新型]一种玻璃激光切割机的裂片机构-CN202220683036.4有效
发明人：邹武兵;张德安;聂凯翔 -专利权人：深圳市韵腾激光科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： C03B33/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种玻璃激光切割机的裂片机构，包括支撑平台、裂片输送带、平行设于裂片输送带一侧的边料输送带及设于裂片输送带上方且依次设置的边料裂片机构、短边裂片机构和长边裂片机构，边料裂片机构包括横跨裂片输送带及边料输送带的第一龙门支架、与第一龙门支架滑动连接且能够升降的边料裂片热风刀及设于边料裂片热风刀一侧且能够升降的边料吸嘴；短边裂片机构包括纵向支架及与纵向支架滑动连接的短边裂片热风刀；长边裂片机构包括横跨裂片输送带的第二龙门支架及与第二龙门支架滑动连接且能够升降的长边裂片热风刀本实用新型通过热风刀对产品进行风裂，能够对厚度较大的玻璃实现快速的裂片，而且结构更简单，制造成本更低。
一种玻璃激光切割机裂片机构

[实用新型]一种激光裂片机构-CN201922363969.6有效
发明人：邹武兵;张德安;曾健明 -专利权人：深圳市韵腾激光科技有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种激光裂片机构，包括裂片平台、设于所述裂片平台上的裂片承座及设于所述裂片承座上方的激光裂片机构，所述裂片承座下方设有纵向平移机构，所述激光裂片机构包括裂片支架、设于所述裂片支架上端的激光器、设于所述裂片支架一侧的横向平移机构及设于所述横向平移机构上且与所述激光器光路连接的激光头，所述激光头下端一侧设有用于喷水的喷头。本实用新型通过设置喷头能够更好的将厚度较大的大幅面玻璃裂开，保证加工质量，其结构简单，方便控制，制造成本低。
一种激光裂片机构

[实用新型]光伏电池裂片装置及裂片设备-CN202021801129.X有效
发明人：卜海建;高敏达;马建峰 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;常熟阿特斯阳光电力科技有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光伏电池裂片装置及裂片设备，其中，所述光伏电池裂片装置包括沿水平方向延伸的裂片部、自所述裂片部两侧分别向下且向外倾斜设置的支撑部。通过上述装置，使得光伏电池片与裂片部接触后分成半片，分开的半片和分片时产生的碎渣沿着支撑部下滑，光伏电池片与裂片部接触的过程中，不会受到碎渣的影响，可有效降低裂片过程产生碎片的概率，本实用新型提供的裂片设备利用光伏电池裂片装置来实现裂片的过程，结构简洁，便于操作，易于推广。
电池裂片装置设备

[实用新型]显示面板裂片装置-CN201420357289.8有效
发明人：张云涛;邓俊能;姜成才 -专利权人：成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2014-06-30 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：本实用新型公开一种显示面板裂片装置，涉及显示面板生产技术，解决了现有技术中的裂片方式导致的产品易发生损坏等不良，影响产品正常使用的问题。显示面板裂片装置包括主基台，主基台上设有凹槽；裂片基台，裂片基台可转动的连接在主基台上，且裂片基台上设有定位结构，定位结构用于定位显示面板位置，使显示面板的切割线与主基台和裂片基台的连接处相对应；主压板，主压板设在主基台上方，且主压板与主基台之间存在间隙；压板锁，压板锁包括支架，以及压紧装置；当承载有显示面板的托盘置于凹槽中时，操作人员推送显示面板至定位结构处；主压板压紧显示面板，操作人员控制裂片基台转动，完成裂片操作。
显示面板裂片装置

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