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[发明专利]一种谐振式压力传感器及制作工艺-CN201811339734.7在审
发明人：黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健 -专利权人：罕王微电子（辽宁）有限公司
申请日： 2018-11-12 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： G01L1/10 文献下载
摘要：一种谐振式压力传感器，包括硅晶圆，薄膜部分，谐振部分，谐振部分固定点，背孔，盖帽，吸气剂层，支撑硅层，埋层氧化层，顶层硅薄膜，多晶硅薄膜和氧化层薄膜交替淀积膜；SOI晶圆是由顶层硅薄膜、埋层氧化层和支撑硅层组成；以硅晶圆或是SOI晶圆作为衬底，形成谐振式压力传感器的薄膜部分，或者在SOI晶圆衬底上由顶层硅薄膜和多晶硅薄膜和氧化层薄膜交替淀积膜，形成谐振式压力传感器的薄膜部分。一种谐振式压力传感器的制作工艺，谐振部分是通过淀积外延/多晶硅层实现的，衬底通过刻蚀工艺形成流体进入到薄膜的通道‑谐振式压力传感器的背孔。
谐振式压力传感器薄膜谐振制作工艺顶层硅衬底晶圆多晶硅薄膜埋层氧化层氧化层薄膜淀积膜硅晶圆背孔硅层部分固定多晶硅层刻蚀工艺吸气剂层淀积盖帽流体支撑紧凑

[实用新型]智能办公座椅-CN202121999259.3有效
发明人：杨彦军 -专利权人：中国工商银行股份有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： A47C1/00 文献下载
摘要：智能办公座椅包括坐垫，与坐垫连接的两个扶手，设置于任意一个扶手中的语音播放器及信号接收器；坐垫包括上层定型海绵、薄膜式压力传感器及下层定型海绵，薄膜式压力传感器设置于上层定型海绵与下层定型海绵之间，薄膜式压力传感器与信号接收器电连接，薄膜式压力传感器采集压力信号，并持续将压力信号发送至信号接收器；信号接收器与语音播放器电连接，信号接收器利用所述压力信号，向语音播放器发送语音控制指令。本实用新型通过薄膜式压力传感器持续采集压力信号，结合语音播放器及信号接收器对办公人员进行语音提醒，提醒办公人员规律的起身活动，达到健康工作的目的。
智能办公座椅

[发明专利]支持压力传感器的自校准的传感器网络-CN201610078917.2有效
发明人： D.哈默施密特 -专利权人：英飞凌科技股份有限公司
申请日： 2016-02-04 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明涉及支持压力传感器的自校准的传感器网络。压力传感器系统包括用于基于来自静电力的薄膜偏转或薄膜位移和来自附加传感器的单个参考压力而对传感器参数进行自校准的一个或多个自校准压力传感器。附加传感器具有比自校准传感器更大的准确度水平或范围。传感器参数从电容测量结果和单个压力测量结果导出，其被用于到一个或多个目标值的自校准。
支持压力传感器校准传感器网络

[发明专利]薄膜压力传感器校准装置-CN201811649038.6在审
发明人：许启铿;丁永刚;李学森;刘强;揣君;陈家豪;武书增 -专利权人：河南工业大学
申请日： 2018-12-30 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜压力传感器校准装置，包括装置支架，装置支架包括上层支架和下层支架，下层支架上设置有用于相应薄膜压力传感器放置的放置平面，上层支架上分布有多个校准单元，各校准单元均包括竖向布置的由刚性材料制成的气管，每个气管的下端均设有分别用于对薄膜压力传感器上的对应电极点施压的气囊，气囊由柔性材料制成，气囊与所述气管相通，气管的上端设有内孔与所述气管相通的安装盒，安装盒上设置有压力传感器，各校准单元均具有充气口本发明解决了现有技术中的刚性校准装置容易损伤薄膜压力传感器的问题。
薄膜压力传感器气管校准单元校准装置气囊上层支架下层支架装置支架安装盒相通放置平面刚性材料柔性材料竖向布置上端充气口传感器电极点有压力内孔施压下端损伤

[发明专利]基于压力传感器的儿童乘车安全报警系统-CN201811316509.1在审
发明人：胡晓燕 -专利权人：胡晓燕
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： B60Q9/00 文献下载
摘要：本发明公开了基于压力传感器的儿童乘车安全报警系统,包括薄膜压力传感器、指示灯、温度传感器、模数转换芯片、单片机、报警装置、电路关闭装置和电源，薄膜压力传感器单向通信连接有指示灯和电路关闭装置，指示灯单向通信连接有温度传感器，温度传感器单向通信连接有模数转换芯片，模数转化芯片单向通信连接有单片机，电源电性连接有薄膜压力传感器、温度传感器、模数转换芯片、单片机、报警装置、电路关闭装置和指示灯，本发明通过薄膜压力传感器能够准确监测车内是否有人
指示灯薄膜压力传感器温度传感器单向通信电路关闭装置模数转换芯片报警装置单片机安全报警系统压力传感器驾驶员离开座位乘车电源电性儿童座椅警报装置模数转化准确监测可控制力感应音量触发车内座椅警报电源芯片驾驶音乐

[发明专利]一种无线智能袜子及足部监测系统-CN201810011760.0在审
发明人：张一帆;高敏;洪成雨 -专利权人：东华大学;上海大学
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： A61B5/103 文献下载
摘要：本发明涉及一种无线智能袜子，包括袜子本体、传感器无线采集系统、Flex弯曲传感器和薄膜压力传感器，所述Flex弯曲传感器封装在所述袜子本体对应的足弓位置；所述薄膜压力传感器封装在所述袜子本体底部；所述Flex弯曲传感器和薄膜压力传感器通过线缆与位于袜子本体上的传感器无线采集系统相连，用于检测弯曲数据和压力数据以判断足弓处的弯曲状态和足底压力变化。本发明能够对人体足弓的弯曲状态和足底压力进行实时监测。
袜子本体薄膜压力传感器弯曲传感器无线智能袜子无线采集系统监测系统弯曲状态足底压力传感器足部封装人体足弓实时监测弯曲数据压力数据足弓位置线缆足弓检测

[实用新型]基于薄膜压力传感器的飞物靶-CN201821630025.X有效
发明人：王丁 -专利权人：哈尔滨若朋机器人有限责任公司
申请日： 2018-10-08 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： A63F9/02 文献下载
摘要：基于薄膜压力传感器的飞物靶，由电路板体和外壳体组成；电路板体包括：电路板，安放于电路板上的超声传感器模块，安放于电路板上的微处理器板；微处理器板上有微处理器电路；外壳体包括:外壳和安放于外壳正面外表面的薄膜压力传感器；超声传感器模块的超声传感器从外壳的孔中露出；超声传感器模块与微处理器板的微处理器电路相连,薄膜压力传感器与微处理器板的微处理器电路相连；在微处理器板的的微处理器电路控制下，当薄膜压力传感器检测到有物体投掷时,根据超声传感器模块测得的投掷者距离来计算得分,投掷距离越远,得分越多。
薄膜压力传感器超声传感器微处理器板微处理器电路电路板投掷电路板体外壳体飞物外壳正面检测

[发明专利]钻孔孔壁裂隙产状的测量系统及测量方法-CN202311049502.9在审
发明人：周朝;董志宏;艾凯;张新辉;付平;刘元坤;周黎明;丁秀丽;柴朝政;尹健民;韩晓玉;周春华;罗笙;王斌;张小虎 -专利权人：长江水利委员会长江科学院
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： E21B47/00 文献下载
摘要：在使用时其一端与钻杆连通，其另一端封闭，在中心管的管壁上设置有通孔；印模筒，其套设在中心管外且两者之间形成密封空间，所述密封空间通过通孔与中心管连通，所述印模筒包括遇高压水膨胀的胶筒以及包裹在胶筒上的柔性薄膜压力传感器，所述柔性薄膜压力传感器包括压力接触面和非接触面，柔性薄膜压力传感器的压力非接触面朝向中心管设置，柔性薄膜压力传感器的压力接触面背向中心管设置；方位定向装置，其设置在印模筒的端侧；数据采集装置，其与柔性薄膜压力传感器、方位定向装置连接，用于采集柔性薄膜压力传感器感应的压力数据以及获取方位定向装置采集的方向信息。
钻孔裂隙产状测量系统测量方法

[实用新型]传感器采集平台-CN201620008903.9有效
发明人：章海峰;孙红金;白飞飞;张永和;孔超 -专利权人：深圳市洛书和科技发展有限公司
申请日： 2016-01-04 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： A61B5/0205 文献下载
摘要：本申请公开了一种传感器采集平台，其包括血氧传感器和压力传感器；压力传感器包括压力探头、压电薄膜和背壳，压力探头与待测部位接触，背壳设置在远离待测部位的最外侧，压电薄膜设置在压力探头和背壳之间。血氧传感器包括血氧探头，由于将血氧探头内置于压力传感器的压力探头内，或者，将血氧探头内置于压力传感器的背壳内，使得该传感器采集平台可同步采集的人体的血氧数据与血管脉搏压力数据。从而该传感器采集平台的使用更加便利稳定、测试数据更加准确。
传感器采集平台

[发明专利]一种汽车逃生装置-CN201610995302.6在审
发明人：李伟 -专利权人：广州市车驰星汽车用品有限公司
申请日： 2016-11-11 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： B60R21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种汽车逃生装置，包括微控制单元、红外热像单元、薄膜压力传感器、LED灯及电池；红外热像单元、薄膜压力传感器、LED灯均与微控制单元连接；红外热像单元设于后备箱内，薄膜压力传感器设于引擎盖下方，LED灯设于后备箱机械锁周边，电池设于车身内，微控制单元设于车身内，用于接收红外热像单元和薄膜压力传感器发出的信息，并判断红外热像单元发出的图像信息是否为人体图像、薄膜压力传感器发出的压力信息是否超过预设值，当图像信息为人体图像或压力信息超过预设值，发出开关打开命令以打开后备箱的电子锁，并发出LED灯开启命令以开启LED灯。
一种汽车逃生装置

[实用新型]一种基于薄膜压力传感器的指尖无线鼠标-CN202221683840.9有效
发明人：胡江海;杨兴洪;吴成斌 -专利权人：成都爱旗科技有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G06F3/0354 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基于薄膜压力传感器的指尖无线鼠标，涉及计算机输入设备技术领域。基于薄膜压力传感器的指尖无线鼠标包括：指套部、穿戴部和连接带，所述指套部设置有薄膜压力传感器，所述穿戴部设置有主控单元和蓝牙模块，所述连接带与所述穿戴部连接，所述连接带中设置有导线，所述薄膜压力传感器通过所述导线与所述主控单元连接，所述主控单元与所述蓝牙模块连接；所述主控单元用于接收所述薄膜压力传感器传输的压力数据，基于所述压力数据确定指令数据，通过所述蓝牙模块将所述指令数据传输至与所述指尖无线鼠标连接的待控制设备，该指尖无线鼠标体积小
一种基于薄膜压力传感器指尖无线鼠标

[发明专利]感应薄膜以及智能地面-CN202211627002.4在审
发明人：钟涛;周春山 -专利权人：苏州创印电子科技有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01L1/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种感应薄膜以及智能地面，所述感应薄膜包括基材以及形成于基材上的电阻式压力传感器和电磁感应式传感器，所述电阻式压力传感器用于感应施加于所述感应薄膜上的压力，所述电磁感应式传感器用于感应作用于所述感应薄膜上的生物电场本发明的感应薄膜以及智能地面，通过设置在感应薄膜内的电阻式压力传感器和电磁感应式传感器共同配合作用，能有效提高智能地面对被监测人员站立姿态、行走状态、运动轨迹的监测精度以及灵敏度。
感应薄膜以及智能地面

[实用新型]一种压力测量系统、足部结构及机器人-CN202121679934.4有效
发明人：李汉平;汪文广;丁宏钰 -专利权人：深圳市优必选科技股份有限公司
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B25J19/02 文献下载
摘要：本申请适用于机器人技术领域，提供一种压力测量系统、足部结构及机器人，压力测量系统包括处理器、多个信号放大电路和多个薄膜压力传感器；处理器分别与多个信号放大电路电连接，每个信号放大电路与一个薄膜压力传感器对应电连接，多个薄膜压力传感器均匀分布于机器人的足底；薄膜压力传感器被配置为响应于足底的压力变化，改变自身的阻值；信号放大电路被配置为响应于对应的薄膜压力传感器的阻值变化，输出相应的电压信号至处理器；处理器被配置为根据多个信号放大电路输出的电压信号，获得足底的压力大小，体积小，成本低，可以在小型的机器人产品上进行应用，阻值变化范围大，分辨率高，且测量电路简单可靠，可以适应宽应力范围的应用。
一种压力测量系统足部结构机器人

[实用新型]两层式柔性压力传感器-CN201821352047.4有效
发明人：孔令海 -专利权人：深圳市璞瑞达薄膜开关技术有限公司
申请日： 2018-08-22 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种两层式柔性压力传感器，旨在解决常见柔性压力传感器多为三层结构、制作流程复杂、制作成本高的问题，其技术方案要点是，包括：第一薄膜层，第一薄膜层上印刷有第一导电层；第二薄膜层，第二薄膜层上印刷有的第二导电层，局部按压两层式柔性压力传感器时第二导电层与第一导电层相接触以实现信号输入功能，此时两层式柔性压力传感器处于工作状态下；以及设于第一薄膜层或者第二薄膜层上的、由多个绝缘凸点所组成的绝缘隔离层，两层式柔性压力传感器处于工作状态下时第一导电层和第二导电层被绝缘隔离层所隔开达到该两层式柔性压力传感器的制作流程相对简单、制作成本相对较低的目的。
柔性压力传感器薄膜层两层式第二导电层第一导电层绝缘隔离层制作技术方案要点本实用新型印刷局部按压绝缘凸点三层结构信号输入隔开

[实用新型]平膜压力传感器-CN201520476473.9有效
发明人：牛泽楠;李惠;贾文静 -专利权人：辽宁众联石油工程技术有限公司
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： G01L9/02 文献下载
摘要：平膜压力传感器属于钻井测量技术领域，尤其涉及一种平膜压力传感器。本实用新型提供一种测量精度高、密封性能好的平膜压力传感器。本实用新型包括防水接头、薄膜压力传感元件主体和短接，其结构要点薄膜压力传感元件主体的输入端与短接相连，薄膜压力传感元件主体的输出端通过螺纹与防水接头相连，短接的外端接触压力面为平面；所述薄膜压力传感元件主体的线缆外端依次穿过薄膜压力传感元件主体的输出端通孔、防水接头通孔置于防水接头外部，薄膜压力传感元件主体的输出端通孔内的线缆外壁与薄膜压力传感元件主体的输出端通孔壁之间设置有密封橡胶。
压力传感器

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