专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种硅片表面研磨装置-CN201911199415.5在审
  • 蒋永锋;易恬安;包晔峰;陈秉岩 - 河海大学常州校区
  • 2019-11-29 - 2020-03-24 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种硅片表面研磨装置,属于表面处理技术领域,包括等离子喷枪、伺服电机和激光测距组件;所述伺服电机与等离子喷枪连接;所述等离子喷枪包括喷嘴和位于等离子喷枪内的等离子喷枪控制系统等离子发生器和等离子通道;所述等离子喷枪控制系统等离子发生器和伺服电机通信连接;所述等离子发生器依次与等离子通道和喷嘴连接;所述激光测距组件与等离子喷枪连接;所述喷嘴与等离子通道的连接处,设置有等离子通道出口。
  • 一种硅片表面研磨装置
  • [发明专利]热空气等离子处理-CN201610081225.3有效
  • 赵海波;帕特里克·杰姆斯·布兰查德 - 福特全球技术公司
  • 2016-02-05 - 2020-09-25 - H05H1/24
  • 本公开涉及热空气等离子处理。本公开包括大气等离子系统和用于对表面进行等离子处理的方法。等离子系统可包括等离子探头,等离子探头被配置为接收处于大气压或在大气压之上的源空气,并从探头端部释放等离子等离子系统还可包括空气供应系统和热源,空气供应系统包括被配置为将源空气供应到等离子探头的空气供应导管,热源被配置为使空气供应系统中的源空气的温度升高到环境温度之上。热空气等离子系统可将更高的等离子剂量提供到所处理的表面,并且可允许减少的循环时间和较大的等离子处理工作窗口。
  • 空气等离子体处理
  • [发明专利]一种真空放电等离子离子流检测装置及方法-CN201210042156.7有效
  • 刘文正;孔飞;张德金 - 北京交通大学
  • 2012-02-22 - 2012-08-01 - H01J37/244
  • 本发明公开了属于等离子诊断技术领域的一种真空放电等离子离子流检测装置及方法。此发明主要特征是采用施加负电位的栅网对等离子进行控制。一种真空放电等离子离子流检测装置结构如下:控制栅网布置在圆筒状物体的前端,加速电极和收集板布置在管两端,第一、第二栅网依次安装在收集板前面;等离子源、管处于真空室中,控制栅网连接控制信号发生器,加速电极连接加速电压波形发生器本发明的有益效果为:1)便于分析放电等离子在空间传输的特性。2)可以对任意一段等离子进行测量。3)通过施加适当的阻挡电位就能实现等离子的开断控制。4)结构简单,测量精度高,抗干扰能力强,可以有效的检测到离子电流大小。
  • 一种真空放电等离子体离子检测装置方法

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