“等离子体诊断系统”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果9602820个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种多炬等离子体喷射CVD法沉积超硬膜的方法及装置-CN201210114255.1无效
发明人：相炳坤;李文帅;朱其豹;徐锋;左敦稳 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2012-04-18 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种多炬等离子体喷射CVD法沉积超硬膜的方法及装置，该装置包括炬电源、引弧电源、反应气体供给系统、抽气系统、冷却水系统、真空反应室、多个等离子体炬和设于各等离子体炬正下方的各水冷基底支撑台；各等离子体炬分别固定在真空反应室上部盖板上，各等离子体炬阳极位于真空反应室内部，与各水冷基底支撑台相对；炬电源和引弧电源，分别与各等离子体炬相连；气体供给系统分别与各等离子体炬相连；抽气系统和真空反应室相连；冷却水系统分别与各水冷工作台、罗茨泵、各等离子体炬和真空反应室的水冷夹层壁相连。本发明采用多炬等离子体喷射CVD法，单台设备能同时进行多块超硬膜沉积、显著降低制膜成本。
一种等离子体喷射 cvd 沉积超硬膜方法装置

[实用新型]一种多炬等离子体喷射CVD法沉积超硬膜的装置-CN201220165200.9有效
发明人：相炳坤;李文帅;朱其豹;徐锋;左敦稳 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2012-04-18 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多炬等离子体喷射CVD法沉积超硬膜的装置，该装置包括炬电源、引弧电源、反应气体供给系统、抽气系统、冷却水系统、真空反应室、多个等离子体炬和设于各等离子体炬正下方的各水冷基底支撑台；各等离子体炬分别固定在真空反应室上部盖板上，各等离子体炬阳极位于真空反应室内部，与各水冷基底支撑台相对；炬电源和引弧电源，分别与各等离子体炬相连；气体供给系统分别与各等离子体炬相连；抽气系统和真空反应室相连；冷却水系统分别与各水冷工作台、罗茨泵、各等离子体炬和真空反应室的水冷夹层壁相连。本实用新型采用多炬等离子体喷射CVD法，单台设备能同时进行多块超硬膜沉积、显著降低制膜成本。
一种等离子体喷射 cvd 沉积超硬膜装置

[发明专利]一种基于等离子体在线裂解、点火与助燃的氨发动机-CN202011331827.2有效
发明人：丁军;陈龙威;林启富;任雪梅;谢珊;李建刚 -专利权人：合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： F02B43/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于等离子体在线裂解、点火与助燃的氨发动机，包括氨燃料源、助燃燃料源、空气源、氨分解箱、等离子体点火器、等离子体助燃器、控制系统、尾气余热回收系统、发动机尾气处理系统和氨发动机，所述的氨燃料源在与助燃燃料源和空气源混合之前需要经过尾气余热回收系统和氨分解箱进行即时在线氨燃料源加热和分解，所述的氨分解箱包含有等离子体发生器、温度、压力和氢组分传感器，氨分解催化剂；所述等离子体发生器包括一个滑动电弧或者介质阻挡等离子体发生器；所述的等离子体点火器包括电火花等离子体发生器，所述的等离子体助燃器包括微波等离子体发生器；所述的尾气余热回收系统安装在发动机的出气口。
一种基于等离子体在线裂解点火助燃发动机

[发明专利]实时自动分析低温等离子体激光汤姆逊散射诊断光谱方法-CN201910374496.1有效
发明人：丁洪斌;王勇;李聪;冯春雷;石劼霖 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-05-07 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及低温等离子体诊断技术领域，提供一种实时自动分析低温等离子体激光汤姆逊散射诊断光谱方法，包括：步骤1，采集并获取光谱数据，所述光谱数据包括汤姆逊散射光谱、转动拉曼散射光谱、等离子体辐射背景光谱和强度校准系数3，基于最小二乘法，采用高斯函数对激光汤姆逊散射光谱进行理论拟合；步骤4，对激光汤姆逊散射光谱强度进行绝对校准；步骤5，基于最小二乘法，采用转动拉曼散射公式对转动拉曼散射光谱进行理论拟合；步骤6，计算等离子体参数本发明能够快速地获取低温等离子体电子温度和电子密度，有效地提高激光汤姆逊散射光谱数据分析的准确性和效率。
实时自动分析低温等离子体激光汤姆散射诊断光谱方法

[实用新型]一种大气环境等离子体密度诊断探板-CN201521052846.6有效
发明人：邓永锋;孙斌;方吉汉;范威;赵杨;余虔 -专利权人：西安航天动力研究所
申请日： 2015-12-16 - 公布日： 2016-06-22 - 主分类号： G01W1/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大气环境等离子体密度诊断探板，由收集板、收集板支架、屏蔽电缆、皮安计、直流电源、计算机组成，收集板安装在收集板支架上，用于收集等离子体中的电子，收集板通过电缆与皮安计、直流电源连接，通过计算机实时处理测试数据本实用新型通过采用圆形平板作为收集极，增大了等离子体与收集板的接触面积，使得收集电流显著增大，减小了干扰噪声的影响。本实用新型具有结构简单、使用方便、易于测量低密度等离子体参数等优点，可应用于大气压或亚大气压条件下低密度等离子体参数的诊断测试。
一种大气环境等离子体密度诊断

[发明专利]一种激光等离子体不稳定性静电波诊断方法及诊断装置-CN202110581655.2有效
发明人：潘凯强;李志超;龚韬;郭亮;李琦;赵航;李三伟;蒋小华;杨家敏 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光等离子体不稳定性静电波诊断方法及诊断装置，该诊断方法包括以下步骤：S1，产生能量为100兆电子伏特以上、束长为0.1μm～100μm的电子束探针；S2，获得电子束探针的原始密度信息；S3，激发激光等离子体不稳定性静电波，将已知原始密度信息的电子束探针注入静电波，使电子束探针穿过等离子体时在静电波电场的作用下产生密度调制；S4，获得穿过静电波后电子束探针的密度调制空间分布信息；S5，本发明解决了现有技术存在的搭建诊断平台难度大、无法获得静电波的绝对强度信息、不能够同时诊断同一位置同时发生的两种及以上激光等离子体不稳定性静电波等问题。
一种激光等离子体不稳定性静电诊断方法装置

[发明专利]用于在等离子体系统中使用的室组件的表面涂层-CN201480073572.0在审
发明人：卡洛·瓦尔德弗里德 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2014-11-21 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了用于等离子体组件的表面涂层，所述表面涂层的益处是针对侵蚀性(例如，基于氟的)等离子体环境中的化学和等离子体物理侵蚀的稳固性。与其他已知的表面处理相比，所述涂层还提供用于活性氧、氮、氟和氢物种的低等离子体表面复合速率。所述涂层还可以被涂敷到不需要蚀刻或等离子体清洗的任何等离子体系统组件，包括但不限于如石英、铝或阳极化的铝的材料。另外，通过向系统组件涂敷非反应性涂层从而增加激发的等离子体物种向所述系统的等离子体室的流动来增加系统的效率。
用于等离子体系统使用组件表面涂层

[发明专利]一种用于脉冲等离子体推力器测量的飞行探针-CN201710029572.6有效
发明人：汤海滨;章喆;张尊;曹帅 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2017-01-16 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： G01P5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于脉冲等离子体推力器羽流诊断的飞行探针，使用接触式测量方法对脉冲等离子体推力器喷出等离子体团进行测量。测量对象为脉冲等离子体推力器，测量脉冲等离子体推力器喷出等离子体团的速度。前端准直筒和后端准直筒起到了屏蔽非轴向离子，确保钨收集器和钨收集环收集到的是方向性良好的轴向运动离子。钨收集器和钨收集环加载‑20V偏置电压排斥电子收集离子，通过二者采集到的离子电流波形的时间差和钨收集器和钨收集环之间的距离差计算等离子体的喷射速度。
一种用于脉冲等离子体推力测量飞行探针

[发明专利]热等离子体和非热等离子体活化水反应器系统-CN201580067926.5有效
发明人： A·J·M·裴姆恩;W·F·L·M·赫本;P·P·范欧亦吉;P·H·M·伦德斯 -专利权人：维泰弗德有限公司
申请日： 2015-12-14 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本发明提供了一种热等离子体和非热等离子体活化水反应器系统，该系统包含反应室和等离子体活化水储库，其中反应室包含气体进口、水进口、气体和水出口、接地电极和反应电极，其中水进口和水出口设置成当水流过反应室时在反应室中产生水涡流，反应电极包含热等离子体电极和非热等离子体电极，其中等离子体活化水储库设置成从反应室接收等离子体活化水，并设置成将等离子体活化水返回到反应室。
等离子体活化反应器系统

[发明专利]高精度高时空分辨率三维测定方法、系统、介质及应用-CN202010708160.7有效
发明人：李小平;张佳;贾静;刘彦明;包为民 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明属于等离子体监测和分析技术领域，公开了一种高精度高时空分辨率三维测定方法、系统、介质及应用，采用高精度高时空分辨率的静电探针和远红外激光干涉仪作为基准，通过创新设计，建立等离子体电子密度与光强对应关系模型和电子密度时空分布与光强时空分布对应关系模型，实现高分辨高速光学成像系统的高精度高时空分辨率的等离子体非接触式诊断。本发明实现了高速目标等离子体高时间分辨率、高空间分辨率和高精度诊断。
高精度时空分辨率三维测定方法系统介质应用

[实用新型]一种等离子体发生器的点火控制系统-CN201620193738.9有效
发明人：贾令剑;郑成峰;张治湖;赵晓丰;蔡飞;蔡巍;白云 -专利权人：烟台龙源电力技术股份有限公司
申请日： 2016-03-14 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： F23Q13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体发生器的点火控制系统，该点火控制系统包括：数量与锅炉数量相同的等离子体控制柜、至少两台等离子体整流柜、与所述等离子体整流柜数量相同的断路器、以及至少两台等离子体发生器。利用该点火控制系统，在多台锅炉的等离子体发生器共用点火电源时，无需通过中继器进行等离子体控制柜与通讯功能模块之间的硬切换，仅通过在等离子体整流柜中设置至少两个与等离子体控制柜对应的通讯功能模块，就能实现等离子体控制柜对相应锅炉等离子体发生器的点火过程的远程控制
一种等离子体发生器点火控制系统

[发明专利]一种X射线光谱测量和分幅成像系统-CN201610780888.4有效
发明人：钱凤;张强强;杨祖华;魏来;陈勇;晏卓阳;曹磊峰;谷渝秋 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种X射线光谱测量和分幅成像系统，包括滤片，针孔阵列板，屏蔽片，弯晶分析器，限光狭缝，光谱记录介质和成像记录介质。该光谱测量和成像系统主要用于激光聚变、实验室天体物理等产生的等离子体X射线诊断，在同一次实验，同一个诊断孔中即可获得等离子体发射的光谱信息和具有时间分辨、空间分辨的等离子体演化图像。该系统具有测谱范围宽，能谱分辨率高，多分幅成像，应用范围广，空间体积小等优点。
一种射线光谱测量成像系统

[实用新型]一种X射线光谱测量和分幅成像系统-CN201621010383.1有效
发明人：钱凤;张强强;杨祖华;魏来;陈勇;晏卓阳;曹磊峰;谷渝秋 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种X射线光谱测量和分幅成像系统，包括滤片，针孔阵列板，屏蔽片，弯晶分析器，限光狭缝，光谱记录介质和成像记录介质。该光谱测量和成像系统主要用于激光聚变、实验室天体物理等产生的等离子体X射线诊断，在同一次实验，同一个诊断孔中即可获得等离子体发射的光谱信息和具有时间分辨、空间分辨的等离子体演化图像。该系统具有测谱范围宽，能谱分辨率高，多分幅成像，应用范围广，空间体积小等优点。
一种射线光谱测量成像系统

[发明专利]使用多脉冲等离子体源连续供应负离子的系统和方法-CN201880074595.1有效
发明人：许诚烈 -专利权人：韩国原子力研究院
申请日： 2018-10-24 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01J27/02 文献下载
摘要：本公开涉及一种使用多脉冲等离子体源连续供应负离子的系统和方法。该系统包括：多个等离子体发生器，每个等离子体发生器用于通过将脉冲功率施加到来自气体源的负电性气体来产生等离子体；负离子供应单元，连接至等离子体发生器，以接收从其中传递的等离子体并连续供应离子；以及控制器，连接至多个等离子体发生器，并被配置成用于控制递送到各个等离子体发生器的脉冲功率的特性，以及用于调节与脉冲功率包络相关联的相移。通过调节相移，当等离子体发生器中的一个等离子体发生器中的等离子体处于活动辉光状态时，控制器使另一个等离子体能够处于后辉光状态。为了实现这一点，多个等离子体发生器根据相移以交替的方式生成等离子体。因此，从在后辉光状态下的一个等离子体发生器供应到负离子供应单元的负离子的附加供应可以补偿从在活动辉光状态下的另一个等离子体发生器到负离子供应单元的负离子供应的减少的量，导致连续供应负离子，同时使负离子供应单元中的负离子密度随时间保持恒定
使用脉冲等离子体连续供应负离子系统方法

[发明专利]一种布水与催化集成的降膜放电等离子体水处理装置-CN201910263710.6有效
发明人：李杰;姜楠;沙利斌 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： C02F1/48 文献下载
摘要：一种布水与催化集成的降膜放电等离子体水处理装置，属于液体处理技术领域，包括放电等离子体电极系统、高压电源、蓄水箱。所述的放电等离子体电极系统与高压电源连接，蓄水箱内储存待处理的水体，通过水泵实现水体注入或者循环注入。电等离子体电极系统根据是否绝缘介质分为电晕(流光)放电等离子体电极系统和介质阻挡放电等离子体电极系统两种形式。本发明提供的放电等离子体水处理装置中放电等离子体在气相环境下发生，不受被处理水体参数影响，等离子体状态稳定；液膜分布均匀，调整多孔材料厚度实现液膜持液厚度调整，增加水体在反应器停留时间；利用多孔材料实现布水和催化剂载体于一体
一种催化集成放电等离子体水处理装置