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[发明专利]用于产生包括其中溶解有氨气的去离子水的导电液体的系统和方法-CN201780082978.9有效
发明人： U.A.布拉默;J.塞维尔特;C.勒蒂克 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：描述了用于将氨气溶解在去离子水中的系统和方法。该系统包括去离子水源和气体混合设备，该气体混合设备包括用于接收氨气的第一入口、用于接收输送气体的第二入口以及用于输出包括氨气和输送气体的气体混合物的混合气体出口。该系统包括接触器，该接触器接收去离子水和气体混合物并产生其中溶解有氨气的去离子水。该系统包括与接触器的至少一个入口流体连通的用于测量去离子水的流速的传感器，以及与传感器通信的控制器。控制器基于由传感器测量的去离子水的流速和预定的电导率设定点来设定氨气的流速。
用于产生包括其中溶解氨气离子水导电液体系统方法

[发明专利]开关电容器解调器-CN202180081247.9在审
发明人：阮维;艾伯特·库拉姆申;亚伦·T·瑞多姆斯基;亚历山大·S·尤尔科夫;金汉坤;李凯文 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2021-10-01 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G06F1/03 文献下载
摘要：一种开关电容器解调器(Switched Capacitor Modulator，SCM)包括射频功率放大器。射频功率放大器接收整流电压及射频驱动信号，并且根据整流电压解调输出信号以产生射频输出信号至输出端子。与输出端子并联的电抗被配置为响应于控制信号而改变，以改变与输出端子并联的等效电抗。控制器产生控制信号及命令相位。命令相位控制射频驱动信号。电抗为电容或电感中的至少一个，并且电容或电感根据控制信号而改变。
开关电容器解调器

[发明专利]用于减轻周期性干扰引起的射频负载阻抗变化的设备及调谐方法-CN202180063533.2在审
发明人：亚伦·M·贝里;亚伦·T·瑞多姆斯基;马里乌斯·欧尔德杰伊;彼得·保罗;R·莱因哈特 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2021-10-01 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一射频(RF)功率产生系统包括一射频电源，该射频电源产生传送到负载的一射频输出信号。一射频功率控制器被配置为产生一控制信号以改变射频输出信号。该控制器调整与该射频输出信号相关的一参数，并且根据一触发信号控制该参数。根据一成本函数调整该参数，并且通过将一扰动插入到影响该成本函数的一致动器中来确定该成本函数。该致动器可以控制一外部射频输出信号，并且该触发信号可以根据该外部射频输出信号而改变。
用于减轻周期性干扰引起射频负载阻抗变化设备调谐方法

[发明专利]平衡RF电路和交叉耦合的SIMO分配网络的控制-CN201880054854.4有效
发明人：大卫·J·库莫;丹尼斯·M·布朗;政锡姜;金许 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种单输入多输出等离子控制系统包括接收单个输入并产生多个输出的分路器。将来自分路器的每个输出提供至负载。分路器包括被连接在所选择的分路器输出之间的分支电路。分支电路控制每个分支之间的电压、电流、功率、频率或相位以使能控制在每个负载处测得的电压、电流、功率、阻抗、频率或相位之间的预定关系。
平衡 rf 电路交叉耦合 simo 分配网络控制

[发明专利]脉冲双向射频源/负载-CN202210824403.2在审
发明人：亚伦·T·瑞多姆斯基;凯·卢;拉里·J·菲斯克二世;R·莱因哈特;马修·G·哈林顿;哈米西·鲁格胡努尼多;杰西·N·克莱因;亚伦·M·贝里 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了脉冲双向射频源/负载。射频电源系统包括主RF发生器和辅助RF发生器，其中每个发生器输出相应的RF信号。主RF发生器还将RF控制信号输出到辅助RF发生器，并且由辅助RF发生器输出的RF信号根据RF控制信号而改变。辅助RF发生器接收指示由主RF发生器和辅助RF发生器输出的相应RF信号的电特性的感测信号。辅助RF发生器确定RF信号之间的相位差。所感测的电特性和相位独立地或协作地被使用以控制由辅助RF发生器输出的RF信号的相位和振幅。辅助发生器包括电感箝位电路，其将所反射的能量从耦合网络返回到可变电阻负载。
脉冲双向射频负载

[发明专利]使用偏置射频产生器信号进行电弧检测的系统及方法-CN202180014708.0在审
发明人：拉里·J·菲斯克二世;本杰明·J·吉特林;马里乌斯·欧尔德杰伊;亚伦·M·贝里;马修·G·哈林顿;亚伦·T·瑞多姆斯基 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种用于射频电源供应器系统的电弧检测器，其中射频电源供应器系统包含第一射频电源供应器及第二射频电源供应器。施加至非线性负载的信号根据来自第一射频电源供应器及第二射频电源供应器中的一个的输出而变化。此信号具有一频率。在非线性负载的电弧或电弧情况下，此信号的频率会发生变化，并且如果此频率在选定范围之外，则会指示电弧或电弧情况。可以通过将此信号数字化为一系列的脉冲并测量脉冲之间的时间或间隔以确定此频率。
使用偏置射频产生器信号进行电弧检测系统方法

[发明专利]脉冲双向射频源/负载-CN201880030682.7有效
发明人：亚伦·T·瑞多姆斯基;凯·卢;拉里·J·菲斯克二世;R·莱因哈特;马修·G·哈林顿;哈米西·鲁格胡努尼多;杰西·N·克莱因;亚伦·M·贝里 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：射频电源系统包括主RF发生器和辅助RF发生器，其中每个发生器输出相应的RF信号。主RF发生器还将RF控制信号输出到辅助RF发生器，并且由辅助RF发生器输出的RF信号根据RF控制信号而改变。辅助RF发生器接收指示由主RF发生器和辅助RF发生器输出的相应RF信号的电特性的感测信号。辅助RF发生器确定RF信号之间的相位差。所感测的电特性和相位独立地或协作地被使用以控制由辅助RF发生器输出的RF信号的相位和振幅。辅助发生器包括电感箝位电路，其将所反射的能量从耦合网络返回到可变电阻负载。
脉冲双向射频负载

[发明专利]用于向处理腔室中的电极提供预失真的RF偏置电压信号的分段式RF功率系统和方法-CN201880034502.2有效
发明人：凯·卢;亚伦·瑞多姆斯基 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2018-04-20 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了一种射频功率系统，其包括偏置模块、开关、匹配网络、以及控制模块。偏置模块被配置为分别生成直流DC偏置电压。开关被配置为(i)从偏置模块接收电流，以及(ii)控制来自偏置模块的电流的流动以生成射频偏置电压信号。匹配网络被配置为(i)接收射频偏置电压信号，以及(ii)基于射频偏置电压信号，将射频输出电压信号的至少一部分提供给处理腔室中的基板支撑件的电极。控制模块被连接到开关，并被配置为基于射频输出电压信号控制开关的状态，以成形射频偏置电压信号的波形。
用于处理中的电极提供失真 rf 偏置电压信号段式功率系统方法

[发明专利]包括混合调谐网络的阻抗匹配系统-CN201780031697.0有效
发明人：戴维·J·库莫;丹尼斯·M·布朗;亚伦·T·瑞多姆斯基;马里乌斯·欧尔德杰伊;约根德拉·K.·肖拉;丹尼尔·J·林肯 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2017-03-21 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H03H7/40 文献下载
摘要：eVC包括粗调谐网络和细调谐网络。粗调谐网络包括电路用于：从RF发生器接收RF输入信号；将RF输出信号输出到参考端子或负载；以及接收DC偏置电压。电路在第一状态和第二状态之间切换。电路的电容在处于第一状态时是基于DC偏置电压，并且在处于第二状态时不基于DC偏置电压。细调谐网络并联连接到粗调谐网络并且包括可变电抗器。可变电抗器包括：接收RF输入信号的第一二极管；以及与第一二极管以背对背配置连接、并将RF输出信号输出到参考端子或负载的第二二极管。可变电抗器的电容是基于第二接收的DC偏置电压的。
包括混合调谐网络阻抗匹配系统

[发明专利]使用电子可变电容器的交互调变失真减缓器-CN202080066047.1在审
发明人：许金;亚伦·T·瑞多姆斯基;阮维;金洙汉 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2020-10-20 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种系统匹配网络，其具有非线性负载且由在第一频率操作的第一射频电源供应以及在第二频率操作的第二射频电源供应来供电。匹配网络包含第一匹配网络部分，其用于在第一电源供应与负载之间提供阻抗匹配。匹配网络还包含第二匹配网络部分，其用于在第二电源供应与负载之间提供阻抗匹配。第一匹配网络部分包含第一可变电抗，且可变电抗根据在由第一射频电源供应施加至负载的信号中测得的交互调变失真来控制。可变电抗根据交互调变失真来调整以减少检测到的交互调变失真。
使用电子可变电容器交互失真减缓

[发明专利]极值寻觅控制装置及用于射频阻抗匹配的自动频率调谐的方法-CN202080066091.2在审
发明人：亚伦·贝里;亚伦·瑞多姆斯基;昂·托埃;杰西·克莱因 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： H03H11/28 文献下载
摘要：本发明揭示一种射频(RF)产生器，其包含经组态以依一输出频率产生一输出信号之一RF电源。该RF产生器包含一频率调谐模块。该频率调谐模块产生控制该RF电源之该输出频率之一频率控制信号。该频率控制信号包含一频率调谐信号分量及一扰动信号分量。该扰动信号变动该输出信号之一电参数。响应于该扰动信号，根据输出信号之一变化来调整该频率调谐信号。
极值寻觅控制装置用于射频阻抗匹配自动频率调谐方法

[发明专利]应用于射频驱动等离子体以提高鞘层形成、演化与脉冲间稳定的方法及装置-CN202080057529.0在审
发明人：林内尔·马丁尼兹;乔纳森·斯米卡;斯科特·怀特;亚伦·贝里 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：射频产生器系配置以产生射频讯号。射频讯号透过具有一种或多种状态的脉冲调变。在脉冲启动的初始状态期间，射频产生器透过选择射频讯号的频率来调整阻抗匹配。在脉冲的第二状态期间，射频产生器使用匹配网络调整阻抗匹配。第一状态包含控制射频产生器以输出功率突发，且第二状态包含控制产生器以输出操作功率。
应用于射频驱动等离子体提高形成演化脉冲稳定方法装置

[发明专利]用于短引线电源装置的冷却和压紧夹具-CN201880076777.2有效
发明人：戴夫·科菲塔;凯·卢;亚伦·T·瑞多姆斯基 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H05K7/12 文献下载
摘要：一种夹具被配置为联接到印刷电路板，以冷却和压紧经受反复的电力和热循环的一个或多个电连接部。所述夹具的第一导电柱被配置用以压紧第一电源装置引线和所述印刷电路板的第一印刷电路板迹线之间的第一电连接部，并将热能从所述第一电源装置引线带走。所述第一导电柱从负载散布板延伸。所述负载散布板为将从其延伸的紧固件与所述第一导电柱电隔离的绝缘体。所述紧固件被配置用以与所述电路板配合以将所述夹具连接到所述电路板，使所述负载散布板压紧所述第一导电柱以压紧所述第一电连接部，并将所述夹具接地。
用于引线电源装置冷却压紧夹具

[发明专利]自适应周期波形控制器-CN201910501067.6有效
发明人：拉里·J·菲斯克二世;亚伦·T·瑞多姆斯基;乔纳森·斯米卡 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2015-12-02 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及自适应周期波形控制器。重复设定点生成器模块根据在连续时间间隔期间重复的预定模式而选择性地改变输出参数的设定点。闭环模块在时间间隔中的第一时间间隔期间，基于(i)所述时间间隔中的第一时间间隔期间设定点在N个时刻处的N个值与(ii)时间间隔中的第一时间间隔期间输出参数在N个时刻处的N个测量值之间的N个差而分别生成N个闭环值。调节模块在时间间隔中的第一时间间隔期间，基于(i)时间间隔中的第二时间间隔期间设定点在N个时刻处的N个值与(ii)时间间隔中的第二时间间隔期间输出参数在N个时刻处的N个测量值之间的N个差而分别生成N个调节值。
自适应周期波形控制器

[发明专利]等离子体源/偏置功率输送的高速同步-CN202080033868.5在审
发明人：亚伦·T·瑞多姆斯基;本杰明·J·吉特林;拉里·J·菲斯克;马里乌斯·欧尔德杰伊;亚伦·M·贝里;乔纳森·W·斯米卡;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;纪冰;菲利克斯·莱比·科扎克维奇;约翰·霍兰;拉纳迪普·博乌米克 -专利权人： MKS仪器有限公司;朗姆研究公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种射频(RF)生成器系统，包括第一RF电源和第二RF电源，每个RF电源向负载施加相应的RF信号和第二RF信号。根据第二RF信号的施加来施加第一RF信号。第一RF信号的施加与第二RF信号的施加同步。第一RF信号可以与第二RF信号同步地进行幅度调制，并且幅度调制可以包括第一RF信号的消隐。频率偏移可以与第二RF信号同步地施加到第一RF信号。可以根据第二RF信号来控制与第一RF电源相关联的可变致动器。
等离子体偏置功率输送高速同步

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