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[实用新型]一种叶滤机-CN202123360016.8有效
发明人：王贵川;张强;彭磊;尹体全;黄云全 -专利权人：攀枝花东方钛业有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B01D29/13 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种叶滤机，包括真空气室、锁气阀和若干滤片，任一滤片内的滤腔和锁气阀均连通于真空气室，任一滤片和真空气室的连通处设有阀；真空气室的压强用以在叶滤机处于工作状态时小于滤片处的压强、在叶滤机处于自清洁状态时大于滤片处的压强该叶滤机中，真空气室的压强可根据叶滤机的功能需求增大和降低，在真空气室的压强小于滤片处的压强时实现叶滤机的过滤吸附作用，在真空气室的压强大于滤片处的压强时实现叶滤机的反吹清洁作业，后者以空气实现滤片的在线清洁与此同时，利用阀合理调整真空气室和全部滤片的连通状态，以提高真空气室对单个滤片产生的压强，令更多堵塞的滤孔可在气流下敞通。
一种叶滤机

[实用新型]一种防湍流真空室及真空系统-CN202123446683.8有效
发明人：缪同群;谢圣鸣 -专利权人：上海新产业光电技术有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本说明书实施例提供一种防湍流真空室及真空系统，真空室包括：真空室腔体，设置于真空室腔体上的至少两个抽气口，抽气口用于对真空室腔体内部抽真空，以使得真空室腔体在抽真空时，真空室腔体内的各处压强同时降低。通过在真空室腔体上增设至少两个抽气口，通过至少两个抽气口对真空室腔体内同时进行抽真空，使得真空室腔体内的各处压强同时降低，能够减小真空室腔体内部的压强梯度，降低气体的流动速度，避免湍流的产生。
一种湍流真空系统

[发明专利]一种真空断路器-CN202211090047.2在审
发明人：张延超;鲁星星;王传川;贺锋辉;司志辰 -专利权人：西安西电高压开关有限责任公司;中国西电电气股份有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01H33/664 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种真空断路器，包括独立设置的真空气室、高压气室和二级气室，真空断路器还包括波纹管和气室压力调整管路，波纹管设置于真空气室和所述二级气室之间，波纹管的最大承受压强大于二级气室内压强与真空气室内压强之差，小于高压气室内压强与真空气室内压强之差，气室压力调整管路与二级气室连通，且气室压力调整管路中设置有气压阀，气压阀的开启压强小于波纹管的最大承受压强，通过上述技术方案可以确保波纹管内外两侧所承受的气体压力差值不大于波纹管的最大承受压强，提高了波纹管的寿命，并且能够在高压气室与二级气室发生气体泄漏时，通过气压阀进行泄压，保证波纹管工作气压值不会升高，提高了设备的安全性。
一种真空断路器

[发明专利]一种分子泵机组及真空系统检漏方法-CN202010929724.X在审
发明人：苏长明;任世瑜;邓高飞;孙灵豪;齐英;陈林 -专利权人：北京中科九微科技有限公司
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种分子泵机组及真空检漏方法，其中，分子泵机组包括前级泵及分子泵、前级真空计、高真空计、机组控制器；前级真空计设置于真空管路上，用于测量前级泵开启时的前级压强；高真空计设置于真空室上，用于测量分子泵开启时的真空室压强；机组控制器用于根据前级压强和真空室压强检测分子泵机组所在的真空系统是否存在漏气故障。
一种分子机组真空系统检漏方法

[发明专利]一种真空开关真空度测试校验装置及其检验方法-CN200910093157.2无效
发明人：邵涛;严萍 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2009-09-25 - 公布日： 2010-03-17 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：一种真空开关真空度测试校验装置，包括真空灭弧室(1)、稳压腔室(2)、对比腔室(3)、真空计、真空阀门和真空泵(6)。测试校验时，开启机械泵(10)；当稳压腔室(2)的真空压强达到10^-1Pa时，关闭第二隔断阀(9)，开启第一隔断阀(7)、插板阀(5)和分子泵(6)，当第一真空计(4)显示真空灭弧室(1)真空压强小于6.6×^-2Pa时，微调插板阀(5)，同时向稳压腔室(2)通入氮气。当稳压腔室(2)和真空灭弧室(1)以及对比腔室(3)的压强平衡时，比对真空开关真空度测试仪(15)测得的真空度和第一真空计(4)显示的真空度，即可校验真空开关真空度测试仪(15)的测量误差。
一种真空开关真空测试校验装置及其检验方法

[发明专利]一种真空设备压强调控系统及真空设备-CN201711183730.X有效
发明人：彭泽云;胡祥龙;戴煜 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本申请公开了一种真空设备压强调控系统及真空设备，该装置包括真空炉体压强获取管路，抽真空管路和压强调控管路；真空炉体压强获取管路包括与真空炉体相连的第一电磁阀、用于获取真空炉体产品处理室的压强P₁的第一薄膜规；与真空炉体相连的第二电磁阀、用于获取真空炉体保温层和产品处理室之间的压强P₂的第二薄膜规；抽真空管路用于抽取产品处理室内的尾气；压强调控管路用于向抽真空管路通入第一工艺气体，调节P₁和P₂之间的压强差，以实现真空炉体产品处理室内外压强差的恒定；包括与第一气动球阀相连的第一隔膜阀、与第一工艺气体的进气口相连的第一质量流量计。本申请实现产品处理室内外压强差的恒定，从而获得质量更高的产品。
真空炉体压强压强调控真空设备抽真空管路产品处理压强差恒定产品处理室工艺气体薄膜规室内外进气口第一电磁阀质量流量计气动球阀保温层电磁阀隔膜阀申请抽取尾气室内

[发明专利]x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件-CN201710058109.4在审
发明人： R·哈德兰德 -专利权人：尼康计量公众有限公司
申请日： 2014-03-12 - 公布日： 2017-06-23 - 主分类号： H01J35/02 文献下载
摘要：本发明涉及x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件。具体地，一种用于旋转轴的旋转真空密封件，所述密封件包括孔，所述孔用于容纳所述轴并且在高压强端部和低压强端部中的每一个端部处具有端子孔口；腔室，所述腔室在介于所述高压强端部与所述低压强端部之间的位置处围绕所述孔并且周向地邻接所述孔；以及流动路径，所述流动路径从所述腔室延伸至适合于连接至真空泵的端口，其中，所述孔和所述轴的尺寸被设定为使得在所述腔室中维持的1毫巴的压强以及在所述低压强端部处维持的10‑5毫巴的压强导致所述腔室与所述低压强端部之间的氮的质量流率小于
射线电压发生器电子束旋转组件以及真空密封件

[发明专利]材料单一气体放气率的测试装置及方法-CN201310723081.3无效
发明人：冯焱;张伟文;董猛;成永军;盛学民;张瑞芳;马亚芳 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2013-12-24 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： G01N7/14 文献下载
摘要：本发明涉及材料单一气体放气率的测试装置及方法，装置包括：第一真空室；第一测试室和第二测试室，相对于第一真空室对称的设置，分别与第一真空室连通；第二真空室，通过具有第一阀门的第一线路和第一测试室连接，通过具有第二阀门的第二线路和第二测试室连接；第一质谱仪和第二质谱仪，分别连通第一真空室和第一测试室。将待测材料放入第二真空室，抽真空；分别测量打开第一阀门，关闭第二阀门；关闭第一阀门，打开第二阀门时第一真空室和第一测试室的压强，取出待测材料，再测上述两种情况压强，计算各气体放气率。通过质谱仪可以检测出材料释放的各气体的成分并确定各气体的压强值，计算各气体的放气率，同时能够保证计算结果的准确性。
材料单一气体放气测试装置方法

[发明专利]一种设有压强平衡器的热真空干燥装置及压强平衡器-CN201510777270.8在审
发明人：潘金旺;张纯;任思雨;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2015-11-13 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： B05D3/02 文献下载
摘要：本发明提供一种热真空干燥装置，包括腔室，在腔室的两侧面设有真空吸附口，抽真空支管道的一端连接所述真空吸附口，另一端汇合于抽真空主管道的一端，抽真空主管道的另一端连接真空泵单元，在抽真空支管道与抽真空主管道的汇合处设有压强平衡器；所述压强平衡器包括U型管与抽真空主管道漏斗状部分，抽真空支管道延伸至所述U型管的底部，U型管的顶部密封，U型管两侧设有气孔；所述U型管通过所述气孔连通横向设置的抽真空主管道漏斗状部分。本发明通过压强平衡装置的U型管的缓冲作用，将各支管道压强调节一致，从而使HVCD腔室整体和局部压强保持稳定，聚酰亚胺溶液气流恒定，减少MURA缺陷，改善了柔性基板的膜质，提高制程良率。
一种设有压强平衡器真空干燥装置

[发明专利]宽量程高精度宽温区的真空传感器批量标定系统及方法-CN202310161673.4在审
发明人：陈凡红;杜晓辉;朱敏杰;刘帅 -专利权人：机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本公开是一种宽量程高精度宽温区的真空传感器批量标定系统及方法，该系统包括：多通道球形真空腔室，安装有标准真空传感器，用于对多个待标定真空传感器的批量标定；抽气回路，用于对多通道球形真空腔室进行抽真空；补气回路，对多通道球形真空腔室进行补气；PLC控制系统，根据多通道球形真空腔室的实际压强与预设目标压强的差值，调控抽气速率和补气速率，实现对多通道球形真空腔室中真空度的高精度调节。本公开利用宽量程标准真空传感器、开合角度可调的电动闸板阀和多量程质量流量计等协同配合，提升了真空系统压强值的精准性和调控的时效性，可对真空传感器进行满量程正反行程的测试和温度的调控，为真空传感器的准确标定测试提供了新思路
量程高精度宽温区真空传感器批量标定系统方法

[实用新型]一种真空计校准装置-CN201020190311.6无效
发明人：李峰;陈国华 -专利权人：北京天普太阳能工业有限公司
申请日： 2010-05-10 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空计校准装置，包括真空校量室、标准真空计、抽气系统、流量控制系统；所述的流量控制系统包括符合压强控制仪和流量计，符合压强控制仪分别与标准真空计和流量计电信号相连，流量计的出气端与真空校量室相通流量控制系统可以控制真空校量室的压强。本实用新型的优点是可以在较大范围内校量真空计，并且校量精度更高。其中极限真空度优于3×10-7Pa，校准范围在2.0×10-4-1.0×105Pa，稳定性小于10％。
一种真空计校准装置

[发明专利]一种防水透气膜密封性能自动化测试方法和设备-CN201910809363.2有效
发明人：方振东;李效文;徐博 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本发明涉及密封性检测设备技术领域，具体地涉及一种防水透气膜密封性能自动化测试方法，将真空室拆成第一真空室和第二真空室，并且在第一真空室增加漏水检测仪，检测产品有无泄漏，实现泄漏预先判定，避免发生泄漏时，液体灌入压力传感器中，造成仪器损坏；对真空室和压强合理计算和设计，保证当两真空室之间的阀门打开后，使用差压传感器提高测试灵敏度和测试极限能力，真空室的压强小于2kPa，可以保证泄漏的水滴快速蒸发；通过对第一真空室的结构设计
一种防水透气密封性能自动化测试方法设备

[实用新型]一种真空磁控镀膜生产线-CN202122887074.X有效
发明人：黄红峰 -专利权人：肇庆市鸿利达真空设备科技有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空磁控镀膜生产线，包括磁控镀膜机构和抽真空机构；其中，磁控镀膜机构包括若干真空室和磁控溅射镀膜室，真空室用于提供真空环境，磁控溅射镀膜室用于对基材溅射镀膜；抽真空机构用于对真空室抽真空，抽真空机构包括连接管、滑阀泵、连通连接管和滑阀泵的通气管道，连接管与真空室连接，连接管与通气管道连接处设置有第一阀，所述通气管道上还设置有第二阀。本实用新型的抽真空机构能够减小真空波动，使溅射镀膜保持稳定，通过设置有第一阀、第二阀和滑阀泵，可对真空室内进行抽气或充气工作，使腔室内部达到大气压强或一定负压强后，基材可进出真空室，便于基材稳定通过各真空室
一种真空镀膜生产线

[发明专利]自移动装置-CN201310362569.8有效
发明人：冯勇兵 -专利权人：科沃斯机器人股份有限公司
申请日： 2013-08-20 - 公布日： 2017-08-15 - 主分类号： A47L1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种自移动装置，包括一底座（B），底座上设有真空吸盘（A）、行走单元（20）和功能单元，真空吸盘包括一侧部（2），侧部与底座密封，并支撑于一吸附物表面（C）上，真空吸盘与吸附物表面之间形成一与真空源相连的负压室（4），随着负压室内压强的逐渐下降，外界大气压与负压室内的压强差将自移动装置压向吸附物表面，真空吸盘包括有一沿真空吸盘径向外延的裙部，裙部内壁所受压强与负压室内压强相同，外壁受大气压强作用将裙部压向吸附物表面本发明的裙部对吸附物表面所产生的压力能够随负压室真空度的增加而增大，不受行走单元接触吸附物表面的影响，从而减小了自移动装置作业过程中跌落的危险。
移动装置

[实用新型]自移动装置-CN201320507699.1有效
发明人：冯勇兵 -专利权人：科沃斯机器人科技（苏州）有限公司
申请日： 2013-08-20 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： A47L1/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自移动装置，包括一底座（B），底座上设有真空吸盘（A）、行走单元（20）和功能单元，真空吸盘包括一侧部（2），侧部与底座密封，并支撑于一吸附物表面（C）上，真空吸盘与吸附物表面之间形成一与真空源相连的负压室（4），随着负压室内压强的逐渐下降，外界大气压与负压室内的压强差将自移动装置压向吸附物表面，真空吸盘包括有一沿真空吸盘径向外延的裙部，裙部内壁所受压强与负压室内压强相同，外壁受大气压强作用将裙部压向吸附物表面本实用新型的裙部对吸附物表面所产生的压力能够随负压室真空度的增加而增大，不受行走单元接触吸附物表面的影响，从而减小了自移动装置作业过程中跌落的危险。
移动装置

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