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[实用新型]一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊-CN201520685123.3有效
发明人：苏建修;贾琛;姚建国;郭竞杰;郑丽媛;王雅慧;张骞;陈佳鹏 -专利权人：河南科技学院
申请日： 2015-09-07 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： B24B37/11 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊，其技术方案要点是：它包括游离磨料抛光辊基体，游离磨料抛光辊的两侧分别设有抛光辊左端支撑机构和抛光辊右端支撑机构，游离磨料抛光辊基体的外侧设有游离磨料抛光辊基体层，游离磨料抛光辊基体层的外侧设有第一粘接层，第一粘接层的外侧设有游离磨料抛光辊的支撑层，在游离磨料抛光辊的支撑层的外侧设有第二粘接层，第二粘接层的外侧设有游离磨料抛光辊的接触层。
一种 roll to 化学机械抛光机游离磨料抛光

[实用新型]电流变效应研磨装置-CN03274129.4无效
发明人：阎秋生 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2003-09-03 - 公布日： 2004-09-01 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及电流变效应研磨装置，由安装在连接电机的主轴上的研磨工具和用于安装工件的连接电机的工作台构成，所述研磨工具由研磨工具基体与研磨工具近旁设置的具有孔洞结构的金属薄片和电流变液及游离磨料组成的研磨剂所构成，本实用新型在研磨工具表面形成的微小游离磨粒球团阵列，游离磨料微粒均匀而稳定地分布于研磨工具表面作用于工件表面，解决了现有研磨技术磨料难以均匀分布于研磨工具与工件界面的难题，施加电场的强度决定微小游离磨料球团的直径和磨料微粒的结合强度，加工过程特征介于固定磨料与游离磨料之间，同时不需要考虑微小游离磨料球团的磨损问题，达到高效率高精度研磨加工的目的。
流变效应研磨装置

[发明专利]电流变效应研磨方法及其研磨装置-CN03140385.9无效
发明人：阎秋生 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2003-09-03 - 公布日： 2005-03-09 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种电流变效应研磨方法及其研磨装置，以粒子分散悬浮型电流变液中加入游离磨料作为研磨剂，以表面具有尖锥体的研磨工具基体为电场一极，在研磨工具基体与工件之间设置具有孔洞结构的金属片作为电场另一极，在两电极之间施加1000~5000V/mm电压，构成研磨工具；本发明在研磨工具表面形成的微小游离磨粒球团阵列，产生了游离磨料微粒均匀而稳定地分布于研磨工具表面作用于工件表面，解决了现有研磨技术磨料难以均匀分布于研磨工具与工件界面的难题，施加电场的强度决定微小游离磨料球团的直径和磨料微粒的结合强度，加工过程特征介于固定磨料与游离磨料之间，同时不需要考虑微小游离磨料球团的磨损问题，达到高效率高精度研磨加工的目的。
流变效应研磨方法及其装置

[发明专利]游离-固结复合磨料多线切割硅片的方法及设备-CN201910790559.1在审
发明人：冯砚博;陈博;高博文 -专利权人：哈尔滨商业大学
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：游离‑固结复合磨料多线切割硅片的方法及设备，属于半导体材料加工技术领域，解决了硅晶体切片存在的问题，游离‑固结复合磨料多线切割硅片的方法包含采用固结磨料多线切割的方法对硅晶锭进行锯切，同时将含有悬浮金刚石磨粒的研磨液喷洒到切割区域；表面固结金刚石磨粒的金属丝在走丝过程中将含有悬浮金刚石磨粒的研磨液带入硅晶锭的切缝中，形成游离磨粒和固结磨粒共同作用，共同对硅晶锭进行锯切，在一次加工过程中将硅晶锭切割成数片；游离‑固结复合磨料多线切割硅片的设备包含游离磨料多线切割设备，在游离磨料多线切割设备的全部金属丝表面固结金刚石磨粒；本发明用于切割硅片。
金刚石磨粒硅晶锭固结多线切割硅片复合磨料游离多线切割设备游离磨料研磨液锯切切割悬浮半导体材料加工金属丝表面表面固结多线切割固结磨粒固结磨料切割区域一次加工游离磨粒硅晶体金属丝硅片切缝切片走丝喷洒

[实用新型]一种游离磨料微细超声加工装置-CN202122125267.1有效
发明人：罗志强 -专利权人：连州市恒兴碳酸钙实业有限公司
申请日： 2021-09-04 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种游离磨料微细超声加工装置，涉及超声加工技术领域，解决了游离磨料加工过程容易四溢，四溢游离磨料造成了浪费，同时四溢的游离磨料会对周围部件造成磨损的问题。一种游离磨料微细超声加工装置，包括底座；所述底座包括有液槽和支撑块，底座中部设置有液槽，底座水平滑动连接有支撑块，支撑块首段滑动至液槽内，支撑块首段设置为一处斜面；横架，所述底座顶部固定安装有横架，横架包括有第一丝杆通过支撑架支撑导板转向垂直，导板阻挡游离磨料的飞溅，避免加工液向四周溢出磨损腐蚀周围配件。
一种游离磨料微细超声加工装置

[发明专利]游离磨料的浆料组合物及使用该组合物的研磨方法-CN00104157.6有效
发明人：铃木康之;贺来智弘;齐藤军夫;折井一也;藤田恭敏;山口正雄;佐佐木正博 -专利权人：东京磁气印刷株式会社;TDK株式会社
申请日： 2000-03-15 - 公布日： 2000-09-20 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种游离磨料浆料组合物,该游离磨料浆料组合物有利于由多种各自有不同硬度的材料构成的复合材料的均匀研磨,不会引起选择性研磨。该游离磨料浆料组合物含有磨料颗粒、防摩擦剂作为防选择性研磨剂、以及分散剂,所述防摩擦剂是其分子链中含有硫和/或磷,或羟基的化合物。
游离磨料浆料组合使用研磨方法

[发明专利]一种用于游离磨料切割的磨粒锯片和锯床-CN201410169833.0有效
发明人：王金生;李子法 -专利权人：王金生;台州职业技术学院
申请日： 2014-04-24 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于游离磨料切割的磨粒锯片和锯床，属于材料切割技术领域。它解决了在采用游离磨料切割方式时普通锯片无法有效的带动磨料接触工件等技术问题。本用于游离磨料切割的磨粒锯片，磨粒锯片边缘具有若干能容纳游离磨粒的甩料凹口，甩料凹口周向均匀分布在磨粒锯片边缘处,甩料凹口沿中心线对称。本用于游离磨料切割的锯床，包括机架、磨粒锯片、转动轴和用于放置待切割工件的切割板，切割板设置在机架上，转动轴转动连接在机架，磨粒锯片固定在转动轴上，机架上固定有喷料管，喷料管上具有若干朝向磨粒锯片的喷料口本发明具有在采用游离磨料切割方式时提高了切割效率的优点。
一种用于游离磨料切割磨粒锯片锯床

[实用新型]一种用于游离磨料切割的磨粒锯片和锯床-CN201420203839.0有效
发明人：王金生;李子法 -专利权人：王金生;台州职业技术学院
申请日： 2014-04-24 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于游离磨料切割的磨粒锯片和锯床，属于材料切割技术领域。它解决了在采用游离磨料切割方式时普通锯片无法有效的带动磨料接触工件等技术问题。本用于游离磨料切割的磨粒锯片，磨粒锯片边缘具有若干能容纳游离磨粒的甩料凹口，甩料凹口周向均匀分布在磨粒锯片边缘处,甩料凹口沿中心线对称。本用于游离磨料切割的锯床，包括机架、磨粒锯片、转动轴和用于放置待切割工件的切割板，切割板设置在机架上，转动轴转动连接在机架，磨粒锯片固定在转动轴上，机架上固定有喷料管，喷料管上具有若干朝向磨粒锯片的喷料口本实用新型具有在采用游离磨料切割方式时提高了切割效率的优点。
一种用于游离磨料切割磨粒锯片锯床

[发明专利]水基游离磨料切割液及其制备方法和应用-CN201710327754.1在审
发明人：李健;董振峰;赵鹏程 -专利权人：济源石晶光电频率技术有限公司
申请日： 2017-05-11 - 公布日： 2017-09-19 - 主分类号： C10M173/02 文献下载
摘要：本发明提供一种水基游离磨料切割液，它的原料包括质量比为（1～3）（0.5～3）0.11.2的切割砂、切割液原液、防锈剂和纯水。本发明还提供一种制备上述水基游离磨料切割液的方法，具体步骤包括首先在搅拌条件下按照上述质量比向切割液原液中加入所述防锈剂和纯水形成原料预混液；然后在搅拌条件下按照上述质量比向所述原料预混液中缓慢加入所述切割砂，制得所述水基游离磨料切割液。该水基游离磨料切割液可作为石英晶片线切割加工工艺中的切割液进行应用。该水基游离磨料切割液能够有效降低晶片表面污渍和损伤应力而且成本低廉。
游离磨料切割及其制备方法应用

[发明专利]一种涂覆游离磨料的线锯切割机-CN201310603698.1有效
发明人：王金生;李子法 -专利权人：王金生;台州职业技术学院
申请日： 2013-11-25 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种涂覆游离磨料的线锯切割机，属于机械技术领域。它解决了现有的线锯切割机中的游离磨料利用率较低的问题。本涂覆游离磨料的线锯切割机通过在线锯上涂覆浆料使磨料附着在线锯表面，在线锯的高速运动过程中，浆料的损失很少，提高了磨料的利用率，降低切割加工成本。
一种游离磨料切割机

[实用新型]一种用于游离磨料线切割的线锯-CN201420207695.6有效
发明人：王金生;汪超;李子法 -专利权人：王金生;台州职业技术学院
申请日： 2014-04-25 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： B23D61/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于游离磨料线切割的线锯，属于材料切割技术领域。它解决了现有用于游离磨料线切割的线锯加工难度很大且切割效率低下等技术问题。本用于游离磨料线切割的线锯，线锯的外周面上具有若干沿线锯轴向分布的凹槽，凹槽与线锯的中轴线平行，凹槽沿线锯的周向均匀分布。本实用新型具有线锯加工方便，且提高了线锯的切割效率优点。
一种用于游离磨料切割

[实用新型]一种涂覆游离磨料的线锯切割机-CN201320751899.1有效
发明人：王金生;李子法 -专利权人：王金生;台州职业技术学院
申请日： 2013-11-25 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种涂覆游离磨料的线锯切割机，属于机械技术领域。它解决了现有的线锯切割机中的游离磨料利用率较低的问题。本涂覆游离磨料的线锯切割机通过在线锯上涂覆浆料使磨料附着在线锯表面，在线锯的高速运动过程中，浆料的损失很少，提高了磨料的利用率，降低切割加工成本。
一种游离磨料切割机

[发明专利]一种金刚线切割硅棒用金刚石研磨液及其制备方法和应用-CN201811001330.7有效
发明人：李飞龙;郭庆红;田云;任钻元;郝东东;熊震;朱军 -专利权人：洛阳阿特斯光伏科技有限公司;苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种金刚线切割硅棒用金刚石研磨液及其制备方法和应用，所述金刚石研磨液包括游离磨料、表面活性剂和水，在所述金刚石研磨液中游离磨料的质量百分含量为0.5‑10％，表面活性剂的质量百分含量为0.1本发明通过对金刚石研磨液中游离磨料、表面活性剂成分含量的配合，使得增强金刚石切割液的切割性能，高加工硅片的表面质量，降低硅片碎片率。
一种金刚切割硅棒用金刚石研磨及其制备方法应用

[发明专利]一种无心磨砂轮的在线修整方法-CN201810501343.4有效
发明人：叶腾飞;吴武山;谷春青 -专利权人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： B24B53/12 文献下载
摘要：该在线修整方法包括以下步骤：以修整砂轮为工件，用无心磨砂轮对修整砂轮进行无心磨削，无心磨削时在磨削部位引入游离磨料。本发明的无心磨砂轮的在线修整方法，主要是以修整砂轮和游离磨料对无心磨砂轮进行在线修整。修整过程中，修整砂轮在外部径向磨削压力作用下能够很好的嵌入无心磨砂轮的结合剂中，使结合剂破碎，从而释放嵌入无心磨砂轮结合剂内部的磨料，在磨削部位引入的游离磨料在挤压力的作用下，利用自身滚动和外力趋势滑动的作用
一种无心磨砂在线修整方法

[发明专利]团簇离子束纳米加工设备及其加工方法-CN202111415713.0在审
发明人：李应高 -专利权人：广东如动纳米科技有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01J37/304 文献下载
摘要：包括进料装置、分级负压发生器、主轴电机、压力腔、物料预处理单元、纳米团簇离子束单元、纳米团簇粒径实时检测单元、出料装置以及电气控制系统；还提供了一种团簇离子束纳米加工方法，包括对所述物料进行预处理，研磨成游离磨料；实时检测所述游离磨料粒径，当所述游离磨料达到亚微米级时，进行偏转、加速和对撞加工，分解成纳米团簇；实时检测所述纳米团簇粒径，满足设定条件时进行卸料。本发明通过实时检测纳米团簇粒径，保证了纳米团簇粒径的一致性和稳定性；采用游离磨料预处理和纳米团簇的能量束碰撞相结合的加工方式，保证纳米材料的粒径和纯度要求，最大限度地减少组份偏差和物相污染。
离子束纳米加工设备及其方法

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