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[发明专利]一种激光定点去除的金刚石平面加工方法及系统-CN202111207011.3有效
发明人：师超钰;朱建辉;徐钰淳;王宁昌;赵延军 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2021-10-15 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光定点去除的金刚石平面加工方法及系统，包括由水平滑台电机驱动的水平单轴位移滑台、线型激光位移传感器、激光去除装置、载物平台和控制装置；首先，本发明利用实时检测金刚石表面高点区域和激光定点加工去除的方式，实现金刚石表面的精准高效非接触式加工，为金刚石表面平坦化加工提供了新方法和新装置，解决了目前行业内金刚石平面加工效率低、易损伤的难题；其次，本发明不受金刚石形状尺寸、材质类别等限制，通用性强，应用范围广；进一步的，本发明可精准控制激光加工的区域和次数，避免产生无效加工和过量加工，不仅大大提高加工效率，还可以有效降低加工成本。
一种激光定点去除金刚石平面加工方法系统

[发明专利]一种金刚石砂轮及其制备工艺-CN202310858988.4在审
发明人：钱灌文;夏珩纹;王礼华;张高亮;左冬华 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2023-07-13 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种金刚石砂轮及其制备工艺，属于磨料砂轮的技术领域，用以解决金刚石砂轮强度低及对新一代半导体材料减薄加工稳定性差的技术问题。金刚石砂轮制备工艺包括以下步骤：(1)将铜锡合金粉、氧化石墨烯、聚醚砜树脂粉、金刚石微粉混合过筛，并加入改性氧化铝空心球，再次过筛得成型料；(2)将成型料装入模具中进行热压烧结成型制得砂轮齿，对砂轮齿内外圆打磨加工制得金刚石砂轮；所述改性氧化铝空心球为表面镀覆SnS薄膜的氧化铝空心球。该金刚石砂轮锋利性好、强度高，能够适应高转速和高进给加工工艺，在对碳化硅等新一代半导体材料磨削加工时具有较高的加工效率和表面质量。
一种金刚石砂轮及其制备工艺

[发明专利]一种高自锐性金刚石砂轮及其制备方法-CN202310567919.8在审
发明人：张高亮;叶腾飞;郭垚峰;钱灌文;左冬华;王礼华 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B24D3/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种高自锐性金刚石砂轮，该砂轮由下述重量百分比的原料制成：金刚石磨料25‑50%、碳化硅磨料10‑30%、混杂改性纤维0.5‑5%、氧化铬粉1‑10%、铬碳化铝粉0.5‑5%、伊利石粉1‑10%和共混改性树脂粉30‑60%。在同等条件下磨削IGBT模组实验块，本发明砂轮的光洁度Ra不超过0.5μm，可耐用6.5h以上，磨削效果要明显优于现有砂轮。
一种金刚石砂轮及其制备方法

[发明专利]一种用于确定单晶材料最优加工方向的方法-CN202010510890.6有效
发明人：闫宁;陆静;徐西鹏;姜峰;王宁昌;徐帅;赵延军;朱建辉 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司;华侨大学
申请日： 2020-06-08 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于确定单晶材料最优加工方向的方法，所述方法为制作单晶材料样品，确定单晶材料样品所有的潜在最优加工方向，对单晶材料沿着每个潜在最优加工方向进行加工；在每次加工中获取用于测评该潜在最优加工方向的评定特征；所述的评定特征包括加工过程中的加工力、加工完成后的表面形貌特征和亚表面损伤层深度；所述的加工力包括切向力和法向力；最后根据评定特征，选择出最优加工方向，提高加工效率和加工的质量。
一种用于确定材料最优加工方向方法

[发明专利]一种基于温度反馈控制的金刚石抛光及参数控制方法-CN202310696012.1在审
发明人：王宁昌;朱建辉;邵俊永;徐钰淳;师超钰 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于温度反馈控制的金刚石抛光及参数控制方法，根据加工所处的阶段，即粗抛或者精抛，在不影响反应条件的前提下，优先考虑加工质量或者加工效率，参数调整的时候考虑先后顺序，解决了大尺寸晶圆加工不能同时测量加工力和加工温度的难题，进而解决了在端面抛光中以加工温度为约束的情况下，在保证抛光质量的同时，进一步提高了抛光的效率。
一种基于温度反馈控制金刚石抛光参数方法

[发明专利]一种改善气体分布的沉积室及MPCVD装置-CN201910578435.7有效
发明人：闫宁;吴啸;范波;常豪锋 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司;精工锐意科技（河南）有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C16/517 文献下载
摘要：本发明属于微波等离子体化学气相沉积技术领域，具体涉及一种改善气体分布的沉积室及MPCVD装置。沉积室包括基部、外罩体及沉积台；所述外罩体密封安装在基部上，以与所述基部围成反应腔；所述沉积台，设置在基部的朝向反应腔的一侧；所述基部上设有与所述反应腔连通的进气通道和排气通道；改善气体分布的沉积室还包括处于外罩体内侧、并向反应腔上部延伸的导气通道；所述导气通道与所述进气通道对接连通；所述导气通道上部与反应腔连通，以将进气通道输入的气体引导至反应腔上部。导气通道将进入沉积室内的气体向上引导，确保气体在从排气通道排出前经过沉积台，提高气体的利用率，同时提高沉积装置的反应效率。
一种改善气体分布沉积 mpcvd 装置

[发明专利]一种基于压力调节的多晶金刚石研磨方法-CN202310679786.3在审
发明人：王宁昌;朱建辉;邵俊永;徐钰淳;师超钰 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于压力调节的多晶金刚石研磨方法，通过压力调节进行多晶金刚石研磨加工参数设定，将被加工的多晶金刚石根据高度分成多层，并根据材料的临界断裂强度以及加工面积设定每层的加工载荷，使整个加工过程的载荷都在材料产生裂纹等损伤的临界状态，使得加工效率的最大化，同时保证研磨的过程中不带来亚表面的裂纹及其他损伤；具有快速、低成本、操作性强等特点，可以用于不同生长方式、不同尺寸多晶金刚石的研磨加工，为优化材料加工参数，缩短加工时间、提高良品率有一定的指导意义。
一种基于压力调节多晶金刚石研磨方法

[发明专利]一种电镀砂轮用上砂夹具、电镀超硬材料砂轮及制造方法-CN202110365503.9有效
发明人：王永宝;刘天立;王江涛;付林泊;李玉庆;胡玉峰;吴珂 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2021-04-06 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种电镀砂轮用上砂夹具、电镀超硬材料砂轮及制造方法，通过设计专用上砂夹具，实现复杂型面磨料均匀分布的目标，降低砂轮磨削凸线、划痕缺陷发生概率；所述夹具支架上设有筛网和磨料遮挡板，磨料遮挡板上依次设有左端毛刷、中间毛刷和右端毛刷，所述磨料遮挡板下端内侧设有两侧毛刷。利用本发明装置制备的砂轮的使用线速度可以达到180m/s，磨削进给量达到70mm/min，远远大于普磨砂轮。磨削的气门表面没有烧伤和裂纹，粗糙度Rz可达10μm以下，满足工件表面质量要求。
一种电镀砂轮用上夹具材料制造方法

[发明专利]一种高性能聚晶金刚石的制备工艺-CN202310311680.8在审
发明人：韩丹辉;彭冲;刘俊龙;周广通 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C04B35/528 文献下载
摘要：本发明属于金刚石复合材料制备技术领域，具体涉及一种高性能聚晶金刚石的制备工艺。所述制备工艺，包括净化处理、混料、球磨、压制、烧结等工序。本发明通过配方优化和工艺调整，采用不同粒径的金刚石微粉，通过熔盐法对金刚石表面进行刻蚀，一方面增加了金刚石表面的粗糙度，另一方面，小粒径的金刚石可以填充于大颗粒金刚石空隙中，提高了金刚石颗粒之间的接触面积，制备过程中金刚石微粉、碳化硼与钛粉在结合过程中会获得新的衍生物，可以进一步促进聚晶金刚石的热稳定性和耐磨性，弥补了传统聚晶金刚石热稳定性差、韧性不足的问题。
一种性能金刚石制备工艺

[发明专利]一种天线位置可调的波导模式转换器及MPCVD装置-CN201910580193.5有效
发明人：吴啸;常豪锋;蔡玉珺;郭兴星 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C16/511 文献下载
摘要：本发明涉及一种天线位置可调的波导模式转换器及MPCVD装置。MPCVD装置包括设置在输送波导管路与谐振腔之间的波导模式转换器，波导模式转换器包括转换波导管段、天线、支撑滑台及升降驱动装置，转换波导管段用于转接布置在MPCVD装置的输送波导管路与谐振腔之间，天线沿上下方向导向可升降的装配在所述转换波导管段中，天线穿出所述转换波导管段并与所述支撑滑台固定装配，升降驱动装置与支撑滑台滑动连接，以驱使所述支撑滑台带动天线升降调整至设定目标位置。天线固定装配在支撑滑台上，通过升降驱动装置可驱动支撑滑台带动天线升降调整，以实现天线高度位置的调节，使波导模式转换器较容易满足最佳结构，从而提高MPCVD装置中微波的转换效率。
一种天线位置可调波导模式转换器 mpcvd 装置

[外观设计]超高压油泵-CN202330183430.1有效
发明人：古龙辉;肖双勇;张跃亭;祁路方;司少朋;王跃桦 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： 15-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：超高压油泵。2.本外观设计产品的用途：本产品用于人造超硬材料行业超高压液压系统的超压、补压。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
超高压油泵

[发明专利]激光抛光金刚石表面微观地貌和粗糙度模拟预测分析方法-CN202310606147.4在审
发明人：师超钰;朱建辉;邵俊永;郭泫洋;徐钰淳;王宁昌 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G16C60/00 文献下载
摘要：本发明提出了激光抛光金刚石表面微观地貌和粗糙度模拟预测分析方法，包括以下步骤：创建激光参数与激光光斑尺寸和功率密度的映射关系数据表；建立激光光斑功率密度、脉宽、激光入射角与金刚石表面烧蚀坑深度的映射关系模型图；构建激光光斑堆叠状态的分析模型；生成激光抛光金刚石表面微观地貌的模拟图像；预测激光抛光金刚石表面的粗糙度。本发明将激光光斑功率、脉宽、重复频率、离焦量、入射角、横向扫描速率、纵向步进间隔等加工参数作为输入，将激光抛光金刚石表面微观地貌和粗糙度结果作为输出，通过烧蚀坑的尺寸、光斑扫描路径和光斑堆叠状态的模拟分析，建立输入参数和输出结果的映射关系，指导激光抛光工艺参数优化。
激光抛光金刚石表面微观地貌粗糙模拟预测分析方法

[发明专利]一种制备纳米碳化物颗粒弥散强化合金粉末的方法-CN202111072814.2有效
发明人：黎克楠;阳东林;冯圆茹;刘永胜 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B22F1/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种制备纳米碳化物颗粒弥散强化合金粉末的方法，包括：1）依据合金设计要求，在合金中添加碳化物形成元素；2）制备含碳化物形成元素的合金粉末；3）对合金粉末进行热处理以使表面形成碳化物层；4）在真空或惰性气氛下，对步骤3）热处理后的产物进行机械球磨，球磨时间1‑5h。本发明的粉末中弥散分布有纳米级碳化物，烧结后无需进行热处理即可得到细小碳化物弥散分布的合金材料，避免了高温热处理导致的晶粒粗化，以及碳化物的长大。而且，合金基体碳含量很低，仍然维持良好的塑性，这为开发高强高塑性的合金材料提供了新的思路。
一种制备纳米碳化物颗粒弥散强化合金粉末方法

[发明专利]一种用于金刚石表面平坦化加工的激光加工装置及方法-CN202110529102.2有效
发明人：朱建辉;师超钰;王宁昌;徐钰淳;赵延军 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B23K26/352 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种用于金刚石表面平坦化加工的激光加工装置及方法，包括用于对待加工金刚石表面高点进行削平处理的激光系统组件、用于固定待加工金刚石且能够沿X轴、Y轴方向运动以及自身进行旋转的加工平台组件、用于对待加工金刚石表面形貌进行检测的同轴光位移传感器、用于调控加工和检测过程以及处理分析数据的数控系统，利用激光倾斜角度拉大离焦量范围，使高点多去除、低点少去除，实现金刚石表面高效率平坦化加工，解决目前金刚石表面难加工、效率低、易损伤的难题。
一种用于金刚石表面平坦加工激光装置方法

[发明专利]一种高硬脆材料磨削用金刚石砂轮及其制备方法-CN202310385682.1在审
发明人：张高亮;夏珩纹;王礼华;钱灌文;吴晓磊;赵延军 -专利权人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B24D3/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种高硬脆材料磨削用金刚石砂轮，按体积份计，其主要由以下组分制成：Sb‑Cu‑Sn预合金粉体20~50份，CaSnF6负膨胀粉体5~15份，聚芳砜树脂粉10~40份，Ta4HfC5纳米碳化物颗粒5~20份，金刚石磨料10~30份。该金刚石砂轮锋利性强、自锐性好，使用寿命长，在对高硬脆材料磨削加工时具有较高的加工效率和表面质量。
一种高硬脆材料磨削金刚石砂轮及其制备方法

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