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[发明专利]消除区熔用硅棒内部应力的方法-CN202310144377.3在审
发明人：高召帅 -专利权人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明公开了消除区熔用硅棒内部应力的方法。该方法包括：在第一时间阶段内，将反应器中的三氯氢硅流量调节至第一流量，将反应器中的氢气流量调节至第二流量，维持区熔用硅棒的温度为第一温度；在第二时间阶段内，维持反应器中的三氯氢硅流量为第一流量，维持反应器中的氢气流量为第二流量，维持区熔用硅棒的温度为第一温度；在第三时间阶段内，将区熔用硅棒的温度调节至第二温度；在第四时间阶段内，维持区熔用硅棒的温度为第二温度；在第五时间阶段内，将区熔用硅棒的温度调节至第三温度。该方法通过同时控制反应器内的三氯氢硅流量、氢气流量以及硅棒温度，可以有效消除区熔用硅棒内部的残余应力，保证硅棒具有良好的机械性能。
消除区熔用硅棒内部应力方法

[发明专利]一种大尺寸单晶硅方棒磨削加工方法-CN201910831678.7在审
发明人：匡文军;马洋;郭鑫乐;梁志慧;蔺永生;贡艺强;史彦龙;高润飞;谷守伟;徐强 -专利权人：内蒙古中环光伏材料有限公司
申请日： 2019-09-04 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种大尺寸单晶硅方棒磨削加工方法，包括以下步骤：将切方后的毛坯硅方棒放置到磨削机上，依次用粗砂轮对所述硅方棒进行粗磨加工和用精砂轮对所述硅方棒进行精磨加工；所述粗磨加工和所述精磨加工均包括对所述硅方棒的倒角和平面进行磨削加工本发明设计的磨削加工方法，尤其是适用于横截面对角尺寸为230‑310mm的大尺寸硅方棒单晶的磨削加工，可降低硅方棒表面出现的砂轮印，硅方棒表面粗糙度合格且一致性较好，保证硅方棒产品质量，提高硅方棒的合格率
方棒磨削加工砂轮加工粗磨精磨表面粗糙度单晶硅对角粗砂轮毛坯单晶倒角磨削切方合格率保证

[实用新型]一种硅棒切割用晶托-CN201420604680.3有效
发明人：胥大鹏;何江涛;李晓建;李斌全;解士超;李达志;李小刚;欧哲舜;戴璐 -专利权人：无锡隆基硅材料有限公司
申请日： 2014-10-20 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：一种硅棒切割用晶托，包括晶托底座和玻璃板，所述玻璃板一侧与所述晶托底座粘贴，另一侧与硅棒粘贴，其特征在于：所述玻璃板的厚度为硅棒宽度的9%~12%。本实用新型所述的硅棒切割用晶托，加大了玻璃板的厚度，使钢丝允许切割深度加大，保证了硅棒能够充分切透，解决了因钢丝出现线弓导致硅棒切割不透的问题。
一种切割用晶托

[发明专利]太阳能硅片制备系统中的切割方法-CN201110440565.8无效
发明人：姚鹏;顾锡淼;钱腾达 -专利权人：嘉兴优太太阳能有限公司
申请日： 2011-12-26 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种太阳能硅片制备系统中的切割方法，包括如下步骤：步骤A：用去离子水分别清洗硅棒和垫板的表面；步骤B：用丙酮清洗硅棒的表面；步骤C：用若碱液清洗垫板的表面；步骤D：用丙酮擦洗垫板的表面；步骤E：将粘合剂先涂在垫板的表面，然后涂在硅棒的表面；步骤F：在4分钟内将垫板和硅棒粘合。优选地，步骤G：用丙酮冲洗粘合后的硅棒和垫板，并使用50摄氏度的干燥氮气吹干。优选地，所述粘合剂为按1∶4.8配制的环氧树脂。本发明可以降低硅棒的损耗，使得表面保持较高的光洁度，并且硅棒和垫板的粘合度牢强。
太阳能硅片制备系统中的切割方法

[发明专利]多晶硅棒-CN201910431751.1在审
发明人：星野成大;祢津茂义;冈田哲郎;石田昌彦 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2019-05-23 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明提供适合作为单晶硅制造用原料的多晶硅棒。从由西门子法培育出的多晶硅棒中采集晶片(评价试样)，筛选出粒径为100nm以下的大小的晶粒以面积比例计占3％以上的多晶硅棒作为单晶硅制造用原料。使用这种多晶硅棒作为原料并通过FZ法来培育单晶硅时，可显著抑制位错的发生。
多晶硅棒单晶硅晶粒西门子法晶片粒径位错培育制造采集筛选

[实用新型]一种滚磨机用硅棒输送装置-CN201820770115.2有效
发明人：王永超;郭城;吕明;李忠泉 -专利权人：济南科盛电子有限公司
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： B24B41/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅棒外圆滚磨加工领域，尤其是一种滚磨机用硅棒输送装置。该滚磨机用硅棒输送装置，包括平衡对中送棒机构和硅棒推送机构，平衡对中送棒机构包括支撑座、设置于支撑座顶端的滑轨、左右滑动设置于滑轨上的滑座、底端固定于滑座顶端的第一伸缩杆、与第一伸缩杆顶端固定连接的顶部安装座、后端与顶部安装座前侧面固定连接的第二伸缩杆和固定于第二伸缩杆前端的可调式平衡支撑结构，硅棒推送机构设置于可调式平衡支撑结构的左侧或右侧。本实用新型的一种滚磨机用硅棒输送装置结构简单，使用方便，制作成本低，针对不同尺寸的硅棒灵活更换硅棒支撑爪，且更换过程中易于控制其平衡性。
硅棒输送装置滚磨机伸缩杆平衡支撑结构本实用新型顶部安装送棒机构推送机构可调式支撑座滑轨滑座伸缩杆顶端单晶硅棒左右滑动平衡性前侧面支撑爪底端滚磨平衡外圆灵活加工制作

[发明专利]一种便于取用硅棒的硅棒生产用存放架-CN201710956731.7在审
发明人：吕伟南 -专利权人：江苏秉宸科技有限公司
申请日： 2017-10-16 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： B25H3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种便于取用硅棒的硅棒生产用存放架，包括放置板、支撑柱和加热元件，所述放置板上开设有导向孔，所述支撑柱上开设有固定插孔，所述导向套筒通过锁紧旋钮与固定插孔相互连接，所述支撑柱的上端设置有螺纹接头该便于取用硅棒的硅棒生产用存放架，将硅棒分开来摆放，便于对硅棒进行分类管理，实现放置板高度的调节，可对不同规格的硅棒进行摆放，对存放筒进行干燥，确保硅棒上的铝头不会受潮变质，从而提高了硅棒的使用寿命。
一种便于取用生产存放

[实用新型]一种硅棒切割用固定装置-CN202120048249.5有效
发明人：祝凯 -专利权人：开化晶芯电子有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅棒技术领域，且公开了一种硅棒切割用固定装置，包括底板和液压缸，所述底板的底部固定连接有支撑柱，所述底板的顶部固定连接有固定座，所述固定座的顶部开设有弧形放置槽，所述弧形放置槽的内部设置有硅棒该硅棒切割用固定装置，通过将硅棒放置在弧形放置槽的内部，并根据硅棒的尺寸大小，对活动杆的位置和连接板的高度进行调整，从而使得连接杆上的夹板与硅棒的顶部的两侧进行夹持固定，从而可以将硅棒固定在弧形放置槽的内部，且可以对不同尺寸大小的硅棒进行夹持固定，使用效果较好，且不需要通过多个固定装置来对不同尺寸的硅棒进行固定，从而节省成本。
一种切割固定装置

[发明专利]多晶硅棒以及多晶硅棒的制造方法-CN201180033481.0有效
发明人：祢津茂义;久米史高;冈田淳一 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2011-07-04 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： G01N29/12 文献下载
摘要：本发明通过简便地挑选较硬的多晶硅棒，提供不易破裂的高品质的多晶硅棒。用卷尺测定多晶硅棒(100)的长度，接着，用锤(120)进行多晶硅棒(100)的敲击，将该敲击音通过传声器(130)收录到录音器(140)中。然后，对敲击音的音响信号进行快速傅立叶变换，显示频率分布。求出多晶硅棒的长度(L)与峰值频率f的关系，通过峰值频率f是否属于f≥1471/L的区域(A区域)来判断多晶硅棒的硬度。
多晶以及制造方法

[发明专利]一种单晶方棒的对半切割装置及方法-CN202310168329.8在审
发明人：岳维维;曹建忠;高发军 -专利权人：常州时创能源股份有限公司
申请日： 2023-02-25 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶方棒的对半切割装置及方法，直接采用原用于制备整片硅片的单晶方棒，并沿单晶方棒长度方向将单晶方棒直接对半切割出两个小硅块，可大大提升半片用小硅块的加工能力，实现小硅块多渠道的原料来源，降低原料单一带来的制造风险，还使半片用小硅块的加工工序更简便，降低半片用小硅块的加工成本。
一种单晶方棒对半切割装置方法

[发明专利]一种硅棒切割用环氧树脂胶及其制备方法-CN201210258425.3无效
发明人：陶宇;王标兵;王留阳 -专利权人：常州大学
申请日： 2012-07-25 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： C09J163/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅棒切割用环氧树脂胶及其制备方法，这种环氧树脂胶能够广泛应用于单晶或是多晶硅棒的切割。所述的硅棒切割用环氧树脂胶，通过核壳结构增韧剂的加入，大大增强了胶在硅棒上的粘结强度，脱胶添加剂在60ºC热水中会与水反应生成气体，气体的产生会破坏粘结结构，保证脱胶过程能短时、干净地进行，并且不对硅片产生任何损伤；这一粘结过程和脱胶过程在单晶与多晶结构的硅棒上的表现是相同的，因此这种硅棒切割用环氧树脂胶具有很强的普适性，为硅片切割产业的发展具有重要的作用。
一种切割环氧树脂及其制备方法

[发明专利]一种硅棒的硬度评估方法-CN201711485369.6在审
发明人：李飞龙;谷宁宁;熊震;朱军;邢国强 -专利权人：洛阳阿特斯光伏科技有限公司
申请日： 2017-12-30 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： G01N3/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅棒硬度的评估方法，所述方法包括：(1)切取硅晶体，得到至少两块硅棒；(2)从至少两块硅棒中选定参考硅棒并分别测量参考硅棒的硬度，得到参考硅棒的硬度数据，根据参考硅棒的硬度数据评估所有硅棒硬度本发明的方法通过选择硅棒特定区域进行显微硬度测试，根据硅棒的硬度测试结果，将多晶硅棒分为正常硬度、高硬度和超高硬度三类硅棒，针对不同硬度的硅棒，采用相应的切割用线工艺，可以避免不同硬度硅棒导致的金刚石磨损不均匀
硅棒参考切割硬度数据金刚线多晶良率切片显微硬度测试硬度测试结果金刚石磨损超高硬度多晶硅棒硬度评估不均匀高硬度硅晶体评估断线切取测量

[实用新型]一种新能源电池生产用单晶硅棒多级酸洗设备-CN201820640245.4有效
发明人：段美军 -专利权人：贵州航盛时代科技有限公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种新能源电池生产用单晶硅棒多级酸洗设备，涉及新能源设备领域。该新能源电池生产用单晶硅棒多级酸洗设备，包括机箱，机箱的底部固定连接有底座，机箱的顶部活动连接有顶盖，机箱的正面固定连接有操作台，操作台的正面分别设置有升降开关、酸洗开关和烘干开关，机箱的内部从左到右分别设置有酸洗池和烘干池该新能源电池生产用单晶硅棒多级酸洗设备，设置有酸洗池和烘干池，通过酸洗池可以对单晶硅棒进行酸洗，通过烘干池可以对单晶硅棒进行烘干，相比传统的单功能的单晶硅棒酸洗设备使用更方便，可以同时对单晶硅棒进行酸洗和烘干
单晶硅棒机箱酸洗设备电池生产烘干池酸洗池新能源烘干酸洗操作台本实用新型活动连接有新能源设备升降开关正面固定顶盖传统的单功能内壁底座

[实用新型]一种硅棒生产用夹具-CN201720877927.2有效
发明人：关云生;匡文军;张瑞祥;侯占军;邢玉军;惠宇翔 -专利权人：内蒙古中环光伏材料有限公司
申请日： 2017-07-19 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅棒生产用夹具，包括四爪卡盘结构，该四爪卡盘结构包括一圆形卡盘及设置在该圆形卡盘上的四个卡爪，每一个所述卡爪夹紧侧面设有弹性防护层。本实用新型所述的一种硅棒生产用夹具，通过在卡爪夹紧面设置弹性防护层，使得卡爪夹紧硅棒时进行了缓冲，减少硅棒崩损的发生概率，对硅棒起到很好保护作用。
硅棒夹具卡爪夹紧本实用新型弹性防护层四爪卡盘圆形卡盘发生概率缓冲卡爪生产侧面

[实用新型]一种单晶硅棒生产用硅棒夹持固定装置-CN202122865130.X有效
发明人：蒋大伟;刘敏;赵奋章 -专利权人：泗阳晶品电子材料有限公司
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅棒生产用硅棒夹持固定装置，属于硅棒生产夹持器械技术领域，其技术方案要点包括底板，所述底板的上端面贯穿开设有两个左右分布的滑槽；夹持机构，所述夹持机构设置于底板的上方，用于夹持不同直径的硅棒，通过驱动装置带动滑杆在滑槽的内部滑动，使得两个夹具相互靠近将硅棒加紧，此时，通过防滑垫增加夹具与硅棒之间的摩擦力，同时避免夹具将硅棒夹坏的问题，通过夹具呈“U”型，使得夹具在夹紧硅棒时，当硅棒外侧壁抵在夹具的内侧壁即可将硅棒加紧，进而通过夹具的形状设置，使得装置可以夹紧不同直径的硅棒。
一种单晶硅生产用硅棒夹持固定装置

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