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[发明专利]波长可调谐激光器-CN200610058343.9无效
发明人：山崎裕幸 -专利权人：日本电气株式会社
申请日： 2006-03-03 - 公布日： 2006-09-06 - 主分类号： H01S3/083 文献下载
摘要：本发明提供一种能够降低消耗功率、工作稳定的波长可调谐激光器。波长可调谐激光器(10)具有：多重环形谐振器(20)；与环形谐振器(21)连接的输入输出侧波导(11)；与环形谐振器(22)连接的反射侧波导(12)；形成有多重环形谐振器(20)、输入输出侧波导(11)和反射侧波导(12)的PLC衬底(13)；设在反射侧波导(12)中的高反射膜(14)；经由抗反射膜(15)与输入输出侧波导(11)连接的SOA(16)；设在用于波长调谐的环状波导(22a)上的PLC衬底(13)的表面上，并向用于波长调谐的环状波导(22a)供热的膜状加热器(22h)；抑制从膜状加热器(22h)供给的热量向除了用于波长调谐的环状波导(22a)的PLC基板(13)传导的隔热槽(22b、22c
波长调谐激光器

[发明专利]波长可调谐激光器-CN201880090852.0有效
发明人：赵家霖;陈微;宋小鹿 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2018-04-09 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01S5/14 文献下载
摘要：本申请揭示了一种波长可调谐激光器。该波长可调谐激光器包括反射式半导体光放大器、三个耦合器和至少两个微环谐振器；其中，所述反射式半导体光放大器跟所述第一耦合器的一个端口连接，所述第一耦合器的另一端口和所述第二耦合器的一个端口之间放置所述至少两个微环谐振器中的部分微环谐振器，所述第一耦合器的第三端口和所述第二耦合器的第二端口之间放置所述至少两个微环谐振器中的另一部分微环谐振器，所述第二耦合器的第三端口和第四端口跟所述第三耦合器的两个端口连接。通过对称设计，本申请揭示的波长可调谐激光器可以提高光信号输出效率。
波长调谐激光器

[发明专利]波长可调谐激光器-CN202210219988.5在审
发明人：陈亦凡;严亭 -专利权人：苏州易锐光电科技有限公司;易锐光电科技（安徽）有限公司;江苏易容光电科技有限公司
申请日： 2022-03-08 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种波长可调谐激光器。型波导的第二个端口光学耦合，第一SGDBR第二端、第二SGDBR的第二端及两者之间的光波导回路构成光学谐振腔；第一SGDBR的采样周期和第二SGDBR的采样周期不同，第一SGDBR的波导折射率和/或第二SGDBR的波导折射率可调这种通过芯片间混合集成实现的串联式SGDBR波长可调谐激光器，既实现了宽谱波长调谐功能和高边模抑制比性能，还降低了激光器的工艺难度和制作成本，进一步地，若第二芯片采用薄膜铌酸锂晶圆还可集成高速电光调制器，实现宽带调制、啁啾可调的激光器。
波长调谐激光器

[发明专利]波长可调谐激光器-CN201780097292.7有效
发明人：尹基洪 -专利权人：光电子学解决方案公司
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01S5/10 文献下载
摘要：根据实施方式，公开了包括增益区和波长可调谐区的波长可调谐激光器。该波长可调谐区包括：下包层；位于下包层上的无源光波导；位于无源光波导上的上包层；位于上包层上的驱动电极；位于驱动电极上的电流阻挡层；位于电流阻挡层上的加热器；彼此相对设置的第一绝缘槽和第二绝缘槽，并且第一绝缘槽和第二绝缘槽之间设置有无源光波导
波长调谐激光器

[实用新型]波长可调谐激光器-CN202222039336.1有效
发明人：熊钊颀;张楠;朱江杰;黄少茹;陈乐 -专利权人：深圳市杰普特光电股份有限公司
申请日： 2022-08-02 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种波长可调谐激光器，包括依次设置的第一光纤准直器、第一波片组、光隔离器、第二波片组、光栅对、第二光纤准直器和泵浦源；所述第一光纤准直器和所述第二光纤准直器一端相对设置，另一端通过光纤与所述泵浦源连接，形成环路；所述泵浦源用于作为光源将激光打入所述环路；所述第一光纤准直器和所述第二光纤准直器都设置有调节器，用于控制所述第一光纤准直器和所述第二光纤准直器的位置，以进行激光波长调谐；所述光隔离器用于控制光在所述环路的传播方向可以简单调谐激光器波长，增加寿命。
波长调谐激光器

[发明专利]波长可调谐曝光机对准系统及其对准方法-CN201811110447.9在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种波长可调谐曝光机对准系统和方法，该对准系统包括：光源部件，所述光源部件包括第一波长可调谐激光器和第二波光可调谐激光器，以及波长信号控制器，其中第一波长可调谐激光器和第二波长可调谐激光器能够提供可调谐波长的激光，波长信号控制器控制第一波长可调谐激光器和第二波长可调谐激光器发出指定波段的激光。本发明的波长可调谐曝光机对准系统可以通过调节光源的波长来选择或优化用于对准图样的光源，从而得到更好或者更稳定的产品套刻表现；此外，还可以提供补救方案来应对工艺不稳定而造成的对准图形异常的情况。
波长调谐曝光对准系统及其方法

[实用新型]波长可调谐曝光机对准系统-CN201821567135.6有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种波长可调谐曝光机对准系统，该对准系统包括：光源部件，所述光源部件包括第一波长可调谐激光器和第二波光可调谐激光器，以及波长信号控制器，其中第一波长可调谐激光器和第二波长可调谐激光器能够提供可调谐波长的激光，波长信号控制器控制第一波长可调谐激光器和第二波长可调谐激光器发出指定波段的激光。本实用新型的波长可调谐曝光机对准系统可以通过调节光源的波长来选择或优化用于对准图样的光源，从而得到更好或者更稳定的产品套刻表现；此外，还可以提供补救方案来应对工艺不稳定而造成的对准图形异常的情况。
波长可调谐激光器对准系统波长可调谐曝光机本实用新型波长信号光源部件波长光源激光可调谐激光器控制器控制对准图形控制器可调谐波段套刻图样补救对准优化表现

[发明专利]用于调整光网络元件的可调谐激光器的方法和装置-CN200980163250.4有效
发明人： E.戈特瓦尔德;H.罗德;S.斯莫洛尔茨 -专利权人：诺基亚西门子通信公司
申请日： 2009-11-04 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： H04B10/20 文献下载
摘要：提供了一种用于调整光网络元件的可调谐激光器的方法和装置，其中通过改变驱动可调谐激光器的电流调整可调谐激光器的波长；以及其中通过相对于环境温度改变可调谐激光器或者其至少一部分的温度调整可调谐激光器的波长。
用于调整网络元件调谐激光器方法装置

[发明专利]SG-DBR可调谐激光器模块及其控制方法-CN201310189630.3无效
发明人：柯威;解树明;张秀强;朱付金;顾共恩 -专利权人：武汉奥新科技有限公司
申请日： 2013-05-21 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： H04B10/572 文献下载
摘要：本发明公开了一种SG-DBR可调谐激光器模块及其控制方法，包括：SG-DBR可调谐激光器：用于输出一定带宽内的不同波长；PCBA电路板：用于采集SG-DBR可调谐激光器的电流和温度后，并根据所述电流和温度调整SG-DBR可调谐激光器的电流和温度；本发明通过对PCBA电路板进行线性测试，经单片机采样5个第一精密电阻的电压值，经数据处理后转换SG-DBR可调谐激光器的电流-波长对应数据，安装SG-DBR可调谐激光器，之后进行波长调谐测试。本发明实现了波长自动控制，控制方法简单，波长、功率稳定，电路简单易实现，波长调谐范围宽。
sg dbr 调谐激光器模块及其控制方法

[实用新型]一种温度控制DS-DBR可调谐激光器波长检测装置-CN201920011167.6有效
发明人：张建平;黄沃彬;刘东昌;谢建毫 -专利权人：深圳伊讯科技有限公司
申请日： 2019-01-04 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： H01S5/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种温度控制DS‑DBR可调谐激光器波长检测装置，包括微处理器、电流驱动电路1、电流驱动电路2、1*8模拟开关、波长校正模块、温度控制模块、DS‑DBR可调谐激光器、数据存储器；所述微处理器与所述电流驱动电路1、所述1*8模拟开关、所述DS‑DBR可调谐激光器依次相连，所述微处理器与所述波长校正电路2、所述DS‑DBR可调谐激光器依次相连，所述微处理器与所述波长校正模块、所述DS‑DBR可调谐激光器依次相连，所述温度控制模块与所述DS‑DBR可调谐激光器相连，所述微处理器与数据存储器相连。有益效果是：实现了波长自动控制，控制方法简单，波长、功率稳定，电路简单易实现，波长调谐范围宽，同时实现自动波长校正功能，修正激光器老化引起的波长偏移。
可调谐激光器微处理器电流驱动电路依次相连波长检测装置波长校正模块温度控制模块数据存储器模拟开关波长电路本实用新型波长调谐波长偏移波长校正功率稳定校正功能自动波长激光器老化修正

[发明专利]一种波长可调谐半导体激光器-CN201910935323.2在审
发明人：陈志标 -专利权人：武汉云岭光电有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： H01S5/12 文献下载
摘要：本发明涉及DFB半导体激光器技术领域，提供了一种波长可调谐半导体激光器，包括DFB激光器结构、波长调谐器结构以及隧道结结构，所述DFB激光器结构和所述波长调谐器结构通过所述隧道结结构集成，所述隧道结结构位于所述DFB激光器结构和所述波长调谐器结构之间，所述DFB激光器结构、所述隧道结结构以及所述波长调谐器结构沿高度方向叠设。本发明的一种波长可调谐半导体激光器，通过在高度方向叠设制作的方式，只需要一次外延生长即可得到可调谐激光器，简化了制作工艺，降低了成本。
波长调谐器隧道结结构波长可调谐半导体激光器叠设半导体激光器可调谐激光器一次外延制作工艺生长制作

[实用新型]一种波长可调谐半导体激光器-CN201921645773.X有效
发明人：陈志标 -专利权人：武汉云岭光电有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： H01S5/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及DFB半导体激光器技术领域，提供了一种波长可调谐半导体激光器，包括DFB激光器结构、波长调谐器结构以及隧道结结构，所述DFB激光器结构和所述波长调谐器结构通过所述隧道结结构集成，所述隧道结结构位于所述DFB激光器结构和所述波长调谐器结构之间，所述DFB激光器结构、所述隧道结结构以及所述波长调谐器结构沿高度方向叠设。本实用新型的一种波长可调谐半导体激光器，通过在高度方向叠设制作的方式，只需要一次外延生长即可得到可调谐激光器，简化了制作工艺，降低了成本。
一种波长调谐半导体激光器

[发明专利]一种波长可调谐的红光激光器及波长调谐方法-CN201510956887.6在审
发明人：周明飞 -专利权人：南京雨花肿瘤防治研究所
申请日： 2015-12-18 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： H01S5/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种波长可调谐的红光激光器及波长调谐方法。该波长可调谐的红光激光器由依次设置在同一轴线上的DBR激光器、掺Yb光纤激光器、波导倍频器和光参量振荡器组成，所述DBR激光器与掺Yb光纤激光器之间安装有隔离器，DBR激光器、隔离器、掺Yb光纤激光器、该方法包括：a、采用DBR激光器产生波长可调谐的种子光；b、掺Yb光纤激光器对注入光源进行调Q产生脉冲激光；c、输出激光进入波导式啁啾周期超晶格中进行倍频，产生平均功率20W的500nm-530nm波长可调谐绿光；d、光参量振荡器中的波导结构超晶格进行频率转换，输出600nm-700nm红色可调谐激光。本发明结构简单、性能稳定、可靠性好、波长调谐速度快。
一种波长调谐红光激光器方法

[发明专利]一种DBR可调谐激光器的波长在线校准装置及方法-CN201711393885.6有效
发明人：王明超;唐才杰;王学锋;蓝天 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： H01S5/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种DBR可调谐激光器的波长在线校准装置及方法。其中，该装置包括耦合器、干涉仪、光电探测器、信号采集处理电路以及激光器驱动电路。其中，干涉仪的反射光谱为余弦型，DBR可调谐激光器输出波长均设置到干涉仪反射光谱的π/2相位处，当信号采集处理电路采集到的光信号偏离π/2相位处时，将新产生的DBR可调谐激光器控制参数给激光器驱动电路，使其改变DBR可调谐激光器控制电流，从而使得DBR可调谐激光器输出波长一直锁定在干涉仪反射光谱的π/2相位处。本发明引入干涉仪对DBR可调谐激光器的波长进行监测和反馈控制，可有效减小DBR可调谐激光器长期使用中的波长控制误差。
可调谐激光器干涉仪反射光谱波长信号采集处理电路激光器驱动电路在线校准装置输出波长光电探测器波长控制反馈控制控制参数控制电流信号偏离耦合器减小余弦锁定采集干涉监测引入

[发明专利]一种可调谐激光器的波长控制电极参数设定方法和装置-CN201710339204.1有效
发明人：赵建宜;张明洋;王任凡 -专利权人：武汉光迅科技股份有限公司
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H01S5/06 文献下载
摘要：本发明涉及可调谐激光器技术领域，提供了一种可调谐激光器的波长控制电极参数设定方法和装置。其中方法包括设置可调谐带通滤波器中心波长至可调谐激光器待表征波长；根据可调谐激光器波长控制电极参数范围，生成初始控制信号组合，并输入可调谐激光器；根据光探测器分别探测获得滤波光路光强信息P1和参考光路光强信息本发明实施例有效的降低了现有技术中通过光谱仪测试带来的耗时问题，提高了可调谐激光器在实际输出波长指定为表征波长时，相应高边模抑制比的控制电极参数组合的确定。
可调谐激光器波长控制电极参数波长方法和装置参数组合光强信息控制电极可调谐带通滤波器初始控制信号计算误差信号参考光路光探测器实际输出误差信号中心波长光谱仪抑制比高边路光耗时探测测试分析

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